半導(dǎo)體行業(yè)的生產(chǎn)設(shè)備有刻蝕、薄膜沉積、清洗、濕制、封裝和測試、拋光、硅晶圓制造等，這些精密生產(chǎn)設(shè)備中有電氣元器件、執(zhí)行部件、監(jiān)測控制儀器等，對供電的穩(wěn)定性和質(zhì)量要求很高。

某半導(dǎo)體單晶硅材料生產(chǎn)車間有很多的單晶爐，晶體在生長和拉制時(shí)對溫度有嚴(yán)格要求，因此安裝了智能高溫在線測溫儀，對生產(chǎn)期間的溫度進(jìn)行嚴(yán)格的監(jiān)測和控制。

但是電源模塊經(jīng)常損壞，大多發(fā)生在工作流程快結(jié)束的幾個(gè)小時(shí)工作區(qū)間內(nèi)，而且損壞是隨機(jī)的。

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現(xiàn)場設(shè)備及供電情況：

高溫智能在線測溫儀

（1000-3200°C）

由于生產(chǎn)設(shè)備對供電質(zhì)量要求很高，車間由兩路UPS供電，一路大約帶100臺(tái)原晶生產(chǎn)設(shè)備。

一路的負(fù)載是單純的單晶爐，沒有損壞現(xiàn)象。

另外一路，除了單晶爐，還帶有機(jī)械泵等其他動(dòng)力設(shè)備。

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監(jiān)測方案：

Fluke 1777

電能質(zhì)量分析儀

既然是損壞發(fā)生在工作流程快結(jié)束的幾個(gè)小時(shí)，因此，請用戶挑選了一臺(tái)即將結(jié)束工作流程的設(shè)備，將一臺(tái)電能質(zhì)量分析儀Fluke 1777連接在三相供電電源處，監(jiān)測有沒有發(fā)生過壓和過流。

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先對儀器做基本的設(shè)置：

測試了20多個(gè)小時(shí)，捕捉到了一次浪涌事件

出現(xiàn)了一次浪涌電流

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浪涌電流詳情如下：

正常工作時(shí)的電流不超過2A

因此觸發(fā)閾值設(shè)置為4A

但是捕捉到的浪涌電流是正常工作電流的5倍多（10.43A）

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浪涌發(fā)生時(shí)電壓電流的趨勢圖

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電流波形圖

電流波形出現(xiàn)大的偏差時(shí)

電壓波形沒有畸變（右下角）

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電壓電流諧波

盡管含量較高，但是幅值很小，沒問題！

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后續(xù)建議

敏感精密測試儀器使用單獨(dú)供電（穩(wěn)定，波動(dòng)小）

減小其他機(jī)械泵等負(fù)載啟停對生產(chǎn)設(shè)備的影響

在測溫儀24V供電前面增加一個(gè)隔離模塊

審核編輯：劉清