今年以來，中國MEMS產業發展進入新的高度，高華科技、芯動聯科、禾賽科技等多家傳感器企業成功上市，正揚傳感、天箭慣性、明皜傳感、長光辰芯、速騰聚創、圖達通……等多家傳感器企業吹響沖擊股市的號角。

MEMS芯片是智能傳感器的核心部件，隨著產業的快速發展，今年來多條MEMS產線相繼落地/建成，這其中包括深圳首條MEMS中試線落地、濟南首條MEMS產線建成、拜安傳感國內首條MEMS光纖傳感器芯片產線建成、美新半導體紹興MEMS產線下半年投產、奧松電子8英寸MEMS新產線動工……等好消息。

當然，在“優勝劣汰”市場規律下，也有一些MEMS產線淡出，譬如東方微磁已破產注銷，其建設的國內第一條MEMS磁傳感器芯片產線也被破產清算。

下文，我們來看看中國主要MEMS芯片產線最新情況，數據截止2023年8月份，其中更新MEMS產線資料在最前面，因時間倉促，資料繁多，部分信息錯漏請在傳感器專家網公眾號本內容留言討論。

序號僅區分數量，無任何排序意義

（2023建成）1、山東產研院硅基微納制造公共技術服務平臺（中試線）-4&6英寸

據濟南高新技術產業開發區管理委員會信息披露，今年5月，由濟南高新技術創業服務中心服務的山東產研院傾力打造的產研院硅基微納制造公共技術服務平臺全線貫通，實現具備完整MEMS生產加工能力，其自主生產的首款產品正式下線并交付。

微納制造平臺建設總投資2億元，山東產研微納與智能制造研究院主導運營，是濟南市首條具備完整MEMS芯片生產加工能力的產線，定位于MEMS傳感器產品轉化和工程化驗證。平臺總面積5500平方米，潔凈間面積約1800平方米，包括光刻區、刻蝕區、濕法區、高溫區、注入區、金屬化區、劃片區、封裝區、測試區等9大功能區，配置光刻、鍵合、擴散、腐蝕、刻蝕、沉積、注入、封裝、測試等相關設備90余臺，可實現MEMS芯片生產全過程。

據悉，山東產研院微納制造公共技術服務平臺設計產能為年產2萬晶圓，MEMS晶圓尺寸為4&6英寸。

▲來源：濟南高新技術產業開發區管理委員會

（2023建成）2、拜安半導體（IDM&代工）-6英寸

今年7月20日，上海拜安半導體有限公司（以下簡稱“拜安半導體”）投建的“6英寸MEMS光纖傳感器特色研發小試線”正式通線投產運行。該項目由拜安科技和上海嘉定綜保區公司共同出資建設，總投資約1.5億元，致力于MEMS光纖傳感器芯片的制造和封裝測試及相關研發業務，為6英寸MEMS芯片工藝線。該產線是國內首條具備量產能力的MEMS光纖傳感器芯片生產線，年產能為1-1.5萬片晶圓，未來將通過分期投建擴產，最終產線將達到3萬片/年的生產能力。拜安半導體MEMS產線項目于2022年2月簽約，9月開工，原計劃2022年底實現試運營，2024年全面投產，目前較原計劃提前半年投產。未來，該產線在滿足母公司拜安傳感的產品及研發需求后，將開放富余產能，向其他企事業單位提供代工或委托研發服務。拜安科技主營產品是以光纖光柵傳感、分布式光纖傳感以及MEMS光纖傳感為主的智能光纖傳感器，2021年9月獲由軟銀中國資本領投的數億元 A 輪融資，2022年9月獲由深創投、中芯聚源等投資的數億元B輪融資。

▲來源：拜安半導體

（新建產能投產）3、美新半導體（IDM）-8英寸

美新半導體（MEMSIC）是全球領先的慣性MEMS傳感器及解決方案提供商，于1999年成立, 目前總部位于中國天津，2007年在美國納斯達克上市，是全球MEMS第一股，中國MEMS十強企業之一。

美新半導體在無錫建有8英寸MEMS磁、慣性傳感器晶圓生產、封測產線。2022年12月25日，據《紹興日報》報道，總投資約3.5億元，建筑面積約5.27萬平方米的紹興集成電路設計產業園（西園）項目計劃2023年6月竣工。位于園區內的美新半導體項目即將投產，投產后將形成年產6億顆MEMS磁傳感器芯片和1.2億顆加速度傳感器的生產能力。

據越城發布公眾號消息，美新半導體（紹興）有限公司年產6億顆MEMS磁傳感器生產線及加速度傳感器工藝開發實驗線項目于2023年4月份竣工驗收，目前正在調試設備和工藝，將于下半年正式投產。

4、臻芯微電子（IDM）-6英寸

臻芯微電子是國內知名射頻前端芯片廠商蘇州漢天下旗下子公司，負責運營MEMS晶圓廠，主要用于MEMS濾波器芯片的生產。

臻芯微電子成立于2021年6月，其MEMS濾波器芯片產線已與2022年10月完成設備調試和全線投片通線，計劃于近期開始試生產，整體達產后年銷售突破15億元。其MEMS濾波器芯片研發生產項目總投資14億元。其中一期投資8億元，建設一條高性能體聲波濾波器芯片制造和封裝線，具備年產9.6億顆體聲波（BAW）濾波器芯片能力；二期擴產后濾波器年產量翻倍，并具備應用于對應規模的射頻模組封測能力。

據臻芯微電子披露，該MEMS濾波器芯片產線為6英寸晶圓線，一個6英寸晶圓可產出1~2萬顆濾波器芯片，此外，該產線具備表聲波（SAW）濾波器生產能力，年產能達12億顆。

（預計2023投產）5、銳石創芯（IDM）

銳石創芯是一家專注于高性能的4G/5G射頻前端產品的研發及銷售的公司，主要應用于智能手機、物聯網終端、平板電腦。

銳石創芯MEMS器件生產基地新建項目位于重慶，總占地面積120畝，總投資22億。其中一期投資約8億元，建設4條MEMS生產線,建成后形成年產MEMS器件約10億顆(其中以6英寸鉭酸鋰作為襯底材料的MEMS器件8億顆、以6英寸鈮酸鋰作為襯底材料的MEMS器件2億顆)，項目核心廠房由晶圓廠和動力站組成，建筑面積共2.65萬平方米，主要生產射頻前端MEMS芯片。

2022年7月項目封頂，2022年12月項目首臺ASML***入場，進入設備調試和試生產階段，預計可能于2023年投產。

（2023建成）6、微納感知（IDM）-8英寸

微納感知由中國科學技術大學科技成果轉化而來，2015年成立，產品包括MEMS微熱板芯片、MEMS氣體流量芯片、MEMS氣體傳感器、MEMS氣體流量傳感器及模組等。據微納感知官網信息披露 ，2022年12月《MEMS傳感器項目》環評公示，擬投資1.1億元成立產線，以年研發8萬只MEMS 氣體傳感器及4萬只MEMS氣體流量傳感器，晶圓尺寸為8英寸, 年投片為6片。該項目于2023年1月開工建設，2023年4月完成建設，2023年4月開始調試，2023年5月, 項目完成驗收。（2023建成）7、飛恩微電子（IDM）

飛恩微電子成立于2011年，是一家MEMS傳感器芯片及系統產品供應商，公司以汽車電子、工業電子和消費電子產品為核心業務，提供芯片（專用集成電路芯片、MEMS芯片）、MEMS傳感器、MEMS傳感器系統產品、測試設備等四大類產品，以及ODM/OEM服務。2022年，飛恩微電子研發出國內首款車規級MEMS壓力傳感器芯片。2021年7月, 申報《MEMS壓力傳感器項目》, 規劃年產MEMS 壓力傳感器 500 萬件, 具體為 FPT 系列微壓傳感器 400 萬件/年和壓力開關傳感器 100 萬件/年。2021年8月, 項目開工。2023年3月, MEMS壓力傳感器項目階段性驗收。驗收內容為 1 條 FPT 系列微壓傳感器自動化生產線, 生產規模 100 萬件/年。

8、領航微系統（IDM）-8英寸

合肥領航微系統集成有限公司是先進功能薄膜MEMS傳感器與執行器微系統IDM企業，主營業務范圍為MEMS微鏡，芯片揚聲器以及超聲波傳感器與信號處理ASIC的研發與制造，同時可提供SOI硅基MEMS傳感器代工服務。

領航微系統擁有8英寸薄膜MEMS晶圓工藝線，其中薄膜MEMS傳感器與執行器產能可達10000片/年，SOI硅基MEMS傳感器產能可達60000片/年，掌握功能薄膜生長、MEMS設計、工藝、封測、信號處理等全鏈條技術，以及MEMS結構-工藝-ASIC電路協同設計、MEMS機電性能協同測試與自動化封裝等方面關鍵技術。

（2023擬建）9、大灣區MEMS中試線（中試線）-8英寸

2022年11月，在深圳光明區舉行的中國傳感器與應用技術大會暨光明專項招商大會上，已敲定總投資額約15.33億元的大灣區MEMS中試線項目將落戶深圳光明區。

該項目規劃建設一條約產能3000片的8吋MEMS中試線，并具備熱電堆、MEMS壓力、MEMS麥克風、MEMS慣性傳感、微流控和微振鏡等工藝平臺。同時，總規模50億元的智能傳感器產業基金也將落地光明。

該項目也是深圳首條MEMS中試線，2023年8月最新消息，賽微電子旗下全資子公司賽萊克斯國際與深圳市重大產業投資集團有限公司關聯主體等聯合，通過投資設立賽萊克斯深圳，在深圳投資建設MEMS項目，深圳大灣區MEMS中試線走向落地，并由賽微電子主導建設。相關信息參看《深圳首條MEMS中試線落地！》

（2023擬建）10、華芯智能（IDM）-6英寸

華芯智能（珠海）科技有限公司于2019年12月成立，是一家全球領先的高性能MEMS慣性芯片及導航模組研發型企業，主要產品為高性能MEMS陀螺儀芯片、加速度計芯片、高性能慣性導航模組和組合導航模組。

2023年1月，據天津濱海—中關村北塘灣數字經濟產業園消息，華芯智能擬選址園區，新增投資建設MEMS芯片生產基地并將總部同步落戶園區。該總部項目落地后，將建設世界一流的高性能6英寸MEMS產線、全自動慣導模組生產基地，形成集組裝標定、芯片封測、高性能MEMS晶圓制造于一體的IDM發展模式。

目前，華芯智能已在天津建有封裝模組廠，已于2021年投產，一期總面積為1050平方米，由芯片封裝區域、慣導組裝區域、產品標定區域和辦公區域四大部分組成。一期工廠芯片封裝區域建設有千級的潔凈空間，引進國際主流品牌的探針臺、自動貼片機、金絲打線機和共晶爐等先進設備，計劃年產25萬顆高性能MEMS慣性傳感器。產品標定車間擁有超過20套自研高精度標定設備，隔振槽下挖2米深，采用混凝土澆筑而成，慣性導航模組年產能可達5萬臺套。

（2023在建）11、河南省智能傳感器MEMS中試平臺（中試線）-8英寸據河南省公布的《2023年河南省重點建設項目名單》最新消息顯示，《鄭州高新智能傳感器產業基地項目（原MEMS中試平臺項目）》列入重點建設名單中，屬新一代信息技術在建重點項目，總建筑面積約6萬平方米，主要建設河南省智能傳感器MEMS研發中試平臺所需物理空間，包括測試樓、主廠房、動力中心、危廢品庫、硅烷站、氫氣站、化學品庫及配套用房、設施。河南省智能傳感器MEMS中試平臺落戶鄭州高新區的中國（鄭州）智能傳感谷，于2022年8月動工建設。該項目圍繞智能傳感器的設計、制造、封測和應用等全產業鏈各環節布局，建設產能3000-5000片/月的8吋MEMS中試平臺。

▲鄭州高新區-中國（鄭州）智能傳感谷規劃圖

（2023在建）12、廣州增芯科技（代工）-12英寸2022年12月14日，廣州增芯科技舉行盛大的開工儀式，增芯科技有限公司12英寸先進MEMS傳感器及特色工藝晶圓制造量產線項目為最新動工建設的12英寸晶圓項目。增芯科技為廣州灣區智能傳感器產業集團有限公司重點項目之一。?目前建設的為一期第一階段項目，批復投資70億元人民幣，將建設月加工2萬片12英寸的晶圓制造量產線。項目于2022年12月開工，計劃2024上半年通線，2025年年底滿產。此前，據《廣州市2022年重點建設項目計劃》顯示，廣州增芯項目總投資達到370億元，將打造集研發、量產制造、封測與應用為一體的MEMS制造平臺。項目一期第一階段達產后產能2萬片/月；一期第二階段達產后產能擴至6萬片/月。?

（2023在建）13、奧松半導體（IDM）-8英寸

奧松半導體（重慶）有限公司是廣州奧松電子股份有限公司全資子公司，其主導的8英寸MEMS特色芯片IDM產業基地項目落戶重慶西部科學城。

奧松半導體8英寸MEMS特色芯片IDM產業基地項目，于今年6月28日開工建設，總投資35億元，用地約230畝，包含8英寸CMOS+MEMS特色傳感器芯片量產線、8英寸MEMS特色晶圓快速研發線、智能傳感器創新研發中心、車規級傳感器可靠性檢測中心、產學研科研中心及奧松半導體研發辦公大樓等建設項目，技術能力覆蓋CMOS+MEMS特色工藝，可全面開展表面硅、體硅以及新工藝、新器件、新系統的研發和量產；具有MEMS壓阻、壓電、硅光、磁材料、MOX、微流控等相關工藝的研發和量產設備，大幅提升產品研發的成功率，可實現各類MEMS半導體傳感器產品從研發到量產的無縫銜接。

14、奧松電子（IDM&代工）-6英寸

奧松電子成立于2003年，專注于MEMS半導體工藝技術，是國內率先應用MEMS半導體工藝技術生產傳感器芯片的高新技術企業，也是廣東省MEMS領域集研發、設計、制造、封裝測試、終端應用為一體的MEMS智能傳感器全產業鏈（簡稱IDM）企業。

2020年9月，廣州奧松電子有限公司6英寸MEMS半導體傳感器芯片生產線正式投入運營，成功量產出溫濕度、流量、氣體、差壓、風速等傳感器芯片。

奧松電子MEMS半導體生產線一期工程為500納米MEMS半導體工藝制程，生產設備約占整個投資規模的70%。根據規劃，2021年二期工程建成350納米制程工藝MEMS半導體生產線；2022年三期工程將建成180納米制程工藝MEMS半導體生產線；總項目全部建成投產后，每月流片規模將達到4萬片，

2021年8月，奧松電子官網宣布對外開放MEMS芯片代工業務，包括設備共享、技術支持、企業孵化等服務。

（2023在建）15、蚌埠與214所MEMS項目（代工）-8英寸2020年12月，蚌埠與214所簽約共同建設8英寸MEMS制造與微系統集成工程建設項目，建設周期為2年、總投資10億元，建設目標是打造國內領先的8英寸MEMS智能傳感器產業化平臺，建成后將擁有年產5萬片的MEMS晶圓制造能力和每年4億顆MEMS芯片封測能力。預計2023年進入試運營階段。

16、賽微電子 （代工）-8英寸

以全球MEMS產線計算，賽微電子是全球及中國最大純MEMS代工廠，2015年在深交所創業板上市，重點發展MEMS工藝開發與晶圓制造業務，2016年全資收購瑞典MEMS芯片制造商SilexMicrosystemsAB，提供壓力、慣性、紅外、微鏡、光開關、硅麥克風等多種MEMS工藝開發及晶圓制造的服務。

根據半導體市場研究機構Yole Development統計的2022年數據，Silex Microsystems AB 連續4年在全球MEMS純晶圓代工排名中位居第一。相關信息參看《最新全球MEMS晶圓廠排名出爐》

賽微電子目前國內的MEMS產線位于北京，2021年6月北京8英寸MEMS產線（北京FAB3）一期建成生產，目前（2023年8月）已形成10000片/月產能，將在2024/2025年盡快實現3萬片/月的總產能。

2023年，賽微電子先后宣布其MEMS濾波器芯片產線和MEMS微振鏡芯片產線正式量產，北京FAB3產線加速產能釋放。

目前賽微電子主要晶圓產線布局：

①已運營產線：瑞典FAB1&2-MEMS芯片-8英寸晶圓-產能7,000片/月；北京FAB3-MEMS芯片-8英寸晶圓-設計總產能3萬片/月(已實現10,000片/月)；青島GaN產線-GaN外延晶圓-產能830片/月。

②交易中產線：德國FAB5-汽車芯片-8英寸晶圓-產能高于8,000片/月。（該交易已與2022年11月被德國政府禁止，相關信息參看：《6億收購泡湯！中國最大MEMS代工廠被德國下禁令！》）

③籌劃/籌建中產線：FAB4(內部商業討論中)；合肥FAB6-MEMS芯片-12英寸晶圓-設計總產能2萬片/月；懷柔FAB7-MEMS芯片-6/8英寸晶圓-設計總產能3,000片/月；MEMS先進封測P-FAB1-MEMS芯片-8英寸晶圓-設計總產能1萬片/月；深圳大灣區MEMS中試線-8英寸晶圓-設計產能3000片/月。

▲賽微電子董事長楊云春手持北京FAB3生產的8英寸MEMS麥克風晶圓

17、西安勵德（代工）-6英寸西安勵德微系統科技有限公司是一家專業提供MEMS一體化解決方案的技術創新企業。2022年3月新建千平六寸MEMS產線一條投產，涵蓋深硅刻蝕、雙面光刻、薄膜、清洗、鍵合和隱形劃片等全產業鏈工藝設備和對應的測試能力，六寸中試線能夠完成從器件設計、工藝開發、工藝驗證到批量生產等全產品孵化流程。?

18、紹興中芯集成（代工）-8英寸

紹興中芯集成電路制造股份有限公司(下稱“中芯集成”)擁有目前中國大陸本土產能最大的MEMS產線，MEMS晶圓年銷量超85000+片。

2018年3月由中芯國際、紹興市政府、盛洋集團共同出資設立中芯集成電路制造（紹興）有限公司。同年5月，總投資58.8億元的中芯集成電路制造（紹興）項目開工奠基，該項目用地207.6畝，新建14.65萬平米的廠房，建設一條集成電路8寸芯片制造生產線和一條模組封裝生產線。

中芯國際的MEMS方案主要集中在MEMS麥克風、加速度計、陀螺儀、壓力、顯微鏡、超聲波傳感器、射頻器件。根據 Yole 發布的《2023 年 MEMS 產業現狀》報告，全球主要 MEMS 晶圓代工廠中，中芯集成排名全球第五。相關信息參看《最新全球MEMS晶圓廠排名出爐》。

據2023年上半年波高顯示，產能方面，中芯集成應用于車載、工控領域核心芯片的 IGBT 產能達到 8 萬片/月，其產能利用率超過 95%；SiC 新建產能 2000 片/月，產能利用率超過 90%。此外公司還擁有 MOSFET 產能 6.5 萬片/月、MEMS 產能 1.1 萬片/月、HVIC 產能 5000 片/月。相關信息參看《中國大陸最大規模MEMS代工廠，上半年營收25.2億元》

中芯集成已于今年5月10日在上交所科創板上市，募集金額達125億元，相關信息參看《國內最大MEMS代工廠成功上市！》。

▲來源：中芯集成2023半年度報告

19、青島芯恩（代工）-8英寸

芯恩（青島）集成電路有限公司坐落于青島市西海岸新區，是中國首個協同式集成電路制造(CIDM)項目。芯恩實現高端數模混合以及特殊工藝的8英寸以及12英寸芯片、國內先進光掩膜版等集成電路產品的量產，結合國內外知名芯片設計、制造、封測等企業落戶，打造成與國外先進IDM同等規模的國內先進的垂直整合芯片廠。芯恩（青島）特色工藝芯片包括MEMS芯片等。

20、昊潤科技（IDM）

山東昊潤自動化技術有限公司從事硅壓阻、硅電容OEM傳感器，通用型、智能型及行業專用型自動化測控儀表的設計研發和規模化制造。

2011年歐洲經濟危機期間，昊潤科技收購芬蘭VTI公司3D-MEMS 硅電容傳感器全套生產線，并引進其核心技術。因此，昊潤科技擁有自己的3D-MEMS技術和硅電容傳感器生產線，年生產規模1500萬只。

21、青鳥元芯（中試線）-4/6英寸

北京青鳥元芯微系統科技有限責任公司是目前國內第一家采用MEMS技術批量生產微型傳感器的高科技企業。公司以"北京大學微電子學研究院"和"微米/納米加工技術國家級重點實驗室"為技術依托，專門從事各種微型傳感器的研發和生產。目前，青鳥元芯擁有4 英寸/6 英寸MEMS 中試線，傳感器年產能達千萬規模。已經批量生產系列化微型濕度傳感器及模塊、MEMS壓力傳感器芯片、MEMS壓力傳感器、加速度傳感器及相關傳感器模塊和解決方案。

22、中電49所（IDM&代工）-4英寸

中國電科49所是我國軍工集團唯一專門從事電子敏感技術研究、敏感元器件與傳感器研發的專業研究所，國內最大的傳感器產業研究開發基地之一。建有4英寸MEMS微加工工藝線，自主研制出壓力、加速度、流量、濕度、氣體等MEMS敏感芯片，批量生產SOIMEMS壓力傳感器、薄膜鉑熱敏電阻器、高分子濕敏電容、可燃氣體傳感器等產品。

23、英特神斯科技（代工）

江蘇（南京）英特神斯科技有限公司是全球MEMS軟件巨頭美國Intellisense的中國戰略研發機構，在江蘇南京建有MEMS傳感器芯片工藝線，與北京大學、清華大學、中國科學院等眾多科研機構建立了戰略合作關系。

24、浙江芯動科技（代工）-6英寸

浙江芯動科技有限公司位于浙江省嘉興市，是一家專注高端MEMS代工并擁有自主知識產權的生產加工企業，是納杰微電子旗下公司。

芯動科技擁有先進的6英寸MEMS芯片產業化生產線，工藝能力涵蓋MEMS芯片生產全過程，生產壓力、加速度計、陀螺儀，光鏡和生物醫學等MEMS傳感器芯片產品。

芯動科技目前已投入1億多用于產線的建設，計劃聯合資本方在未來2-3年投入5億元人民幣繼續完善制造基地的相關設備設施。該基地目前建筑面積為3000平方米，是中國最先進的MEMS器件加工平臺之一，具備芯片制造、封裝測試等一系列的能力。

25、原位芯片（IDM&代工）-6英寸

原位芯片成立于2015年，主要研究人員由來自清華大學、中科院和海外院校的微電子、生物和機電等專業技術人才組成。原位芯片擁有一條6英寸MEMS晶圓產線，掌握40多項領先MEMS技術，擁有芯片設計、工藝開發、流片生產和測試的全流程自主研發、生產能力。

原位芯片專注于MEMS液體流量傳感器、貼片式胰島素泵芯片和氮化硅薄膜窗格等產品，其自主研發的氮化硅薄膜窗口產品成功打破海外壟斷，液體流量傳感器、貼片式胰島素泵芯片也是國內同類產品首創。

26、華潤微電子（IDM&代工）-6&8英寸

華潤微電子是2002年華潤集團收購華晶集團改組而成，總部位于無錫，擁有3條6英寸線，其中MEMS產線是國內規模最大的與CMOS生產線兼容的MEMS傳感器量產生產線，具有國內領先水平的 MEMS 表面和體硅加工技術，用于制造壓力、硅麥克風、光電、溫濕度等MEMS傳感器。

華潤微電子8吋MEMS的3000片/月產能擴充已經完成，并投入使用。光電及MEMS麥克風工藝平臺從6英寸升級到8英寸，實現批量生產，產品性能及良率水平優秀；整體提升了其MEMS工藝技術水平和競爭能力。

27、上海先進半導體（代工）-5、6、8英寸

上海先進半導體前身是1988年中荷合資的上海飛利浦半導體公司，經過多次改制后，2019年被上海積塔半導體吸收合并，改制為上海先進半導體制造有限公司。

先進半導體由傳統模擬芯片代工廠轉型MEMS代工，目前有5英寸、6英寸、8英寸晶圓生產線，MEMS生產線可以代工的器件包括：三軸陀螺 儀、加速度計、生物MEMS芯片、光學MEMS、RFMEMS、微流體開關、壓力傳感器等，可被廣泛應用于消費電子、醫療電子以及汽車電子等領域。

目前，該MEMS生產平臺擁有世界最先進的深槽刻蝕、鍵合、硅片邊緣修整等設備，設計月產量可達3000片。

28、華虹宏力（代工）-8英寸

華虹由原上海華虹NEC電子有限公司和上海宏力半導體制造有限公司合并而成，自建設中國大陸第一條8英寸（200mm）集成電路生產線起步，華虹宏力在上海金橋和張江共有三座8英寸晶圓廠（華虹一廠、二廠及三廠），月產能約18萬片。

在8英寸制造平臺上，華虹實現MEMS器件與標準CMOS工藝及生產線的全兼容。已流片的產品包括磁力計、加速度計、壓力傳感器等。

2023年，華虹宏力在上交所科創板上市，相關信息參看《中國第二大晶圓廠A股上市！》。

29、海康微影（IDM）-8英寸

海康微影是國內紅外熱成像巨頭海康威視旗下企業，主要從事MEMS傳感器、紅外探測器芯片研發、生產。

2021年11月9日在投資平臺上，海康威視透露海康微影已經自建一條8寸MEMS生產線及封裝線，具備年產晶圓一萬片，探測器百萬顆的生產能力。

探測器產線潔凈面積達到800平方米、凈化級別高達10級的8英寸，擁有業界—流的集成電路設計、MEMS設計、MEMS/封裝制程開發、應用成品開發及銷售服務團隊。

30、愛司凱（IDM）-8英寸

愛司凱成立于2006年，致力于工業打印核心技術研發和多技術（微機電系統MEMS、大功率激光、精密制作及智能控制）融合的高新技術企業。目前已掌握三大核心技術：即激光技術、壓電式噴墨打印技術和精密運動控制系統 ，愛司凱在廣州中新知識城建有8英寸晶圓MEMS噴墨打印頭產線。

31、西人馬（IDM）-8英寸

西人馬（FATRI）是一家芯片IDM公司，旗下西人馬聯合測控（泉州）科技有限公司（FATRI UTC）成立于2017年，是西人馬MEMS高端傳感器和芯片制造基地，占地70畝，建筑面積20000㎡，具有6000㎡的超凈車間和先進微納米研究實驗室，配備8英寸向下兼容6英寸的MEMS智能傳感器芯片產線和中國先進的MEMS器件加工平臺。

西人馬19年11月獲得朗潤基金數千萬A輪融資，20年一季度獲得A+輪的1億元人民幣融資，2021年3月獲B輪融資，發展迅速，西人馬已經成為國內MEMS領域IDM芯片公司的鰲頭，紅外和壓力傳感器每日產量可以達到幾十萬顆。西人馬是中國MEMS十強企業之一。

32、罕王微電子（IDM）-8英寸

罕王微電子是一家以MEMS傳感器設計及制造生產為核心的高科技中美合資企業，總部位于遼寧省沈撫新區，系罕王集團控股子公司。

罕王微電子2016年收購美信旗下MEMS傳感器業務，2018年建成國內首條8英寸純MEMS規模化量產線，工藝能力涵蓋MEMS芯片生產全流程，設計晶圓產能36萬片/年。生產傳感器包括：陀螺儀、IMU慣性測量單元、射頻RF-MEMS及加速度、溫度、濕度、壓力、應力傳感器等。

33、美泰科技（IDM）-6英寸

中國電子科技集團第十三研究所全資子公司，2015年中電十三所的“6英寸SOI MEMS標準加工技術及在高性能MEMS 器件中的應用”通過科技部組織的專家驗收。

6英寸SOI MEMS標準工藝和封裝技術用于MEMS陀螺儀、加速度計、振動傳感器、碰撞傳感器、MEMS光開關、VOA及壓力傳感器等高性能MEMS器件的批量加工，美泰科技6英寸產線月產能達到1萬片。

34、多維科技（IDM&代工）-6&8英寸

成立于2010年，總部在江蘇張家港，建設有完整的第四代磁傳感技術——隧道磁電阻（TMR）的磁性感應芯片產線。

多維科技的磁傳感器晶圓代工廠擁有6英寸和8英寸MEMS晶圓產線，提供完整的磁傳感器（AMR / GMR / TMR）開發及晶圓制造服務（包括設計、制造和測試），年產10億個TMR磁傳感器。

2021年5月多維科技獲4億元融資，將用于對現有產線進行升級，能夠進一步強化“自研、自產、技術領先”的核心競爭力。

35、啟泰傳感（IDM）

2006年成立，總部在湖南瀏陽。啟泰傳感以王國秋教授為首的科研團隊攻克了異質膜關鍵工藝與技術，建設國內第一條金屬基薄膜力敏芯片——MEMS壓敏傳感芯片生產線，是世界上少數幾家具有金屬濺射薄膜壓敏芯片規模化生產能力的公司之一。

2019年8月該生產線實現批量生產，年產壓敏傳感芯片50萬顆，至2021年一期工程順利完工投產，用地面積35畝，建設總用地面積2萬多平米，傳感器芯片年生產能力可達600萬顆，傳感器封裝200萬支，年產值可達10億元。

據二期項目正在進行，預計完工后，傳感器芯片產能將達2000萬顆，傳感器封裝1000萬支，年產值可達50億元。

36、高德紅外（IDM）

高德紅外創立于1999年，總部位于武漢，擁有8 英寸 0.25um 批產型 MEMS 生產線，是目前國內唯一一條自主可控且具備批產能力的非制冷紅外焦平面探測器生產線，已實現從 120×90 到 1280×1024 從低到高各類面陣規格產品型號批產能力。

高德紅外目前已擁有3條8英寸紅外探測器產線，據2021年8月消息，年底將有新產線投產，并提高3~4倍產能。

37、士蘭微（IDM）-6&8英寸

杭州士蘭微1997年成立，是國內規模最大的集成電路芯片設計與制造一體（IDM）的企業之一。

自2010年開始，士蘭微電子投入大量資金，通過對加速度傳感器、地磁傳感器、壓力傳感器等一系列傳感器產品的開發，在6吋、8吋芯片生產線上實現了批量制造能力，并建立自己的MEMS封測生產線，初步走通了系列傳感器的IDM發展之路，已申請相關發明專利百余項。

目前士蘭微MEMS傳感器產品系列豐富，有：MEMS加速度計、三軸AMR磁傳感器、六軸慣性傳感器、高性能MEMS麥克風、數字三合一傳感器、心率傳感器、高性能氣壓壓力傳感器等。

士蘭微是中國MEMS十強企業之一，據其2022上半年度報告披露，2022 年上半年，公司 MEMS 傳感器產品的營業收入達到 1.5 億元，較上年同期增加 7.8%。

38、德爾森（IDM）

德爾森集團是一家中德合作的高新技術企業，集團總部與產品設計中心位于德國法蘭克福和中國南京。

德爾森與南京市共同建立江蘇MEMS智能傳感器研究院，投資1.04億元建有基于德國CIS研究院技術的MEMS壓力傳感器芯片產線。

39、力盛芯（IDM）-8英寸

力盛芯（洛陽）電子科技公司是由臺灣LED產業之父石修投資建立的企業，主要生產微機電工藝傳感器、硅基微型聚光斗芯片和微機電工藝集成電路代工制造三大類產品。2017年總投資9億元，約5萬平方米的8英寸MEMS芯片廠正式投產。

40、睿創微納（IDM）-8英寸

睿創微納總部位于山東煙臺，是從事專用集成電路、紅外熱像芯片及MEMS傳感器設計與制造的企業。

睿創微納的8英寸MEMS晶圓生產線由公司與代工廠共建，已量產，月產能1500片晶圓。

2020年7月，與煙臺開發區簽署協議，建設一條8英寸MEMS工藝線和一條化合物半導體工藝線。其中，化合物半導體芯片工藝線面向半導體激光器、光電探測器、微波器件以及功率器件；MEMS工藝線面向高端光學MEMS器件、RF MEMS器件和慣性MEMS傳感器等。

41、沈陽儀表科學研究院（中試線）-4英寸

沈陽儀表科學研究院傳感器國家工廠研究中心是我國唯一的國家級傳感器工程研究中心，在中國傳感器研發、生產、應用等方面有著舉足輕重的地位。是我國傳感器標準起草牽頭單位、傳感器行業協會理事長單位。

研究中心建有4英寸中試線，主要用于MEMS傳感器研發生產使用。

42、國家智能傳感器創新中心（中試線）-12英寸

2021年6月30日，由國家智能傳感器創新中心（簡稱“創新中心”）建設的國內首條12英寸先進傳感器中試線成功通線。

該中試線以國產設備為主，具備晶圓鍵合、晶圓減薄、干濕法刻蝕、物理和化學氣相沉積、原子層沉積、化學機械研磨、濕法清洗、自動化量測等先進傳感器和晶圓級3D集成技術的核心工藝能力，同時為國產裝備提供驗證平臺，加速先進傳感器產業鏈國產化，實現自主可控。

43、蘇州納米城（中試線）-6英寸

蘇州納米城6英寸MEMS中試線由蘇州納米科技發展有限公司（蘇州工業園區政府出資）建設，是江蘇省“十二五”重大科技平臺項目。

蘇州6英寸微納機電制造（MEMS）中試線采用市場化、全開放的運作模式，主要開展MEMS產品工藝研發、MEMS加工、部分封裝測試、專利運營、設備租賃、超凈場地租賃、工藝技術培訓等十多項專業服務，目前已成功導入壓力傳感器、微鏡傳感器、微流體傳感器等產品

44、諾思微系統（IDM）-6英寸

諾思微系統位于天津，是一家無線設備射頻前端MEMS濾波芯片服務商，其產品主要采用薄膜體聲波諧振器(FBAR)技術以及硅襯底的微機電系統(MEMS)制造技術，同時為無線射頻濾波器、雙工器、和多工器等提供解決方案。

諾思微已投產一條6英寸MEMS晶圓生產線和一條4英寸工藝研發線。廠房和研發中心總占地面積2.7萬平方米。

2021年3月，國家重點研發計劃“制造基礎技術與關鍵部件”重點專項項目“硅基MEMS壓電薄膜及器件關鍵技術與平臺”的項目在諾思微系統啟動，針對5G/6G無線通訊、物聯網等對射頻濾波器、智能傳感器提出新的技術要求，對實現晶圓級硅基MEMS壓電器件的大規模生產、擺脫我國目前關鍵MEMS壓電器件受制于人的局面，有重要意義。

2021年8月完成4億元融資，預計在一年內全面加速產能釋放，達年產20億顆濾波器芯片的產能規模。

45、武漢衍熙微器件（IDM）-8英寸

武漢衍熙微器件擁有全國第一條8寸體聲波（BAW）量產線，具有先進的光刻、薄膜、蝕刻以及封裝設備，并建立創新自主開發的產品生產流程。該產線主要產品有MEMS濾波器、雙工器等。

2018年，武漢衍熙微器件進行項目擴建，一期為租賃現有廠房5600平方米，建設3600平方米的無塵室車間；二期計劃建設約10000平方米的無塵室車間，用于擴大生產。

46、蘇州固锝（IDM）-8英寸

蘇州固锝成立于1990年，是國內二極管龍頭企業，旗下子公司明銳光電、明皜傳感、艾特曼電子等涉足MEMS傳感器IDM業務。

2010年固锝收購明銳光電，明銳光電主要從事MEMS-CMOS三維集成制造平臺技術及八英寸晶圓級封裝技術及產線和產品研發。

2011年成立明皜傳感，從事微機電傳感器芯片和器件的工藝開發、設計。2021年8月，明皜傳感獲小米投資，注冊資本由 6443.64 萬元人民幣增加至 7085.19 萬元人民幣，增幅為 9.96%。

47、西北工業大學寧波研究院（研發平臺）-8英寸

西北工業大學寧波研究院智能傳感芯片技術研究中心依托西北工業大學微機電系統及納米技術雙一流學科、極端環境智能微系統國家重點實驗室（培育）寧波基地、空天微納系統教育部重點實驗室寧波基地等優勢平臺，建有國際先進、國內一流的硅基MEMS核心工藝加工服務平臺，團隊實力雄厚，具有MEMS器件結構設計、批量化代工、性能測試等研發加工能力。

西北工業大學寧波研究院MEMS加工平臺位于寧波市國家高新區智造港A區，擁有世界頂級SPTS深硅刻蝕機、SUSS MA/BA8 Gen4***、SUSS XB8鍵合機、全自動涂膠顯影機、原子層沉積設備、兩臺電子束蒸鍍設備（金/銀/鋁等金屬、SiO2/Al2O3等介質）、兩臺激光隱切設備（硅/玻璃）、濕法腐蝕與清洗系統、橢偏儀、臺階儀等MEMS工藝專業設備，設備兼容8/6/4/2英寸晶圓加工，面向全國提供MEMS芯片結構設計、鍍膜、光刻、刻蝕、劃片、封測、應用開發等全方位技術服務。

48、蘇州納米技術與納米仿生研究所（中試線）

中國科學院蘇州納米技術與納米仿生研究所由中國科學院與江蘇省人民政府、蘇州市人民政府和蘇州工業園區于2006年共同創建。研究所前瞻布局了電子信息、納米材料、生物醫學等重點研究領域，建設有用于MEMS器件研發使用的代工產線。

49、淄博高新區6英寸中試線

該產線由清華大學、淄博高新區MEMS研究院和國高(淄博)微系統科技有限公司共同完成。

是國內首條硅基4/6英寸兼容MEMS中試代工平臺，超凈規模國內一流；配備了國際一流設備的中試代工線，中試生產能力可達月產傳感器十萬只，產品的測試環境也居國內先進水平。

50、兵器214所（中試線）

蚌埠兵器214所智能傳感器創新中心已建成國家級微電子機械系統(MEMS)國家地方聯合工程實驗室和6英寸MEMS智能傳感器研制生產工藝線，具有設計、制造、封裝、篩選測試及應用的全產業鏈研制生產能力，擁有豐富的完全自主知識產權的MEMS技術，核心發明專利300余項，產品覆蓋高端慣性傳感器、壓力傳感器、光MEMS傳感器、流量傳感器以及氣體傳感器等，是國內MEMS龍頭企業和工信部傳感器“一條龍”示范企業。

51、中科院微電子所（中試線）

2016年由中科院微電子所設立的MEMS研發平臺，其8英寸MEMS中試線工藝穩定性達到98%；針對三軸重力加速度計、基于氧化釩的紅外圖像傳感器、醫用CT中X-ray探測、基于薄膜體聲波濾波器（FBAR）、MEMS紅外探測器等產品。

52、中科院電子學研究所（研發平臺）

中國科學院電子學研究所（以下簡稱電子所）創建于1956年，現已并入中國科學院空天信息創新研究院，是我國第一個綜合型電子與信息科學研究所，設有傳感技術聯合國家重點實驗室(北方基地)，建有用于MEMS研發使用的MEMS產線。

53、中科院上海微系統所（研發平臺）

中國科學院上海微系統所設有傳感技術聯合國家重點實驗室(北方基地)，現有的MEMS技術平臺由微系統加工平臺和微系統封裝平臺兩部分組成，分別位于上海微系統所漕河涇園區內主樓的一層和二層凈化間內。

整個平臺擁有100多臺套先進的大中型設備，總價值達1.1億元，可以完成從微芯片制造、芯片封裝、器件測試、微系統集成等成套工藝，為微系統研究提供有力的技術保障。

54、上海微技術工研院（中試線）

2017年，上海微技術工業研究院（以下簡稱“工研院”）構建的國內首條，全球領先，兼容CMOS的8英寸研發中試線正式投入運營，月產量將達到3000件。

該產線部署了MEMS、硅光子、RF、硅基III-V族、3D集成、MR磁傳感、功率及生物等相關工藝和量測設備。作為國內第一條先進8英寸研發中試線，SITRI的8英寸研發中試線不僅可承擔產品研發、小批量生產、技術培訓、設備驗證等服務，有助于提升研發的成功率。

其他

（擱置）55、賽微電子（代工）-12英寸

2022年1月3日晚間，賽微電子發布公告，公司于2022年1月1日與合肥高新區管委會簽署了《合作框架協議》，擬在合肥高新區投資建設12吋MEMS制造線項目，總投資51億元，擬建設一座設計產能為2萬片/月的12吋MEMS產線，預計滿產后可實現年收入約30億元。將是中國較具規模的12英寸MEMS產線之一。

賽微電子合肥項目公司注冊資本擬設定為40億元，計劃賽微電子占股約36%(出資約14.4億元)、合肥高新區管委會聯合市區下屬國資平臺占股約24%（出資約10億元）、項目核心團隊持股約10%（出資約4億元）、其他社會資本占股合計約30%（出資約12億元）。

據2023年8月最新消息，該項目處于擱置狀態，啟動日期未定。

（已破產清算）56、東方微磁（IDM）

湖北宜昌東方微磁有限公司是中國船舶重工集團公司第七一〇研究所全資子公司，是一家致力于磁學計量和中國磁電產業發展的高新技術企業，建有國防科技工業弱磁一級計量站、磁電子技術國家地方聯合工程實驗室、湖北省磁電子工業技術研究院，擁有國內第一條MEMS磁傳感器芯片生產線。

東方微磁的MEMS生產線2015年底全部調通，是國內首條可滿足工業化生產的磁芯片生產線，保守產能為1000片/月，每年至少可生產月2億顆芯片，共有濺射鍍膜、光刻、真空、測試等設備進60臺。

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審核編輯 黃宇