BY JEAN-JACQUES （JJ） DELISLE

RF開關應用領域一直存在一個難題。從歷史上看，只有兩種類型的射頻開關可用：機電繼電器 （EMR） 和固態 （SS） 開關。這兩種技術都提供了權衡，并在某些方面超越了另一種。

也就是說，EMR 往往表現出更好的射頻特性，例如插入損耗、線性度、駐波比、隔離和功率處理。但是，SS 交換機通常更可靠，執行更快的切換，并且更緊湊。但是，沒有很多開關選項適合這些參數的中間位置。

在這里，可行的微機械電氣系統（MEMS）和納米機械電氣系統（NEMS）開關在高射頻頻率下運行良好且可靠，在二十年的大部分時間里一直受到追捧。據預測，MEMS/NEMS的機械特性將在EMR和SS開關的性能之間提供一個令人滿意的中間地帶。

已經有許多嘗試將MEMS / NEMS開關技術投入全面生產，并建立提供這些類型開關的可持續業務。有一些競爭者，但對于許多應用來說，MEMS/NEMS技術仍然有太多的權衡。下面仔細看看。

微機電系統/NEMS開關

許多MEMS/NEMS開關的插入損耗建立時間較長。這是開關后開關的插入損耗穩定所需的時間。許多MEMS/NEMS開關也不能可靠地穩定在精確的插入損耗下，而是產生一系列取決于許多不同內部因素的損耗。其他因素與MEMS/NEMS開關的可靠性和生命周期有關。一些商用交換機提供合理的性能和可靠性，但在性能下降之前提供有限的生命周期。

長期以來，人們一直認為MEMS/NEMS開關性能的圣杯是能夠對器件進行熱切換。這是在RF信號處于活動狀態時進行開關的操作，這在歷史上一直是MEMS產品中的一個極端限制因素。其他考慮因素包括傳統MEMS/NEMS開關解決方案中的線性度、最大頻率和隔離限制。另一個主要問題是MEMS射頻開關業務的成功和壽命，其持續的業務運營是一個足夠重要的問題，足以阻止一些尋求長期可靠供應的客戶。

由于這些缺點，MEMS/NEMS開關技術在從事自動化測試、測試設備、關鍵系統或任何優先考慮可靠性和高性能的系統方面的模擬/RF設計人員中獲得了不盡如人意的聲譽。十多年來，優質的MEMS/NEMS技術一直以其他形式出現，即加速度計、慣性測量單元（IMU）、打印機壓電部件、氣壓計、麥克風、帶微鏡的數字顯示器、光子開關、振蕩器以及許多其他傳感器和微傳感器。

兩個設計示例

在開關能力超過18 GHz的MEMS/NEMS RF開關選擇方面取得了一些進展。Menlo Microsystems（通用電氣MEMS研究的商業化分拆）和ADI公司現在都提供RF MEMS開關，以解決早期RF MEMS開關解決方案的可靠性問題。ADI的ADGM1001（SPDT）聲稱致動壽命為100億次循環，而Menlo的理想開關解決方案的額定驅動壽命為3億次循環。

考慮到即使是高可靠性 EMR 交換機也只能聲稱數百萬到最多大約 10 萬次循環壽命，這是非常了不起的。相比之下，SS 開關提供幾乎無限的循環壽命;但是，ADI和Menlo開關的插入損耗在1 GHz時分別為5.34 dB和1 GHz（超端口模式）時和26 dB。這遠遠超出了在類似頻率范圍內提供典型3至8 dB插入損耗的SS開關。

圖1演示板與ADI公司的RF MEMS開關圖ADGM1001一起顯示。

然而，ADI的ADGM1001在極端情況下僅表現出19 dB的隔離，而Menlo的MM5130在超端口模式下在20 GHz時表現出26 dB的隔離。類似的 EMR 開關在這些頻率下的隔離度幾乎是其兩倍。在這里，需要注意的是，可以結合使用多個開關來增強隔離。

在Menlo的M5130的情況下，還可以使用多個開關路徑來增強隔離，從理論上講，這應該在增加隔離的同時增加插入損耗。對于某些對插入損耗不那么敏感的應用來說，這可能是一個值得的交換，只要它是一致的，并且可以優先考慮隔離。在這兩種情況下，這些MEMS/NEMS開關解決方案仍然比同類EMR緊湊得多。

準備好出風頭了嗎？

最近商用的RF MEMS開關器件似乎與過去RF MEMS解決方案的趨勢背道而馳，現在可能最終為高頻RF應用提供MEMS技術的優勢。時間會證明這些解決方案是否像聲稱的那樣可靠。

然而， 隨著 Pickering Electronics 的 測試 和 測量 部門 選擇 Menlo Microsystems RF MEMS 開關 技術 來 開發 高 可靠性 PXI/ PXIE 開關 產品， 因此 這種 技術 現在 很可能 已經 得到 驗證， 并 可以 與 主流 RF 開關 應用 中的 EMR 和 SS 開關 相抗衡。

編輯：黃飛