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光刻33%法則是什么意思

中科院半導(dǎo)體所 ? 來源:晶格半導(dǎo)體 ? 2024-04-22 12:45 ? 次閱讀

“光刻33%法則”在業(yè)界被稱為“四章法則”,它是在1980年代中期由荷蘭ASML公司針對當(dāng)時主流的步進式光刻機所提出的一種理論。

“光刻33%法則”在業(yè)界被稱為“四章法則”,它是在1980年代中期由荷蘭ASML公司針對當(dāng)時主流的步進式光刻機所提出的一種理論。 “光刻33%法則”是指在光刻機的操作過程中,繪制的圖案的尺寸在實際制造中可能會有一定的誤差。根據(jù)法則,光刻機套刻精度主要受到三個因素的影響,分別是光刻膠的性能,掩膜光刻圖形的偏差,以及光刻機本身的誤差。這三個因素對套刻精度的貢獻比例分別為33%。

光刻膠的性能:光刻膠的性能對套刻精度有顯著影響。它決定了圖形的套刻分辨率和邊緣清晰度,光刻膠的收縮和厚度不均勻性都可能導(dǎo)致實際圖案尺寸與設(shè)計尺寸之間的偏差。

掩膜光刻圖形的偏差:掩膜上的圖形與設(shè)計圖形之間的偏差會影響套刻位置的準(zhǔn)確性,可能導(dǎo)致圖形位置的偏移和形狀的變化。

光刻機本身的誤差:光刻機的穩(wěn)定性和精度,包括對準(zhǔn)系統(tǒng)和光學(xué)系統(tǒng)的誤差,也會影響套刻精度。

具體來說,光刻膠的性能決定了圖形的套刻分辨率和邊緣清晰度,而掩膜光刻圖形的偏差會導(dǎo)致套刻位置的偏移和形狀變化,光刻機本身的誤差則與機器的穩(wěn)定性和精度相關(guān)。這三個因素綜合起來,通過精確控制和優(yōu)化,可以達到較高的套刻精度。為了確保制造的精度符合設(shè)計要求,通常會采取一些校正措施,比如:

調(diào)整光刻膠的厚度,以減少收縮帶來的影響。

使用更高精度的光刻機,以提高整體的套刻精度。

進行后續(xù)的校正和修復(fù)工作,以調(diào)整圖案尺寸至設(shè)計要求。

審核編輯:黃飛

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原文標(biāo)題:什么是光刻33%法則

文章出處:【微信號:bdtdsj,微信公眾號:中科院半導(dǎo)體所】歡迎添加關(guān)注!文章轉(zhuǎn)載請注明出處。

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