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超聲諧振驅動原理的直線與360°旋轉壓電馬達!

楊明遠 ? 來源:楊明遠 ? 作者:楊明遠 ? 2024-06-13 13:27 ? 次閱讀

利用超聲諧振驅動原理的壓電馬達,其基本工作原理就是利用壓電材料的逆壓電效應,使其能產生超聲波頻率的機械振動,再通過摩擦驅動的結構設計,從而驅動移動臺做旋轉運動或直線運動。

超聲是一種超出人聽覺范圍外的高頻振動,因此超聲壓電馬達具有噪聲小的特點。此外,它還具有結構小,響應速度快,可斷電自鎖等優點。在精密加工測量儀器、半導體加工設備、醫療、航空航天等高技術領域應用前景廣闊。

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不同壓電馬達的運動原理

芯明天超聲諧振驅動壓電馬達

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(1)N59系列直線壓電馬達

產品外觀

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產品特點

? 一維X向運動

? 速度達25mm/s

? 分辨率達50nm

? 斷電自鎖

應用

? 光學儀器領域

? 精密儀器領域

? 醫療器械

? 微劑量注射器

? 小負載、大行程納米定位

? 科學研究

? 光纖對接

? 微細加工

? 原子力顯微鏡

? 半導體的精密定位和微納操作等

技術參數

型號 N59.9K
運動自由度 X
標稱行程范圍 9 或 ±4.5mm
速度上限 25mm/s
分辨率 50nm
負載能力 0.2kg
工作溫度 0~50℃
質量 4g
材質 鋁,不銹鋼
電纜長度 0.1m

(2)N69系列旋轉壓電馬達

產品外觀

wKgZomZqg1CAZRV3AAAfGTmN8Ho717.jpg

產品特點

? 360°雙向旋轉運動

? 速度可達220rpm

? 斷電自鎖

? 真空版本可選

應用

? 光學儀器領域

? 精密儀器領域

? 醫療器械

? 微劑量注射器

? 半導體技術

? 圖像處理

? 納米計量

? 光學儀器設備制造

? 干涉儀等

技術參數

型號 N69.K2
運動自由度 360°雙向
最大速度 220rpm
分辨率 30μrad
扭矩 1mN·m
軸向負載力 0.2kg
工作溫度 0~50℃
質量 3.5g
材質 鋼、鋁
電纜長度 0.1m

配套控制器

E66.A2K-H1板卡式壓電控制器可控制N69系列和N59系列超聲壓電馬達,單通道開環驅動,尺寸為38mm×27mm×12mm,可外部輸入PWM信號控制,操作更便捷,小體積設計更易集成。

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審核編輯 黃宇

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