據(jù)《電子時(shí)報(bào)》報(bào)道,隨著日本對(duì)華半導(dǎo)體設(shè)備出口禁令7月23日正式生效,業(yè)內(nèi)普遍希望了解這對(duì)中國半導(dǎo)體行業(yè)的影響。此次出口控制共包括23種半導(dǎo)體設(shè)備,其中包括光加工、蝕刻、薄膜沉積、熱處理、洗滌和檢查等。DIGITIMES Research調(diào)查分析家Eric Chen表示,對(duì)照片圖表和薄膜沉積設(shè)備的限制可能會(huì)進(jìn)一步實(shí)施,從而影響中國先進(jìn)的半導(dǎo)體制造。
在光刻設(shè)備方面,荷蘭asml、日本尼康和佳能公司是主要供應(yīng)企業(yè),在全世界占據(jù)95%以上的市場(chǎng)占有率。在食用裝備領(lǐng)域,美國泛林集團(tuán)、應(yīng)用材料及東京電子(tel)是主要企業(yè),世界市場(chǎng)占有率合計(jì)在90%以上。薄膜沉積設(shè)備企業(yè)有美國的kla、應(yīng)用材料、日本的日立、東京電子和ulvac(真空技術(shù)股份公司)、瑞士的evatec、荷蘭的asm。這些公司占全球市場(chǎng)份額的80%至90%左右。
據(jù)分析師eric chen的研究,到2022年,中國半導(dǎo)體設(shè)備進(jìn)口的60%以上仍來自美國、日本和荷蘭,其中日本仍是中國最大的半導(dǎo)體設(shè)備來源,約占進(jìn)口額的30%。
分析家Eric Chen指出:“日本近一半的出口管制與薄膜加工設(shè)備有關(guān)。”但是這類設(shè)備包含了多種技術(shù)。在這種情況下,出口控制的對(duì)象主要是利用鈷、釕等尖端工程的金屬聚合設(shè)備、40納米以下工程的原子層沉積設(shè)備、多重制圖工程的硬掩膜沉積設(shè)備等。
對(duì)于激光照相設(shè)備,Eric Chen主張說,日本浸潤式深紫外線(duv)激光照相設(shè)備的出口可能會(huì)受到影響。據(jù)分析,雖然日本不生產(chǎn)極紫外線(euv)桅桿裝備,但將適用對(duì)euv掩膜裝備、euv工程涂料及開發(fā)相關(guān)裝備、euv裝備的空白或事前暴露掩膜檢查裝備的限制。
在蝕刻設(shè)備方面,eric chen指出,日本對(duì)硅鍺的濕式蝕刻設(shè)備和干式蝕刻設(shè)備有限制。與此相比,對(duì)硅鍺刻蝕設(shè)備的管制措施只限于干式設(shè)備。分析人士認(rèn)為,日本對(duì)硅鍺蝕刻設(shè)備出口控制更加嚴(yán)格,主要是因?yàn)楣桄N零部件將廣泛應(yīng)用于航空,航空,軍事等領(lǐng)域。
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