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液體流量計在單晶爐設備中的應用方案

vogreat ? 來源:vogreat ? 作者:vogreat ? 2024-04-12 16:10 ? 次閱讀

近年世界光伏市場增長非常迅速,光伏產業也隨之迅速擴張。單晶爐是半導體和太陽能行業重要的生產設備,其冷卻水系統較為復雜,對安全性的要求較高。

在高爐消費過程中,由于爐內產生大量的熱量,任何爐襯材料都難以承受這樣的高溫作用,必須對其爐體進行合理的冷卻,同時對冷卻介質進行有效的控制,以便到達有效的冷卻,使之既不危及耐火材料的壽命,又不會因為冷卻元件的泄露而影響高爐的操作。因此對高爐冷卻介質進行必要的監測和控制尤為重要。

生產單晶硅的單晶爐設備,它的內部結構復雜,而單晶硅的生產對環境要求極為苛刻,比如爐體溫度;如果冷卻水供應不及時,就可能導致爐體變形,造成硅晶體產品的不合格以及設備的損失,所以需要在冷卻水的主管路和支管路上對水進行流量的實時監測。

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奧松電子研發的渦街水流量計可以對單晶爐、切片機、擴散爐等設備的冷卻系統中的冷卻水流量進行精準監測,以達到冷卻降溫的需求,保障產品合格,設備正常運行。水流量計通過傳感器芯片感應漩渦大小,可測量2~16 L/min、5~40 L/min、10~100 L/min等流經管道內的多個量程范圍的液體流量,傳感器具有<2%的出色重復性,流量精度小于±3%F.S,可在-10℃至65℃的環境溫度下保持性能穩定,表現出色,性價比高。內部無運動部件,具有長使用壽命、耐污染、高精度、無漂移等特點。

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審核編輯 黃宇

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