隨著工業(yè)的迅猛發(fā)展，精密測(cè)量技術(shù)的重要性日益凸顯。位移測(cè)量作為幾何量精準(zhǔn)測(cè)定的關(guān)鍵，不僅要求極高的測(cè)量精度，還必須適應(yīng)多樣化的環(huán)境條件及材料特性，同時(shí)趨向于實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)、無(wú)損傷的檢測(cè)方式。相較于傳統(tǒng)的接觸式測(cè)量技術(shù)，光譜共焦位移傳感器以其高速、高精度和強(qiáng)適應(yīng)性等顯著優(yōu)勢(shì)脫穎而出。本文將深入探討光譜共焦位移傳感器在光伏板硅片測(cè)量領(lǐng)域的應(yīng)用。

硅片對(duì)射厚度檢測(cè)

檢測(cè)需求：

1． 對(duì)射安裝測(cè)試硅片的厚度。

2． 精度要求0．005mm

3． 速度要求：1s測(cè)試一片料

行業(yè)應(yīng)用|立儀光譜共焦對(duì)光伏板硅片厚度測(cè)量

檢測(cè)方式：雙鏡頭對(duì)心安裝，利用一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)厚度的標(biāo)定塊，傳感器記錄下這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)厚度，進(jìn)行標(biāo)定。然后將產(chǎn)品進(jìn)行測(cè)量，動(dòng)態(tài)測(cè)量多個(gè)點(diǎn)位，將多個(gè)點(diǎn)位的值保存下來(lái)，去除最大值最小值，然后余下的數(shù)據(jù)做平均。

行業(yè)應(yīng)用|立儀光譜共焦對(duì)光伏板硅片厚度測(cè)量

檢測(cè)結(jié)果：測(cè)試五片料32組靜態(tài)重復(fù)性數(shù)據(jù)：靜態(tài)重復(fù)精度最大值為2.013μm；

光伏板硅片柵線厚度測(cè)量

測(cè)量需求：測(cè)量太陽(yáng)能光伏板硅片刪線的厚度（難點(diǎn)：柵線不是一個(gè)平整面，自身有一定的曲率，對(duì)測(cè)量區(qū)域的選擇隨機(jī)性影響較大）。

行業(yè)應(yīng)用|立儀光譜共焦對(duì)光伏板硅片厚度測(cè)量

測(cè)試方法：?jiǎn)翁筋^在二維運(yùn)動(dòng)平臺(tái)上進(jìn)行掃描測(cè)量——將需要掃描測(cè)量的硅片選擇三個(gè)區(qū)域進(jìn)行標(biāo)記，用光譜共焦單探頭單側(cè)測(cè)量（柵線厚度是柵線高度-基底的高度差），掃描過(guò)程中得到柵線的輪廓圖，柵線厚度=柵線高度與硅片基底的高度差。

行業(yè)應(yīng)用|立儀光譜共焦對(duì)光伏板硅片厚度測(cè)量

行業(yè)應(yīng)用|立儀光譜共焦對(duì)光伏板硅片厚度測(cè)量

測(cè)量結(jié)果：測(cè)量結(jié)果數(shù)據(jù)對(duì)比最大誤差區(qū)間為0.001μm左右。

審核編輯 黃宇