六足運動平臺在運動控制領(lǐng)域有著悠久的應(yīng)用歷史，但近年來，傳統(tǒng)的6自由度(6-DOF)定位設(shè)備在面對行業(yè)對更高精度、更高可重復(fù)性和更好的幾何性能的需求時顯得有些不足。現(xiàn)對一些ALIO位移臺參數(shù)細(xì)節(jié)做一些解讀，以便您理解ALIO六自由度位移臺對于傳統(tǒng)六足位移臺的提升。

準(zhǔn)確度（accuracy）

準(zhǔn)確度是指在特定三維空間中，實際位置與通過測量設(shè)備測量的位置之間的差異。對于測量設(shè)備而言，準(zhǔn)確度受到反饋機(jī)制（如ALIO六軸位移臺的光柵尺增量編碼器）、驅(qū)動機(jī)構(gòu)（如滾珠螺桿、導(dǎo)桿、線性電機(jī)）以及軸承路徑的準(zhǔn)確性的影響。

重復(fù)度（Repeatability）

可重復(fù)性被定義為在相同條件下，系統(tǒng)重復(fù)地被命令到同一位置時所達(dá)到的位置范圍。單向可重復(fù)性通過從一個方向接近該點進(jìn)行測量。雙向可重復(fù)性是測量系統(tǒng)能夠從兩個方向返回到該點的能力。

分辨率（Resolution）

分辨率被定義為系統(tǒng)的最小可識別位移量。也分辨率由反饋裝置確定。

最小步長
（Minimum Incremental Step Size）

被定義為系統(tǒng)的最小可行移動量，也被稱為步進(jìn)大小。

俯仰（Pitch）

被定義為系統(tǒng)的最小可行移動量，也被稱為步進(jìn)大小。

俯仰是圍繞水平平面上與行進(jìn)方向垂直的軸的旋轉(zhuǎn)。如果所測量的感興趣位置不位于旋轉(zhuǎn)中心，則俯仰旋轉(zhuǎn)會引起兩個維度上的阿貝誤差。對于X軸，俯仰旋轉(zhuǎn)會在X方向和Z方向上引起阿貝誤差。對于Y軸，俯仰旋轉(zhuǎn)會在Y方向和Z方向上引起阿貝誤差。這些誤差的大小可以通過將偏移距離的長度乘以旋轉(zhuǎn)角度的正弦值和1減旋轉(zhuǎn)角度的余弦值來確定。

橫滾（Roll）

橫滾是圍繞與行進(jìn)方向平行的水平平面上的軸進(jìn)行的旋轉(zhuǎn)。如果所測量的感興趣位置不位于旋轉(zhuǎn)中心，則橫滾旋轉(zhuǎn)會引起兩個維度上的阿貝誤差。對于X軸，橫滾旋轉(zhuǎn)會在Y方向和Z方向上引起阿貝誤差。對于Y軸，橫滾旋轉(zhuǎn)會在X方向和Z方向上引起阿貝誤差。這些誤差的大小可以通過將偏移距離的長度乘以旋轉(zhuǎn)角度的正弦值和余弦值來計算。

偏航（Yaw）

偏航是圍繞與行進(jìn)方向垂直的垂直平面上的軸進(jìn)行的旋轉(zhuǎn)，即Z軸。如果所測量的感興趣位置不位于旋轉(zhuǎn)中心，則偏航旋轉(zhuǎn)會引起兩個維度上的阿貝誤差。對于X軸或Y軸臺。

回程誤差（Backlash）

回程誤差是由行進(jìn)方向反轉(zhuǎn)引起的定位誤差。反向間隙是在行進(jìn)方向反轉(zhuǎn)時不會產(chǎn)生位置變化的指令運動部分。反向間隙是由傳動系中元素之間的間隙引起的。隨著間隙的增加，產(chǎn)生運動所需的輸入量也會增加。間隙的增加導(dǎo)致反向間隙誤差增加。反向間隙也會影響雙向可重復(fù)性。ALIO位移臺從系統(tǒng)設(shè)計上避免萬向節(jié)消除了回程誤差，大大提升位移臺整體性能。

直線度（Straightness）

直線度是指在水平平面上，相對于行進(jìn)方向的真實行進(jìn)線路的偏差。平整度是指在垂直方向上，相對于行進(jìn)方向的真實行進(jìn)線路的偏差。對于ALIO位移臺，直線度和平整度參數(shù)都與位移臺的安裝表面有關(guān)，請聯(lián)系昊量光電了解詳情。

跳動（runout）

跳動是旋轉(zhuǎn)機(jī)械系統(tǒng)的不準(zhǔn)確性，特別是工具或軸沒有完全與主軸線一致地旋轉(zhuǎn)。例如;鉆孔時，由于鉆頭偏心旋轉(zhuǎn)（離軸而不是成一直線），跳動會導(dǎo)致孔大于鉆頭的標(biāo)稱直徑。對于軸承，跳動會導(dǎo)致機(jī)器振動并增加軸承負(fù)載。

跳動有兩種主要形式：

徑向跳動（Radial runout）：由于工具在平行于機(jī)器軸線的情況下發(fā)生平移，徑向跳動沿機(jī)器軸線的各個點測量結(jié)果相同。

軸向跳動（Axial runout）：由于工具或零件與軸線有角度，導(dǎo)致工具（或軸）尖端相對于基準(zhǔn)位置偏離中心旋轉(zhuǎn)。軸向跳動的大小取決于測量點與基準(zhǔn)位置的距離。

ALIO的6-D 納米精度工作臺的核心是串聯(lián)和平行運動學(xué)的結(jié)合，這使得傳統(tǒng)的六足運動學(xué)過時了，在精度、路徑性能、速度、剛度和更大的工作范圍(幾乎無限的XY行程，完全可編程的工具中心點位置)方面都有數(shù)量級的改進(jìn)。

ALIO的Hybrid Hexapod具有小于100納米的3維6軸點精度重復(fù)性，使其成為激光加工、光學(xué)檢測、光電子、半導(dǎo)體、計量和醫(yī)療設(shè)備領(lǐng)域以及所有微加工項目的關(guān)鍵任務(wù)應(yīng)用的關(guān)鍵技術(shù)。