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先進封裝技術的類型簡述

深圳市賽姆烯金科技有限公司 ? 來源:深圳市賽姆烯金科技有限 ? 2024-10-28 09:10 ? 次閱讀

一、引言

隨著半導體技術的不斷發展,先進封裝作為后摩爾時代全球集成電路的重要發展趨勢,正日益受到廣泛關注。受益于AI、服務器、數據中心汽車電子等下游強勁需求,半導體封裝朝著多功能、小型化、便攜式的方向發展,先進封裝市場有望加速滲透。據Yole的數據,全球先進封裝市場規模預計將從2023年的378億美元增長至2029年的695億美元,復合年增長率達到10.7%。

二、封裝技術迭代

(一).從傳統封裝到先進封裝的跨越

隨著集成電路工藝制程越發先進,對技術端和成本端均提出巨大挑戰,封裝行業實現了從傳統封裝到先進封裝的轉變。傳統封裝主要功能為芯片提供機械保護、散熱途徑以及確保機械和電氣連接穩定性等。先進封裝則采用先進設計思路和集成工藝,對芯片進行封裝級重構,能有效提升系統高功能密度。它可在不單純依靠芯片制程工藝突破的情況下,通過晶圓級封裝和系統級封裝,提高產品集成度和功能多樣化,滿足終端應用對芯片輕薄、低功耗、高性能的需求,同時大幅降低芯片成本,在高端邏輯芯片、存儲器、射頻芯片、圖像處理芯片、觸控芯片等領域廣泛應用。

(二).先進封裝發展趨勢與技術迭代

隨著芯片在算速與算力上需求同步提升,高速信號傳輸、優化散熱性能、實現更小型化封裝、降低成本、提高可靠性以及實現芯片堆疊等成為封裝領域新追求。從制造工藝端來看,為持續提升集成度,先進封裝從最初的倒裝封裝(FC),逐步向晶圓級封裝(WLP)、2.5D/3D封裝等迭代。

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資料來源:《先進封裝推動半導體產業新發展》,《先進封裝技術的發展與機遇》,華安證券研究

三、先進封裝技術

傳統封裝首先將晶圓切割成芯片,然后對芯片進行封裝;而晶圓級封裝則是先在晶圓上進行部分或全部封裝,之后再將其切割成單件。

晶圓級封裝方法能夠進一步細分為以下四種不同類型:其一,晶圓級芯片封裝(WLCSP),能夠直接在晶圓的頂部形成導線和錫球(Solder Balls),且無需基板。其二,重新分配層(RDL),運用晶圓級工藝對芯片上的焊盤位置進行重新排列,焊盤與外部通過電氣連接的方式相連接。其三,倒片(Flip Chip)封裝,在晶圓上形成焊接凸點,以此來完成封裝工藝。其四,硅通孔(TSV)封裝,借助硅通孔技術,在堆疊芯片的內部實現內部連接。

(一).晶圓級封裝(WLP)

晶圓級封裝(Wafer Level Packaging, WLP)是一種前沿的半導體封裝技術。與傳統封裝方法不同,WLP在晶圓制造階段即對芯片進行封裝,而非切割成單個單元后進行。這一創新方式使得晶圓上的芯片能夠先進行測試和封裝,隨后再切割成獨立個體,從而大幅度提升了生產效率和封裝密度。

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晶圓級封裝(資料來源:屹立芯創)

WLP技術帶來了諸多優勢。首先,在尺寸和重量方面,由于封裝過程在晶圓級別進行,無需為封裝體預留額外空間,因此可以顯著減小封裝尺寸和減輕重量。其次,成本效率也是WLP的一大亮點,整個晶圓能夠同時進行封裝,這種批量處理方式有效降低了生產成本。此外,WLP還能實現更高的I/O密度和更優的電氣性能,因為I/O引腳可以直接分布在芯片周圍。同時,由于封裝材料直接與芯片接觸,有助于熱量的傳導,從而提升了散熱性能。最后,由于減少了焊接接頭的數量,WLP還顯著提高了產品的可靠性。

然而,WLP技術也存在一些劣勢。首先,設計復雜性增加,因為WLP要求在晶圓級別進行設計和制造,這可能會提高設計的復雜性和成本。其次,一旦芯片被封裝,如果發現缺陷,修復或更換單個芯片將變得異常困難。最后,WLP需要高精度的制造工藝,對設備和技術的要求較高,這可能限制了部分小規模制造商的采用。

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先進的晶圓級封裝分類

晶圓級芯片封裝(WLCSP)可分為兩大類型:扇入型WLCSP(Fan-In WaferLevel Chip ScalePackage, Fan-In WLCSP)和扇出型 WLCSP(Fan-Out Wafer Level Chip ScalePackage, Fan-Out WLCSP)。

1.扇入型 (Fan-In) WLCSP (Wafer Level Chip Scale Package)

晶圓級芯片封裝大多制造過程在晶圓上完成,是晶圓級封裝典型代表。廣義上,晶圓級封裝還包括在晶圓上完成部分工藝的封裝,如采用重新分配層、倒片技術和硅通孔技術的封裝。扇入型和扇出型 WLCSP 中的 “扇” 指芯片尺寸。扇入型 WLCSP 的封裝布線、絕緣層和錫球在晶圓頂部。扇入型 WLCSP 與傳統封裝相比有優缺點。

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扇出型封裝(FO)技術

優點:封裝尺寸與芯片尺寸相同,可縮至最小;錫球直接固定在芯片上,無需基板等媒介,電氣傳輸路徑短,電氣特性好;無需基板和導線等封裝材料,工藝成本低,在裸片數量多、生產效率高時可進一步節約成本。

缺點:采用硅芯片作封裝外殼,物理和化學防護性能弱,與 PCB 基板熱膨脹系數差異大,導致錫球承受應力大,焊點可靠性弱;存儲器半導體推出同一容量芯片尺寸變化時,無法用現有基礎設施進行封裝測試;封裝錫球陳列尺寸大于芯片尺寸或晶圓上芯片數量少、生產良率低時,封裝成本高于傳統封裝。

2.扇出型 (Fan-Out) WLCSP

扇出型WLCSP繼承了扇入型的優點并改進了其缺陷。

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扇入型封裝和扇出型封裝(資料來源:SK海力士)

扇入型WLCSP的錫球均位于芯片表面,而扇出型則可延伸至芯片外。扇入型需在封裝后才切割晶圓,故芯片與封裝尺寸需一致,錫球也必須在芯片范圍內。扇出型則先切割再封裝,芯片排列在載體上重塑為晶圓,其間填充環氧樹脂模塑料。之后取出晶圓進行級處理并切割成單元。

扇出型不僅保持扇入型的電氣特性,還解決了其問題,如無法使用現有封裝測試設施、錫球陣列過大無法封裝及封裝不良導致的成本增加等。因此,扇出型WLCSP近年來應用日益廣泛。

(二).重新分配層 (ReDistribution Layer, RDL)

RDL技術是對晶圓上已有鍵合焊盤進行重新布線的工藝,通過增加金屬層來改變焊盤布局。這是一種晶圓級工藝,專為焊盤重排設計,處理后仍需傳統封裝。

客戶若想獨特排列晶圓焊盤,采用RDL技術比更改晶圓制造更高效。此外,RDL也適用于中心焊盤芯片的堆疊。

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采用RDL技術的芯片與剖面圖

(三).倒片封裝 (Flip Chip)

倒片封裝技術通過將芯片上的凸點翻轉并安裝于基板等封裝體上,實現芯片與板的電氣連接。此技術已很大程度上取代傳統引線鍵合,原因有二:

引線鍵合對輸入/輸出(I/O)引腳數量和位置有限制,而倒片封裝無此限制。

倒片封裝的電信號傳輸路徑更短。

在引線鍵合中,金屬焊盤一維排列于芯片表面,無法位于邊緣或中心。而倒片封裝中,焊盤可二維排列于芯片一側,數量大幅增加。此外,凸點焊盤可布置于芯片頂部任意位置,供電焊盤也可靠近需供電區域,提升電氣性能。

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引線鍵合與倒片鍵合的信號傳輸路徑對比

(四).堆疊封裝 (Stacked Packages)

堆疊封裝技術能減小產品體積,提升性能,是產品開發的重要方法。過去,一個封裝體內通常只封裝一個芯片,但現在可開發多芯片封裝或大容量存儲器封裝,甚至整合多個系統組件于單個封裝體內。這些技術助力半導體公司打造高附加值產品,滿足市場需求。

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堆疊封裝技術主要分為三類:

封裝堆疊:通過垂直堆疊封裝體形成。

芯片疊層封裝(引線鍵合):使用引線鍵合技術將不同芯片堆疊在單個封裝體內。

芯片疊層封裝(TSV):使用硅通孔技術替代引線鍵合實現內部電氣互連。

2.5D/3D封裝與堆疊封裝緊密相連,均為半導體封裝的關鍵技術,旨在提升芯片集成度、性能和體積效率。

堆疊封裝通過垂直堆疊多個封裝體或芯片來減小體積、提升性能,可采用不同技術實現。2.5D封裝利用中介層和TSV等技術連接多個芯片,降低成本、提高產量。3D封裝則在芯片內部制作TSV,實現更高集成度,但技術難度和成本較高。

三者均追求高集成度、性能和體積效率,堆疊封裝包含2.5D和3D封裝。它們在不同領域有廣泛應用,如高性能計算、網絡通信等,且隨著技術進步,將更廣泛地應用于電子產品,推動半導體產業發展。

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資料來演:芯觀點

(五).系統級封裝(SiP)

系統級封裝(System in Package, SiP)是一種先進的封裝技術,它通過將多個功能各異的集成電路(ICs),比如處理器、存儲器、傳感器等,集成在一個單一的封裝內,來構建一個完整的系統解決方案。這種集成不僅限于硬件組件,還可以包括軟件部分以及無源元件,如電阻器電容器,從而實現高度的系統整合。

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SiP技術的優勢在于其高集成度,能夠將多個芯片和元件集成在單一封裝內,顯著減少最終產品所需的空間。此外,由于元件之間的距離縮短,SiP能夠提升電子設備的性能,減少信號傳輸的延遲。SiP還提供了設計靈活性,允許設計師在系統級別上進行創新,更容易實現定制化設計。從成本角度來看,SiP通過集成多個元件減少了組裝成本和材料使用,從而降低了整體成本。同時,由于減少了外部連接和接口,SiP提高了系統的可靠性和耐用性。

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芯粒概念圖

然而,SiP技術也面臨一些挑戰。其設計和開發過程比傳統封裝更為復雜,需要跨學科的專業知識。此外,SiP封裝的維修難度較高,一旦封裝出現故障,可能需要更換整個模塊,增加了維修成本。隨著集成度的提高,散熱成為SiP設計中的一個重要考慮因素。盡管長期來看SiP可以降低成本,但初期的制造成本可能較高,特別是對于產量不大的產品。這些挑戰需要通過創新的設計和制造技術來克服,以實現SiP技術的全面優勢。

四、先進封裝市場格局

全球先進封裝參與者眾多,其解決方案涵蓋(超)高密度扇出(有機中介層)、3D片芯堆疊、2.5D硅中介層、2.5D嵌入式硅橋、3D堆疊存儲器等幾大類。龍頭代工廠及其解決方案包括臺積電(InFO,集成扇出)、日月光(FOCoS,芯片后裝的基板上扇出芯片)、三星(2.5D RDL(再分布層))、Amkor Technology(S - SWIFT,高密度扇出線)等。

典型工藝布局如下:

2.5D:CoWoS(臺積電)、EMIB(英特爾)、I - Cube(三星)、XDFOI(長電科技)等;

3D:SoIC(臺積電)、Foveros(英特爾)、X - Cube(三星)、3D - eSinC(華天科技)等。

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所有高端性能封裝平臺(Yole對2.5D和3D的分類)

五、未來發展趨勢

在當前AI等新興領域帶動下,移動和消費類、電信和基礎設施以及汽車等終端市場需求強勁增長,先進封裝市場快速增長,產業鏈各細分環節都有望迎來國產替代廣闊機遇。未來,先進封裝可能會朝著更高集成度、更小尺寸、更高性能以及智能化等方向發展。例如,可能會出現將更多種類芯片集成在一個封裝體內的技術,進一步縮小封裝尺寸,采用更先進材料和工藝提高性能,以及實現封裝體的智能化監測和控制等。

六、結語

先進封裝作為半導體產業的關鍵環節,在滿足終端應用需求、推動半導體行業發展方面具有重要作用。隨著市場需求的增長和技術的不斷進步,全球先進封裝市場規模將持續擴大,國內企業在市場格局中也有一定的發展機會,同時關鍵設備的國產化替代也在逐步推進。未來,先進封裝技術將不斷創新和發展,為半導體產業帶來更多的可能性。

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原文標題:半導體產業鏈重要環節,淺談先進封裝

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