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金屬鹵化物鈣鈦礦在可穿戴FPD和圖像傳感器應(yīng)用中的性能

MEMS ? 來源:MEMS ? 2023-08-21 10:19 ? 次閱讀

金屬鹵化物鈣鈦礦(MHP)具有低溫溶液可加工性、機(jī)械柔性和優(yōu)異的光電性能,是下一代柔性光電探測器(FPD)的理想材料。然而,多晶金屬鹵化物鈣鈦礦中的缺陷和離子遷移往往會導(dǎo)致暗電流過高且不穩(wěn)定,從而降低其檢測極限和長期運(yùn)行性能。

據(jù)麥姆斯咨詢報(bào)道,近日,浙江大學(xué)的楊旸教授和西湖大學(xué)朱博文研究員領(lǐng)導(dǎo)的聯(lián)合研究團(tuán)隊(duì)在Nature Communications期刊上發(fā)表了題為“Enabling low-drift flexible perovskite photodetectors by electrical modulation for wearable health monitoring and weak light imaging”的論文,提出了一種電場調(diào)制策略,可將基于金屬鹵化物鈣鈦礦的柔性光電探測器的暗電流顯著降低1000倍以上(從~5 ?nA降至~5 pA)。同時,金屬鹵化物鈣鈦礦中的離子遷移被有效抑制,基于金屬鹵化物鈣鈦礦的FPD表現(xiàn)出長期連續(xù)的工作穩(wěn)定性(~8000? s)、低信號漂移(~4.2?×?10?? pA/s)和超低暗電流漂移(~1.3?×?10?? pA/s)。受益于提出的電調(diào)制策略,研究人員成功演示了一種高信噪比的可穿戴光電容積脈搏波(PPG)傳感器和用于弱光成像的有源矩陣光電探測器陣列。這項(xiàng)研究工作為提高金屬鹵化物鈣鈦礦在可穿戴FPD和圖像傳感器應(yīng)用中的性能提供了一種通用策略。

為了控制金屬鹵化物鈣鈦礦的缺陷密度和抑制離子遷移,人們已經(jīng)進(jìn)行了大量的研究工作。值得注意的是,提高鈣鈦礦的電阻率已被證明是獲得低暗電流的一種實(shí)用方法。然而,賦予金屬鹵化物鈣鈦礦與商業(yè)低噪聲硅光電探測器(PD)相媲美的高電阻率是一項(xiàng)挑戰(zhàn)。同時,在傳統(tǒng)的光電導(dǎo)型PD中,暗電流和光感應(yīng)電流在同一路徑中傳導(dǎo)(圖1a)。高電阻率反過來會降低光激電流和靈敏度。此外,由于信號電極和接地電極之間存在電勢差(圖1c),離子遷移將不可避免地發(fā)生在傳統(tǒng)的光電導(dǎo)型PD中。

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圖1 傳統(tǒng)光電導(dǎo)型和電場調(diào)制柔性光電探測器(FPD)的比較

因此,本文提出了一種通用而有效的電場調(diào)制策略,以降低光電導(dǎo)型金屬鹵化物鈣鈦礦基光電探測器中的暗電流并抑制離子遷移。與傳統(tǒng)的光電導(dǎo)型PD器件結(jié)構(gòu)相比,一種控制電極(CE)被引入用于施加控制電壓(圖1b)。由于沒有柵極介電層,因此它可以提供更直接和更強(qiáng)的電流控制能力。在電場調(diào)制下,從接地電極發(fā)出的所有暗電流都可以被控制電極吸引和收集,而信號電極可以獲得沒有暗電流的光電流。此外,施加的控制電壓還能改變信號電極和接地電極之間的電場分布(圖1d)。由于信號電極周圍的電勢分布是均勻的,因此可以有效地抑制信號電極附近區(qū)域中的離子遷移(由電場驅(qū)動)。

根據(jù)不同的控制電壓值,當(dāng)信號電極施加恒定電壓(>0?V)時,電場調(diào)制光電探測器的工作狀態(tài)分為四個階段(圖2a)。為了進(jìn)一步說明控制電壓的影響,研究人員使用COMSOL軟件對鈣鈦礦薄膜中的電勢分布進(jìn)行了模擬(圖2b)。為了驗(yàn)證電場調(diào)制方法在實(shí)際應(yīng)用中的有效性,研究人員在無色聚酰亞胺(CPI)襯底上制備了帶有控制電極的基于金屬鹵化物鈣鈦礦(FA0.92Cs0.04MA0.04PbI3,厚度為500 nm)的FPD。當(dāng)信號電極施加0.1?V時,信號電極收集的暗電流隨著控制電壓的增加而逐漸減小,甚至達(dá)到負(fù)值(圖2c)。正如預(yù)期的那樣,當(dāng)控制電壓設(shè)置為臨界電壓(CV)時,暗電流可降至零(階段iii)。圖2d顯示了不同控制電壓下信號電極的電流-時間(I-t)曲線。圖2e顯示了電場調(diào)制FPD(階段iii)在弱光照射(520 nm,50 nW/cm2)下約8000 s的長期運(yùn)行穩(wěn)定性。

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圖2 電場調(diào)制FPD的詳細(xì)工作機(jī)制

為了系統(tǒng)地研究電場調(diào)制FPD的光電特性,使用不同波長(405、520、600和800 nm)的可見光照射FPD,結(jié)果如圖3所示。與純FAPbI3和MAPbI3組成的鈣鈦礦相比,本研究采用了一種更穩(wěn)定的含銫三陽離子鈣鈦礦(FA0.92Cs0.04MA0.04PbI3,厚度為500?nm)作為光敏材料,這種材料已被證明更穩(wěn)定,受周圍變量波動的影響更小。

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圖3 控制電極施加0和0.1 V時,電場調(diào)制FPD的光電特性

為了演示其在可穿戴電子產(chǎn)品中的實(shí)際應(yīng)用,研究人員進(jìn)行了基于FPD的PPG測試。透射式PPG傳感器的基本工作機(jī)制如圖4a所示。在測試過程中,F(xiàn)PD檢測到的光強(qiáng)度會隨著心跳引起的血管體積的變化而波動。因此,可從FPD信號中提取心率(HR)來評估人體的心肺功能。圖4b顯示了PPG測試的實(shí)驗(yàn)設(shè)置。在不同入射光強(qiáng)度(72、4.6和2 mW/cm2)下,當(dāng)控制電壓分別設(shè)置為0 V和0.1 V時,F(xiàn)PD檢測到的PPG信號比較如圖4c-4e所示。

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圖4 FPD在血液脈搏信號檢測中的應(yīng)用

上述實(shí)驗(yàn)結(jié)果成功地證實(shí)了FPD在低光密度下通過電場調(diào)制獲得高信噪比(SNR)PPG信號的能力,表明提出的方法在制造低功耗可穿戴電子產(chǎn)品方面的巨大潛力。

最后,將基于金屬鹵化物鈣鈦礦的帶有控制電極的光電探測器與基于16?×?16薄膜晶體管TFT)的柔性有源矩陣背板單片集成,證實(shí)其能在弱光環(huán)境下實(shí)現(xiàn)高對比度成像(如圖5)。

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圖5 有源矩陣柔性光電探測器(AM-FPD)陣列在弱光成像中的應(yīng)用

綜上所述,這項(xiàng)研究提出了一種通過電場調(diào)制來提高基于光電導(dǎo)型金屬鹵化物鈣鈦礦的FPD的光傳感性能的有效策略。在控制電壓的調(diào)制下,基于金屬鹵化物鈣鈦礦的FPD的暗電流可顯著降低。同時,光電流信號保持不變。FPD的暗電流降低了1000倍以上(從~5?nA降至~5 pA),并且在520 nm(1 nW/cm2)下的比探測率達(dá)到1.1?×?101? Jones。此外,金屬鹵化物鈣鈦礦中的離子遷移被有效抑制,并且FPD表現(xiàn)出長期運(yùn)行性能,在約8000 s的照射后幾乎沒有暗電流漂移(約1.3?×?10?? pA/s)。受益于優(yōu)異的光傳感性能,PPG傳感器可以在低入射光強(qiáng)度(2?mW/cm2)下獲得高保真脈搏波形,這對于低功耗可穿戴電子產(chǎn)品的應(yīng)用至關(guān)重要。最后,基于金屬鹵化物鈣鈦礦的光電探測器成功與16×16 In2O3 TFT背板集成,在弱光環(huán)境(500 nW/cm2)下實(shí)現(xiàn)了高對比度成像。這項(xiàng)研究為用于可穿戴健康監(jiān)測和有源矩陣圖像傳感器應(yīng)用的基于金屬鹵化物鈣鈦礦的FPD的實(shí)現(xiàn)提供了一種通用策略。

審核編輯:彭菁

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原文標(biāo)題:利用電調(diào)制實(shí)現(xiàn)低漂移的柔性鈣鈦礦探測器,用于可穿戴健康監(jiān)測和弱光成像

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