1月11日至純科技發(fā)布公告稱，公司今年新簽訂單額達132.93億元，同比增長92.48%，連續(xù)五年-十五年長期訂單金額高達86.61億元。根據公司之前的數據顯示，2023年年中以來新訂單額急劇增加，同比增長超38%。截至2023年6月底，公司在手訂單額53.23億元，其中超過七成來自半導體領域，其余來自泛半導體和生物醫(yī)藥業(yè)。

至純科技旗下的至微科技是國內濕法設備市場主流供應商之一，在28納米節(jié)點實現了全覆蓋，全工藝機臺亦均有訂單。在更為尖端的制程中，至微科技已有部分工藝獲得訂單。作為濕法設備中技術最為復雜的設備，至微科技的S300 SPM機臺現已交付給眾多國內龍頭晶圓廠，并成功應用于12英寸邏輯量產線，每月產能可達6萬片次以上。該設備累計產量已突破20萬片次，是中國高階濕法設備實現進口替代的重大突破。至微科技也是目前為止，國內能達到上述高端濕法設備量產標準的獨家企業(yè)。

至純科技在濕法設備應用于成熟制程的產品線擴展穩(wěn)步進行，在部分邏輯用戶和第三代半導體用戶的生產線中的滲透率不斷攀升。雖然在先進制程中的高階產品線受制于用戶擴產進程稍顯滯后，但在高溫硫酸、FINETCH及單片磷酸等技術仍被國際廠商掌握的領域，至純科技的交付和驗證水平處于全國領先地位。