01 說明

在本例中，演示了如何將KLayout Library Cell動態導入 Lumerical 以執行設計掃描和表征。該功能支持動態導入到Lumerical FDTD、MODE以及Multiphysics的所有工具，包括CHARGE、HEAT、FEEM、MQW、DGTD。本例適用于：

NOTE：建議使用指定版本的 KLayout，因為并非所有版本的 KLayout 都受支持和測試。此外，Linux部分的支持尚未經過充分測試和支持，請謹慎使用。

02 綜述

步驟1：在KLayout中安裝Lum PDK

Lum PDK是KLayout PDK用于演示工作流程的一個示例，任何具有相關技術和庫的KLayout PDK都可以在此流程中工作。

下載并解壓包，將Lum文件夾復制到：

On Windows: C:Users\KLayoutsalt

On Linux: /home//.klayout/salt

有關KLayout PDK中文件的更多信息，請參閱Lumfoundry PDK和KLayout用戶手冊以獲取更多詳細信息。

通過打開 KLayout 并檢查Lumtechnology和Lumlibrary是否可用，用于檢查LumPDK是否已在KLayout中注冊。

步驟2：運行步驟

Notes：必須關閉Safe mode才能運行工作流程。

第1步：運行腳本

1.確保klayoutintegrationgui.lsfx和klayoutgetgeometry.lsfx位于同一目錄中。

2.打開 FDTD、MODE或Multiphysics并運行 klayoutintegrationgui.lsfx，在script prompt下使用 feval 命令。

> feval("/path/to/klayoutintegrationgui.lsfx");

第2步：完成wizard

1.查找并選擇KLayout可執行文件。

2.查找并選擇process文件，可以在Lum echLum_process_file.lbr下找到。確保process文件包含并定義在library cell's layout中找到的層。點擊“Next”后，工作流程從KLayout 中提取數據，這可能需要長達 10 秒的時間才能完成。請注意，可能會彈出命令行窗口，請忽略該窗口。

3.選擇要導入的library cell，library cells按::::管理。

每個步驟的提示如上所示。

4.檢查cell參數和仿真設置：根據需要設置cell參數。如果仿真設置部分是可用的，請確保正確指定“Light injection layer”和“Port layer”，并在運行仿真之前驗證設置。

FDTD 模擬區域位于“Light injection layer”的z軸中心

ports是根據“Port layer”上找到的矩形生成的

點擊“Next”后，工作流程從KLayout中提取cell幾何形狀和參數，這可能需要長達 10 秒的時間才能完成。然后，生成器件幾何形狀和模擬區域。請注意，可能會彈出命令行窗口，請忽略該窗口。

5.導入結構：在FDTD和MODE中，一旦導入cell結構，就會在“Object Tree”中生成帶有設置腳本的分析組。在Multiphysics中導入cell結構后，設置腳本將包含在“Object Tree”的“model”組中。

在 FDTD 中，分析組和設置腳本的如下信息允許修改：

反映在其結構中的Cell參數

FDTD仿真區域

Port結構

Layer定義

在MODE和Multiphysics中，分析/模型組和設置腳本的如下信息允許修改：

反映在其結構中的Cell參數

步驟3：參數掃描

可以進行參數掃描用來表征器件。

1.在“Optimizations and Sweeps”選項卡中，添加掃描

2.設置參數進行掃描。如下所示，分析組中定義的參數在“Properties”下可用：

3.運行掃描。一旦完成結果，將可用于可視化。可以在此處找到有關Lumerical參數掃描功能的更多信息。

文章來源：本文轉載于Ansys公眾號

審核編輯：湯梓紅