5月12日，皖江經(jīng)濟(jì)帶核心城市合肥的邊界上，御微首臺(tái)掩模基板缺陷檢測(cè)產(chǎn)品Halo-100正式裝車，準(zhǔn)備運(yùn)輸交付給國(guó)內(nèi)頂尖掩模工廠。

據(jù)御微半導(dǎo)體官方公告，這臺(tái)被譽(yù)為“掩模全周期質(zhì)量控制“的Halo-100設(shè)備，是該公司產(chǎn)品線的第二款力作。

它利用了高精度光學(xué)系統(tǒng)、穩(wěn)定運(yùn)動(dòng)臺(tái)系統(tǒng)及高潔凈度環(huán)控與傳輸系統(tǒng)，結(jié)合御微獨(dú)家算法和軟件系統(tǒng)，成功滿足了對(duì)掩模基板（blank）缺陷檢測(cè)的需求，同時(shí)也將掩模檢測(cè)的應(yīng)用范圍擴(kuò)展到了掩模廠來(lái)料檢驗(yàn)和掩模基板廠全流程控制檢查。

據(jù)悉，Halo-100設(shè)備可廣泛應(yīng)用于掩模基板廠的玻璃基板來(lái)料檢驗(yàn)、多層鍍膜過(guò)程檢驗(yàn)和成品出貨檢驗(yàn)等環(huán)節(jié)，幫助客戶在每一個(gè)生產(chǎn)階段都能實(shí)時(shí)監(jiān)控潔凈度狀況。