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引言

半導體行業不斷發展，不斷推動芯片設計和制造的邊界。隨著逐漸接近傳統平面縮放的極限，先進封裝技術正成為持續提升性能的關鍵推動力。在這些技術中，3.5D封裝作為當前2.5D解決方案和完全3D集成之間的折中方案，正在獲得廣泛關注。本文將探討3.5D封裝的概念、優勢、挑戰以及對半導體設計未來的潛在影響。

什么是3.5D封裝?

3.5D封裝是一種結合了2.5D和3D集成技術元素的混合方法。在3.5D配置中，邏輯chiplet垂直堆疊，然后與其他組件一起鍵合到共享基板上。這種方法在廣泛采用的2.5D技術和更復雜的完全3D-IC之間提供了一個中間地帶，而業界已經努力將后者商業化近十年。

圖1：三星的異構集成路線圖，展示了封裝技術的演變。(來源：三星代工廠)

3.5D封裝的主要優勢

熱管理 ：通過在組件之間創建物理分隔，3.5D封裝有效解決了困擾更密集3D配置的熱耗散和噪聲問題。

增加SRAM集成 ：由于SRAM縮放落后于數字晶體管縮放，3.5D允許通過垂直堆疊chiplet將更多SRAM添加到高速設計中。這對于維持處理器緩存性能非常重要。

改善信號傳輸 ：減薄處理元件和內存之間的接口縮短了信號需要傳輸的距離，與平面實現相比顯著提高了處理速度。

靈活性和可擴展性 ：3.5D組件提供了更大的靈活性來添加額外的處理器核心，并通過允許已知良好的裸片單獨制造和測試來實現更高的良率。

異構集成 ：這種方法使用不同制程節點制造的芯片可以組合在一起，優化性能和成本。

實施策略

最常見的3.5D配置涉及將處理器堆疊在SRAM上。這種安排簡化了冷卻，因為高利用率處理元件產生的熱量可以通過散熱器或液體冷卻來移除。減薄的基板允許信號傳輸更短的距離，減少了處理器和內存之間數據移動的功耗。

有趣的是，SRAM不一定需要與先進處理器處于相同的制程節點。這種靈活性有助于提高良率和可靠性。例如，三星提出了一個路線圖，顯示在不久的將來，2nm chiplet堆疊在4nm chiplet上，并計劃到2027年實現1.4nm chiplet堆疊在2nm chiplet上。

英特爾的3.5D技術方法涉及在帶有硅橋的基板上實現。這種方法以成本效益高的方式使用薄硅片來實現芯片間互連，包括堆疊芯片間互連。這種方法提供了硅密度和信號完整性性能的優勢，而無需使用大型、昂貴的單片互連層。

圖3：當前互連層技術支持高I/O數量和精細間距。(來源：日月光集團)

挑戰和持續發展

3.5D封裝提供了眾多優勢，但也面臨著挑戰。一些關鍵的持續發展領域包括：

熱管理 ：盡管相比完全3D設計有所改善，但在3.5D組件中管理熱量仍然是一個重大挑戰。業界正在探索各種冷卻解決方案，包括浸沒式冷卻、局部液體冷卻和蒸汽室。

互連技術 ：隨著我們推動更高的密度，業界正在向更精細的凸點間距解決方案和混合鍵合技術發展。目標是實現25到20微米的凸點間距，混合鍵合可能實現小于10微米的間距。

共面性 ：在數千個微凸點上實現所需的平整度水平對傳統鍵合方法是一個重大挑戰。這正推動人們對混合鍵合等替代方法產生興趣。

時序收斂 ：隨著在3.5D配置中添加更多元素，確保信號在正確的時間到達正確的位置變得越來越復雜。這需要復雜的熱感知和IR感知時序分析。

數據管理 ：設計和分析這些復雜系統所涉及的數據量正在爆炸性增長。有效處理這些數據并減少模擬和分析運行時間是一個主要關注領域。

組裝復雜性 ：物理組裝這些器件涉及管理具有不同厚度和熱膨脹系數的各種裸片的熱、電和機械連接。這需要進行密集的熱機械認證工作。

圖4：先進封裝路線圖，說明互連技術的演變。(來源：安靠科技)

商業化的道路

3.5D封裝的最終目標是實現芯片設計的"即插即用"方法，設計者可以從菜單中選擇chiplet，并迅速將連接到經過驗證的架構中。雖然這一愿景可能需要數年時間才能完全實現，但可能在未來幾年內看到商用chiplet出現在先進設計中，從高帶寬內存與定制處理器堆疊開始。

實現這一愿景需要在幾個關鍵領域取得進展：

EDA工具 ：電子設計自動化(EDA)工具需要發展以處理3.5D設計的復雜性。這包括同時考慮熱、信號完整性和功率完整性問題，以及改善IC設計師和封裝專家之間的協作。

工藝/組裝設計套件 ：3.5D工藝和組裝的標準化設計套件非常重要。這些可能會在代工廠和外包半導體組裝和測試(OSAT)提供商之間分配。

標準化 ：為可以預先構建和預先測試的內容設置現實的參數將是提高組裝速度和便利性的關鍵。像UCIe(通用chiplet互連快車)這樣的行業標準就是朝這個方向邁出的步伐。

工藝一致性 ：確保3.5D組裝各個步驟的工藝一致性非常重要。這需要為每個工藝步驟定義可接受的輸出，并開發實時優化配方的方法，以保持結果在所需范圍內。

結論

3.5D封裝代表了半導體集成的重要進步，在3D-IC的性能優勢和當前2.5D解決方案的實用性之間提供了平衡。隨著業界趨向于這種方法，可以期待在設計工具、制造工藝和標準化努力方面的快速發展。

在熱管理和互連技術等領域仍然存在挑戰，但3.5D封裝的潛在優勢正在推動大量投資和創新。隨著這些技術的成熟，有望在從高性能計算到人工智能等廣泛應用中實現新的性能和功能水平。

實現完全的3.5D封裝及其他更高集成的旅程將需要整個半導體生態系統的持續合作。從EDA供應商到代工廠、OSAT和系統集成商，每個參與者在將這項技術推向市場方面都發揮著重要作用。隨著我們向前發展，3.5D封裝可能成為連接當前技術與未來完全3D-IC的橋梁，開啟半導體創新的新時代。