重大突破!我國實現12英寸二維半導體晶圓規模化制備技術
我國在二維半導體領域實現重大突破!
近日，來自松山湖材料實驗室/北京大學教授劉開輝、中國科學院院士王恩哥團隊，以及松山湖材料實驗室/中國科學院物理研究所研究員張廣宇團隊的最新研究成果在Science Bulletin(科學通報)在線發表。該研究題為《模塊化局域元素供應技術批量制備12英寸過渡金屬硫族化合物》。
Science Bulletin是由中科院、國自然基金委、Elsevier聯合出版的自然科學綜合性期刊，其前身是Chinese Science Bulletin。
論文表示，該團隊采用局域元素供應技術，成功地將過渡金屬硫族化合物晶圓尺寸從2英寸擴展至與現代半導體材料接軌的12英寸，并通過垂直堆疊多個模塊層的策略，成功實現其大規模批量化生產的能力。
隨著晶體管尺寸接近其物理極限，摩爾定律步伐減緩，半導體產業發展亟需探索新型材料。
二維半導體材料由于其本身物理結構優勢及電學性質特點，在半導體的發展中具有巨大潛力。
與傳統半導體類似，二維半導體的低成本、大規模、批量制備是其產業化應用所面臨的難題。該研究成果為實現二維半導體規?；苽涮峁┝诵碌募夹g方案，有望推動二維半導體材料從實驗研究向產業應用過渡。
審核編輯 黃宇
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