PTFE材料的特性和規格

PTFE材料的化學名為聚四氟乙烯 ，這是一種具備許多極佳特性的半結晶含氟聚合物。這種含氟聚合物具備極高的熱穩定性和化學抗性， 以及高熔點（-200℃至正260度，短期可達300℃）。此外，PTFE 產品 也具備絕佳的滑動特性、極佳的電氣抗性以及非黏結表面。與其他塑料相比，機械強度較低，但比重則較高。為了強化機械特性，PTFE 塑料可用下列添加物強化。聚四氟乙烯通常利用壓縮成型制程做成半成品，之后再利用切割／機修工具加工。

PTFE材料具備下列的特性 :

極高的化學抗性

極佳的耐溫（-200℃至260℃，短期 可達300℃）

極低的摩擦系數

極低的表面張力（PTFE 通常不會使材料黏結，也難以黏合或焊接）

高熱膨脹系數

相當低的強度／剛性

低介電常數

耐燃性

華林科納風囊泵采用環境溫度、超純再循環和輸送應用的理想解決方案。這些 PTFE 和 PFA 泵完全不含金屬，并通過獨特的梭閥運行，無需復雜的制動裝置和手動重置。它們在兩年保修期內持續安全可靠地運行。它們提供高達 7 Bar (100 psi) 的供氣壓力，并在流體溫度高達 100°C (212°F) 的熱循環應用中運行。該泵有 CSE30、CSE60 、 CSE120和CSE140 四種型號，最大流量分別為 30、60 、120 和140 lpm。

在泵內部，波紋管承受著工作負荷的沖擊。 華林科納獨有的長壽命波紋管設計和多年成熟的制造經驗。 該泵是由100%的PTFE粉末壓制而成，這使它們非常適合用于處理苛刻的化學品使用的晶圓制造工藝。

華林科納風囊泵產品參數：

1、無金屬、無腐蝕

2、無彈性O型圈，無泄漏

3、沒有電動機，沒有熱量上升

4、無葉輪，無微泡

5、可靠、安全的運行

6、流量≤140 lpm(37gpm)

7、排放壓力≤150psi

8、壓差≤69psi

9、各種配件選項

10、PEP涂層電纜

特點與優勢：

1、磁懸浮驅動葉輪

2、電機旋轉葉輪獨立于穩定功能

3、用于高純度化學品和DIW的工藝安全PTFE、PFA流路

4、無泄漏舌槽密封

5、低顆粒生成和低剪切可提高工藝產量并延長CMP再循環中的過濾器生命

6、沒有閥門、軸承、旋轉密封件或機械接觸部件

7、減少磨損可增加正常運行時間并最大限度地降低維護成本

8、100%不含金屬

9、過程安全的PTFE和PFA流路

10、防漏，機加工設計

11、無彈性O型圈、無泄漏、永不重新擰緊

CSE30、CSE60、CSE120 和CSE140分別經過 400、300 或 2 億次以上循環的驗證，具有可靠性。

風囊泵工作原理：壓縮空氣進入泵的氣相工作腔后，壓縮風囊變形移動，通過換向閥控制壓縮空氣依次進入兩個氣相工作腔工作，利用液相腔的交替吸液排液，實現對液體的輸送。

圖解：這是一種無制動梭閥設計，可通過最大限度地減少振動、脈動和磨損來提高性能和可靠性。

溫度限制

操作安裝：請勿通過梭閥組件或空氣管提升泵

l 安裝方向：必須安裝在直立位置。止回閥由重力和/或流量驅動，如果泵不直立，則不會座。

l 計時器方式：泵需要結束行程檢測機構（壓力開關）以防止在定時模式下過行程。在沒有行程檢測的定時器模式下操作將取消泵保修

l 所需的空氣流量（穿梭閥）：需要1/4英寸的最小孔口和不受限制的氣流。

l 所需的氣流（電磁閥）：需要一個1.5 Cv的電磁閥。使用減少的Cv將降低流量。使用Cv大于20%的閥門將改變操作參數，減少泵的壽命并使保修無效。

l 空氣供應不足：在供氣不足時運行不正常或熄火。確保使用的供氣壓力高于性能圖表中的平均空氣消耗線。供氣管道和配件必須滿足安裝說明中顯示的最小內徑要求。

l 供氣壓力：低于最大氣壓35%可以顯著延長泵的壽命。泵要求最低空氣壓力為20 psi。超過7巴（100 psi）的操作可能會損壞泵并使保修失效

l 液體入口/出口連接：液體端口不是NPT或任何其他標準。使用非華林科納提供的連接器將損壞泵和保修無效。

l 液體管線限制：可以通過關閉液體出口管線來進行控制。然而，限制液體供應線會增加磨損，并應避免。請勿吸入封閉的液體入口。它會損壞泵，使保修失效。

l 帶有穿梭閥的脈沖減振器：當使用脈動減振器時，對泵的空氣供應壓力應至少比液體管道壓力高出10psi。如果不這樣做，可能會導致操作不穩定。

壓力開關行程檢測電氣連接：

華林科納風囊泵配件包括儀表、過濾器、控制器、高純閉環控制系統、循環率轉換器等。

為更好的服務客戶，華林科納特別成立了監理團隊，團隊成員擁有多年半導體行業項目實施、監督、控制、檢查經驗，可對項目建設全過程或分階段進行專業化管理與服務，實現高質量監理，降本增效。利用仿真技術可對未來可能發生的情況進行系統的、科學的、合理的推算，有效避免造成人力、物力的浪費，助科研人員和技術工作者做出正確的決策，助力工程師應對物理機械設計和耐受性制造中遇到的難題。

審核編輯 黃宇