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半導(dǎo)體晶圓厚度測(cè)量解決方案

簡(jiǎn)儀科技 ? 來(lái)源:簡(jiǎn)儀科技 ? 2023-08-16 11:10 ? 次閱讀

應(yīng)用

半導(dǎo)體晶圓的厚度測(cè)量在現(xiàn)代科技領(lǐng)域具有重要地位。在晶圓制造完成后,晶圓測(cè)試是評(píng)估制造過(guò)程的關(guān)鍵環(huán)節(jié),其結(jié)果直接反映了晶圓的質(zhì)量。這個(gè)過(guò)程中,每個(gè)芯片的電性能和電路機(jī)能都受到了嚴(yán)格的檢驗(yàn)。

在測(cè)試過(guò)程中,晶圓被穩(wěn)固地固定在真空吸力的卡盤(pán)上,然后與很薄的探針電測(cè)器精確對(duì)準(zhǔn),確保探針與每個(gè)芯片的焊接墊緊密接觸。電測(cè)器在電源的驅(qū)動(dòng)下測(cè)試電路并記錄結(jié)果。這個(gè)自動(dòng)化的測(cè)試過(guò)程,如測(cè)試的數(shù)量、順序和類(lèi)型均由計(jì)算機(jī)程序控制,使得整個(gè)過(guò)程高效自動(dòng)化,不需要人工輔助。

為了測(cè)量晶圓的厚度,激光差動(dòng)共焦傳感器被應(yīng)用于測(cè)試過(guò)程中,并需要實(shí)時(shí)記錄每次測(cè)試的晶圓位置信息。通過(guò)電機(jī)勻速帶動(dòng)晶圓旋轉(zhuǎn),傳感器對(duì)晶圓進(jìn)行掃描,利用簡(jiǎn)儀高精度多功能采集卡USB-5516的AI模擬采集)和CI(編碼器采集)同步采集功能,實(shí)現(xiàn)了晶圓測(cè)試中傳感器數(shù)據(jù)和電機(jī)位置信息的同步采集,通過(guò)數(shù)據(jù)分析獲得晶圓的厚度以及對(duì)應(yīng)位置信息。

使用的簡(jiǎn)儀產(chǎn)品

硬件:

解決方案中,簡(jiǎn)儀科技的USB-5516采集卡發(fā)揮了重要作用。這款采集卡是JY-5500系列中的一員,具備16通道18位高精度多功能采集,同時(shí)支持2路動(dòng)態(tài)模擬輸出、24路數(shù)字IO和2通道32位通用定時(shí)器/計(jì)數(shù)器功能,能夠輕松實(shí)現(xiàn)AI、AO、CI與CO的同步工作。

軟件:

Visual Studio C#作為一款流行的集成開(kāi)發(fā)環(huán)境,為解決方案提供了強(qiáng)大的編程支持和開(kāi)發(fā)工具,幫助客戶(hù)實(shí)現(xiàn)各種復(fù)雜的功能和操作。

SeeSharpTools(銳視測(cè)控程序開(kāi)發(fā)工具包)是簡(jiǎn)儀科技獨(dú)有的資源,為客戶(hù)提供了豐富的開(kāi)發(fā)工具和支持,使得開(kāi)發(fā)人員能夠更加高效地利用簡(jiǎn)儀產(chǎn)品進(jìn)行開(kāi)發(fā)和測(cè)試。

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為什么選擇簡(jiǎn)儀

簡(jiǎn)儀科技成為客戶(hù)的選擇,原因眾多。開(kāi)源免費(fèi)的軟件平臺(tái)、出色的性能價(jià)格比,以及完善的售后支持和服務(wù),都是客戶(hù)青睞的原因。作為本土企業(yè),簡(jiǎn)儀科技不僅滿(mǎn)足了國(guó)產(chǎn)化的需求,還通過(guò)其強(qiáng)大易用的開(kāi)發(fā)環(huán)境——銳視測(cè)控平臺(tái),為客戶(hù)提供了便捷的解決方案。

通過(guò)與簡(jiǎn)儀科技的合作,半導(dǎo)體晶圓厚度測(cè)量得到了高效、可靠的解決,進(jìn)一步推動(dòng)了國(guó)產(chǎn)化創(chuàng)新的發(fā)展。簡(jiǎn)儀科技將持續(xù)致力于為客戶(hù)提供優(yōu)質(zhì)產(chǎn)品與專(zhuān)業(yè)服務(wù),助力各行業(yè)在測(cè)試測(cè)量領(lǐng)域不斷取得新的成就。

審核編輯:湯梓紅

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原文標(biāo)題:半導(dǎo)體晶圓厚度測(cè)量

文章出處:【微信號(hào):簡(jiǎn)儀科技,微信公眾號(hào):簡(jiǎn)儀科技】歡迎添加關(guān)注!文章轉(zhuǎn)載請(qǐng)注明出處。

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