白光干涉儀對(duì)測(cè)量樣品的幾點(diǎn)要求:
1. 樣品厚度:白光干涉儀的測(cè)量精度受到樣品厚度的影響,一般要求樣品厚度在幾納米至幾百微米范圍內(nèi),過厚或過薄的樣品對(duì)測(cè)量精度都會(huì)產(chǎn)生較大的影響。
2. 樣品透明度:白光干涉儀可測(cè)量的透明材料的折射率與樣品的透光性相關(guān),要求樣品對(duì)白光具有一定的透光性,否則可能無法進(jìn)行測(cè)量。
3. 樣品凈度:樣品表面的干凈程度對(duì)白光干涉儀的測(cè)量精度也有著較大的影響,必須保證樣品表面干凈并且不會(huì)出現(xiàn)劃痕、斑點(diǎn)等對(duì)測(cè)量結(jié)果產(chǎn)生影響的污漬。
4. 樣品幾何形狀:樣品的幾何形狀也對(duì)白光干涉儀的測(cè)量精度產(chǎn)生一定的影響,可測(cè)量的樣品形狀要求比較簡(jiǎn)單,最好能夠保持平整且不發(fā)生變形。
在進(jìn)行白光干涉儀的樣品測(cè)量時(shí),需要依據(jù)所測(cè)量的樣品特性,合理選擇樣品的凈度、數(shù)量及厚度。同時(shí),在實(shí)踐中還需要注意避免光路干擾、保證樣品的平整性等因素,以確保測(cè)量的準(zhǔn)確性和可靠性。
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