蔡司工業CT METROTOM1是在射線檢測的基礎上發展起來的，其基本原理是當經過準直且能量I0的射線束穿過被檢物時，根據各個透射方向上各體積元的衰減系數從不同，探測器接收到的透射能量I也不同。

按照一定的圖像重建算法，即可獲得被檢工件截面一薄層無影像重疊的斷層掃描圖像，重復上述過程又可獲得一個新的斷層圖像，當測得足夠多的二維斷層圖像就可重建出三維圖像。當單能射線束穿過非均勻物質后，其 衰減遵從比爾定律： 即式中 、 為已知量，未知量為μ。

一幅M×N個像素組成的圖像，必須有M×N個獨立的方程才能解出衰減系數矩陣內每一點的μ值。當射線從各個方向透射被檢物體，通過掃描探測器可得到MXN個射線計數和值，按照一定的圖像重建算法，即可重建出MXN個μ值組成的二維蔡司工業CT METROTOM1灰度圖像。