近日，MEMS器件可靠性試驗創(chuàng)新聯(lián)合體（以下簡稱“聯(lián)合體”）成立大會在京召開，智芯公司、北京大學、清華大學、哈工大、北航、中科院微電子所、中科院空天研究院、中電科三十八所等23家單位入選聯(lián)合體首批成員單位，國家市場監(jiān)管總局、北京市科委相關(guān)領(lǐng)導出席成立大會并講話。

MEMS器件可靠性試驗創(chuàng)新聯(lián)合體成立大會

聯(lián)合體由中國機械總院集團基礎(chǔ)制造技術(shù)研究院（以下簡稱“中機研”）發(fā)起成立，成員單位涵蓋科研院所、高校、企業(yè)等多個領(lǐng)域。聯(lián)合體將重點圍繞MEMS器件設(shè)計仿真分析、基礎(chǔ)材料研發(fā)、標準工藝設(shè)計、測試技術(shù)、MEMS器件產(chǎn)品研發(fā)與中試驗證等領(lǐng)域開展技術(shù)攻關(guān)，加速MEMS器件研發(fā)創(chuàng)新與孵化。未來，聯(lián)合體將充分發(fā)揮各成員單位資源優(yōu)勢，以實際行動踐行國資委“要加快發(fā)展戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)，支持中央企業(yè)牽頭建立創(chuàng)新聯(lián)合體，加快打造原創(chuàng)技術(shù)策源地，強化關(guān)鍵核心技術(shù)攻關(guān)”要求。

之前，智芯公司采集傳感事業(yè)部與中機研等標準機構(gòu)共同推進中國傳感器與物聯(lián)網(wǎng)產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟能源專委會的標準工作。中機研作為專委會的副理事長單位和標準工作組的組長單位，協(xié)同專委會伙伴開展標準預研工作，成熟的標準草案對接不同的標準機構(gòu)，已發(fā)布4項團標，正在起草4項行標。作為TC336成員單位，智芯公司牽頭TC336能源領(lǐng)域MEMS技術(shù)標準研究組工作，組織預研的《微機電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù) MEMS磁傳感器技術(shù)規(guī)范》、《微機電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù) 車規(guī)級MEMS半導體氣體傳感器技術(shù)規(guī)范》2項國家標準提案正在國標委立項公示，預計今年5月底正式立項。

MEMS器件可靠性試驗創(chuàng)新聯(lián)合體成員單位授牌

下一步，智芯公司將積極參與聯(lián)合體建設(shè)，深度研究MEMS器件測試技術(shù)，實現(xiàn)對MEMS器件在線檢測和封裝后的檢測，并依托聯(lián)合體懷柔創(chuàng)新基地重點實驗室及MEMS研發(fā)平臺，面向MEMS器件典型應用場景，開展產(chǎn)品研發(fā)與中試驗證。同時充分聯(lián)合各單位開展科技項目合作，加強能源領(lǐng)域傳感器的基礎(chǔ)技術(shù)和應用研究，為新型電力系統(tǒng)的建設(shè)提供有力支撐。