每日傳感器介紹：

FM1A H00系列是芯森基于磁通門技術研發的高精度閉環霍爾電流傳感器，具有極低的零點失調電流、極高的精度、非常小的溫漂、優異的線性度。典型應用包括交流變頻調速、伺服電機、不間斷電源（UPS）、開關電源（SMPS）、直流電機驅動的靜止式變流器、電焊機電源、電池管理、風能變頻器、測試和測量設備。本產品額定電流覆蓋0-200A；正常工作溫度范圍：-40℃~85 ℃；典型精度誤差：0.02%；線性度：0.005%；響應時間：0.5μs，供電電壓為±15V，如需詳細規格書請聯系芯森。

MEMS磁通門傳感器是一項充滿前景的技術，其研究涵蓋了微型結構設計、工藝設計、磁通門材料、信號分析與處理等多個領域。隨著加工工藝的不斷進步，制作方式從早期硅微加工工藝、PCB工藝，發展到如今的MEMS工藝，研究者們已經實現了線圈的微型化和磁芯的集成。如何進一步將磁通門傳感器微型化、提高微型化磁通門的性能，是磁通門研究者們不斷追求的目標。

在工藝技術研究方面，Chiesi等人于2000年首次利用完整的CMOS工藝制作了微型磁通門傳感器，此后，Choi等人于2006年將雙軸磁通門傳感器集成到芯片上，擴大了MEMS磁通門傳感器的應用領域。

在結構研究方面，研究者們通過優化磁芯的拓撲結構、增加磁芯長度等方式，降低了磁通門的功耗，提高了靈敏度。例如，呂輝等人于2017年采用多孔結構對鐵芯進行優化，降低了磁通門的功耗；而Szewczyk等人于2020年通過仿真證實了磁芯長度的增加顯著降低了退磁因子，提高了磁通門傳感器的靈敏度。

在MEMS磁通門領域中，正交型磁通門的發展尤為值得關注。正交型磁通門結構簡單、功耗低，同時具有較好的靈敏度，這些特點使得其成為MEMS領域的熱門研究對象。例如，Tobias Heimfarth于2018年在原有MEMS正交磁通門的基礎上增設了激勵電流的直流偏置，研究證明了正交磁通門基本模型（FMOF）的可行性。

MEMS磁通門傳感器兼具傳統磁通門魯棒性好、靈敏度高、噪聲低的特點和MEMS工藝帶來的小型化、集成度高、匹配性好的優點，因而是探測小型設備產生的微弱磁場或被小型設備搭載探測外磁場的一個優秀新方案。例如，Ramona等于2010年實現了使用跑道型單軸微型磁通門傳感器測量機器人關節的角度位置，滿足并行機器人高級實時工作空間監控的需求；Luoma等于2020年將MEMS磁通門與無人駕駛飛機結合進行地球物理勘探和環境檢測，產生了具有強邊緣特征和消磁信號的高分辨率地圖。

此外，MEMS磁通門傳感器可以在常溫工作，無需與磁場源保持一定距離，使用主動驅動，低頻噪聲低，是探測生物磁場的一個有利選擇。例如，Trigona等于2019年利用MEMS柔性RTD磁通門對神經退行患者大腦的特定位置所積累的鐵磁物質進行實時探測，與現有其他磁探測相比，該傳感器的功耗更低、體積更小、空間分辨率更高。

另外，美國航天局于2015年啟動的“磁層多尺度任務”航天器項目成功搭載了模擬磁通門和deltasigma磁通門磁強計，并集成了奧地利IWF格拉茨開發的定制專用集成電路，有效解決了傳統磁通門因體積重量無法裝載于此類航天器的問題，為太空探測提供了一些新思路。

綜上所述，MEMS磁通門傳感器具有廣泛的應用前景。未來，該領域的研究將致力于進一步優化傳感器的結構、制作工藝、材料以及電路匹配等方面，以實現更高的靈敏度、更低的噪聲、更好的結構適配度以及更高的集成度。目前基于MEMS工藝的二維磁通門傳感器技術已經相當成熟，相信隨著MEMS技術的發展，可集成的MEMS三軸磁通門傳感器亦將為時不遠。

關于我們：天津芯森電子科技有限公司坐落于天津市寶坻區京津中關村科技城，是一家專業從事電流、電壓傳感器研發、生產、銷售和服務為一體的國家高新技術企業。公司霍爾及磁通門技術電流、電壓傳感器主要對標瑞士LEM集團，德國VAC，日本Tamura，美國Allegro和Honeywell等國際廠家產品。根據客戶需求，自主研發了系列電流、電壓傳感器。電流傳感器測量范圍從5mA到5000A，電壓傳感器從10V到6400V，廣泛應用于光伏，風能，儲能、新能源汽車、充電樁和工控設備等領域。

審核編輯：湯梓紅