光譜共焦位移傳感器和激光三角位移傳感器在表面測量領域均占據重要位置，它們各自在測量物體厚度方面表現出獨特的優(yōu)勢。盡管兩者具備測量功能，但根據應用環(huán)境和所需精度，它們的適應性呈現出顯著差異。 具體而言，光譜共焦位移傳感器利用共焦光學系統與光譜分析技術的結合進行測量，這種配置賦予了它極高的測量精確度。此外，其非接觸式的測量方式意味著不會對被測物體造成物理性損害，這一特性使其尤為適宜于透明或鏡面反射類材料的測量，這類材料往往會其他傳統測量工具帶來困難。 與此相對照，激光三角位移傳感器通過發(fā)射激光束至物體表面并監(jiān)測反射光束的位置變化以計算物體的位移量，這種方法在漫反射型表面測量中表現良好。然而，面對透明或具有鏡面性質的物體時，激光三角位移傳感器的測量準確性往往不盡人意。 本文后續(xù)章節(jié)將深入探討光譜共焦位移傳感器在晶圓測量領域的應用優(yōu)勢，詳細分析其在此類精密測量任務中的表現。

晶圓測量新利器：光譜共焦傳感器優(yōu)勢解析

點共焦位移傳感器對晶圓量測的技術和功能要求：

1.超高分辨率（納米級）、亞微米級高精度，提高誤檢率

2.同軸光測量，不受光強和被測物表面材質影響，無測量盲區(qū)

3.軟硬件一體化，支持多型號和多檢測場景，幫助客戶降低生產成本

4.測量精度高（μm級別精度）

5.角度適應性廣

6.環(huán)境適應性強（如可能存在溫度，機臺震動，平臺移動等環(huán)境因素）

7.高靈敏度，高信噪比光學的非接觸測量

相比激光位移傳感器點光譜共焦位移傳感器有哪些優(yōu)勢：

1.分辨率高：理論上波長可以一直被細分，因此通過特殊鏡頭可以輸出相當高的分辨率。

2.溫度穩(wěn)定性好：內部僅有鏡頭結構設計，鏡頭本身不發(fā)熱，溫度漂移小，對于微米以及亞微米測量，溫漂是關鍵。

3.自動聚焦：在量程范圍內，被測物的位置高度上下變動時都有相應的波長的光聚焦到物體表面，再反射回接收器。

4.橫向分辨率高：從上到下被測物總是在焦點上，測量光斑極為微小，因此能分辨被測物上的微小輪廓變化。

5.模塊化小型化：鏡頭和控制器可以通過光纖連接，傳輸距離遠，鏡頭可以做得很小，便于并排安裝。

6.調頻抗干擾：波長是調頻信號，對光強變化等調幅干擾不敏感。光纖對電磁干擾、雷電浪涌不敏感。

7.全息性：理論上任意一束返回光譜分析儀的光線的波長都攜帶了距離信息，部分光被遮擋影響小。

8.安全性高：壽命長的LED光源，微小功率的白光，比激光對人眼安全，不受限于激光危害等級。

審核編輯 黃宇