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浙江賽瑾半導體:聚焦半導體載具高端制造

微云疏影 ? 來源:綜合整理 ? 作者:綜合整理 ? 2023-12-12 10:07 ? 次閱讀

晶圓載具種類豐富繁多,其中包括晶舟、晶圓盒、前開式晶圓傳送盒(FOUP,即前端開放式的單體封裝單元)和前開式運輸箱(FOSB)等。每類產品特性略有差異,功能發揮也不盡相同。例如,FOUP是高等規格的晶圓載具,內置可擺放25或13枚12吋晶圓,是專門供12吋晶圓廠企業使用的運輸設施,盡管屬于較小的特定市場領域,但其重要性不言而喻。隨著晶圓載具業界的飛速進步和我國晶圓制程技術的提升,FOUP市場有望持續擴大。

位于浙江省的賽謹半導體科技有限公司創立于2022年1月,系專注于設計、制造半導體載具并配備相應智能裝備的尖端科技企業。針對各種尺寸的Fab生產線,包括6英寸、8英寸及12英寸等,提供全面的載具及相關設備綜合解決方案,覆蓋SMIF POD、FOUP、CassetteRSP、Smart Tag、E-rack、SMIF、Stocker、EFEM、量測機器、清洗器等多樣化產品。該公司注冊資金達2600萬,員工逾200人,研發團隊規模超80人,總辦公面積達到10300平方米,其中2000平方米為無塵區,具備載具設計及注塑能力,兼容AMC/VOC/顆粒/離子檢測功能,智能化設備設計與生產調試技能,載具組裝、測試及清洗作業能力。

在12吋線產品方案上,賽謹半導體首先推出必要的FOUP晶圓承載具,助力12吋晶圓在代工廠內高效流通。過去,國內FOUP市場大半被海外企業如美國Entegris、日本信越等占據。然而,鑒于當前的中美摩擦局面,海外FOUP制造商的交貨周期大大拉長至半年以上,價格上漲且部分情況還因故拒向部分12英寸Fab廠供貨,此類現象對我國新建的12英寸晶圓廠構成莫大威脅。

賽謹半導體致力于在FOUP的產品研發和打造方面深入研究,于2021年開始向主流 fab 工廠大規模供應FOUP,填補了國內相關細分市場的空白,解答客戶無法實現FOUP使用的困擾。截至2023年第三季度末,賽謹半導體仍是國內唯一能夠大規模供應FOUP的企業,目前已出貨超10K份FOUP,成功服務多個12英寸Fab工廠。

在滿足Semi標準的基礎上,賽謹半導體敢于直面Entegris Spectra-s及信越S281(EX300)高端拼裝式晶圓盒FOUP,同時依據用戶實際運用中所產生的問題進行有針對性的改良改進(如開裂、翹曲等),獲得了多項FOUP設計專利。除此之外,賽謹半導體提供了一整套完善的各種檢測設備,如可對CV9812、三次元、IC、ICP-MS、LPC、拉力測試、氣密性測試、疲勞測試等進行檢驗。

而且,賽謹半導體同時具備精密模具的生產能力,能夠快速響應客戶的訂制需求。相較而言,賽謹FOUP在交貨時間、價格及服務等方面均優于海外FOUP產品,能更好地滿足國內Fab工廠的多樣化需求。此外,賽謹半導體已在研發階段推出高端防水型FOUP,適用于14nm及以下制程,有望助力破解“卡脖子”困境,推動我國高端制程的進一步發展。

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