北方華創微電子裝備公司半導體工藝設備傳輸腔室專利公示
根據天眼查數據，北方華創微電子裝備有限公司‘半導體工藝設備及其傳輸腔室’的相關專利已于2024年4月5日公開，公開號為CN117832049A。
此項專利主要涉及半導體工藝技術領域的設備改進，包含腔室主體、機械手和環狀體等部件。其中，機械手的固定端與腔室主體的底壁緊固銜接；而環狀體則呈環繞狀布置在腔室主體底部，并圍繞著機械手的旋轉軸組件。此外，環狀體內還設有多個氣體通道，以便向旋轉軸組件噴射惰性氣體。
通過這種設計，可以確保機械手的旋轉軸組件在任何角度下都能得到惰性氣體的充分吹掃，從而有效防止工藝氣體殘留在旋轉軸組件內部的磁流體密封結構中，進一步保障了磁流體密封結構的密封效果和機械手的長期穩定性。
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