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阜時全固態激光雷達面陣SPAD芯片榮獲廣東省科技進步二等獎

MEMS ? 來源:MEMS ? 2023-11-30 09:47 ? 次閱讀

11月27日,阜時科技收到了廣東省人民政府頒發的廣東省科技進步獎二等獎證書。

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阜時科技全固態激光雷達面陣SPAD芯片,是基于此次獲獎項目的技術沉淀,通過公司上百名研發人員傾全力開發,今年流片出來。這是國內第一款全固態激光雷達面陣SPAD芯片,通過先進的BSI背照式工藝架構,解決了高靈敏度感光和dToF高速數字運算的底層硬件難題,達到了150線掃描、每秒輸出54萬點云的面區域激光雷達探測覆蓋,超越了日本芯片,實現了目前全世界最高輸出分辨率的激光雷達性能。

該項目成果整體技術與應用達到國際先進水平,具有顯著的社會效益,填補國內空白,打破國外廠商壟斷,解決了國家重大戰略需求的“卡脖子”問題,實現自主可控掌握底層器件技術,可帶動下游激光雷達應用市場高速成長。

作為芯片設計開發領域唯一民營機構牽頭獲獎項目,阜時科技自主研發的核心技術獲得廣東省及深圳市相關部門的一致認可。評審委員會專家在評審過程中,對阜時科技的芯片研發能力、器件測試效果,均給予了高度評價。本項目成果圍繞深度光感器件精確度和反應速度、可靠性以及光傳感芯片的封裝難題等瓶頸問題,從直接激光飛行時間(dToF)測距技術路徑、進行高性能單光子雪崩二極管元器件(SPAD)的工藝研究,對 SPAD器件占位檢測、可靠性、底層原理、工藝仿真等各個層面,系統研發三維機器視覺芯片深度光感測元器件。

基于內部研究院的創新理論研究,阜時科技近年來投入巨額研發,與晶圓廠合作多次進行 SPAD 器件工藝的實驗流片,屢次迭代調試工藝,成功使得單光子雪崩二極管器件工藝達到穩定良率、高性能、低功耗、小型化水平,滿足可產品化落地的高標準。






審核編輯:劉清

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原文標題:阜時全固態激光雷達面陣SPAD芯片榮獲廣東省科技進步二等獎

文章出處:【微信號:MEMSensor,微信公眾號:MEMS】歡迎添加關注!文章轉載請注明出處。

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