在半導體制造工廠中,各種電子設備所用半導體的制造過程中使用了多種化學品。在進行下一道工序之前,需要除去附著在電路上的多余的化學物質,并且使用“超純水”進行該清洗。“超純水”是指高度純化的水,已去除常見礦物質、細菌和微生物,確保良好的清洗效益。
電導率是表示電流在水中流動難易程度的指標。通過測量電極之間流過的電流值,可以判斷水是否具有高純度判斷水是否含有較多雜質,也是判斷超純水的重要依據。對此,物通博聯提供工業智能網關接入電導率儀數據采集遠程監控系統解決方案,通過實時采集電導率數據實現對純水的自動監測、告警、控制與管理,確保水質安全進而保障半導體生產工作有序進行。
通過RS485將電導率儀連接工業智能網關,進行實時數據采集工作并以5G/4G/WIFI/以太網等方式對接到云平臺或上位機中,從而實現電導率的可視化監控,并在超出安全閾值時自動告警,通過微信、短信、郵件等方式進行通知,確保及時管理控制,保障純水濃度,確保生產安全與產品質量。
通過實時監測電導率數據報表,企業可以收獲純水管理經驗,從而為優化管理制度提供可靠數據支持。通過識別定位到異常告警事件,可以定位出現異常的部分并快速診斷,從而及時采取措施,通過改善工藝、升級設備等系列手段,維護設備良好運行,促進生產升級。
審核編輯 黃宇
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