No.1

EBSD從原理到應用

電子背散射衍射（EBSD）技術在材料科學領域中扮演著重要角色，特別是在掃描電子顯微鏡（SEM）中，它為研究者提供了一種獲取樣品晶體學信息的強大工具。EBSD技術不僅能夠測量晶體取向、分析晶界取向差異，還能鑒別物相和評估局部晶體的完整性。與傳統的金相、投射、XRD、掃描等表征方法相比，EBSD提供了更為豐富和直觀的晶粒取向信息。金鑒實驗室擁有先進的EBSD設備和專業技術團隊，能夠為客戶提供高質量的晶體取向、晶界取向差異分析以及物相鑒別服務，幫助研究者更深入地理解材料的微觀結構。

No.2

EBSD設備與樣品準備

作為SEM的附加組件，EBSD能夠提供包括晶間取向、晶界類型、再結晶晶粒、微織構、相鑒別和晶粒尺寸測量在內的全面分析數據。EBSD數據主要來源于樣品表面下10-50nm的區域，因此，在檢測時需要將樣品傾斜70°，以避免表面高處區域遮擋低處的信號。EBSD樣品的制備要求嚴格，需要保證樣品表面“新鮮”、清潔、平整、具有良好的導電性且無應力。

No.3

EBSD的形成機制

EBSD設備通常安裝在SEM或電子探針上，樣品表面與水平面呈約70°角。當入射電子束進入樣品后，會與樣品內原子發生散射，其中散射角較大的電子逃出樣品表面，這些電子稱為背散射電子。這些背散射電子在離開樣品的過程中，與樣品的某些晶面族滿足布拉格衍射條件時會發生衍射，形成菊池帶。每條菊池帶的中心線相當于發生布拉格衍射的晶面從樣品上電子的散射點擴展后與接收屏的交截線，形成電子背散射衍射花樣（EBSP）。EBSP通過CCD數碼相機數字化后傳送至計算機進行標定與計算。

No.4

EBSD的應用范圍

EBSD技術已成為金屬材料、陶瓷和地質礦物學家分析顯微結構及織構的強有力工具。通過采集到的數據，可以繪制取向地圖、極圖和反極圖，還可以計算ODF。

1. 取向測量及取向關系分析：EBSD最直接的應用是進行晶粒取向的測量，研究晶界或相界、孿晶界、特殊界面等。

2. 微織構分析：基于EBSD自動快速的取向測量，可以進行微織構分析，了解這些取向在顯微組織中的分布。

3. 相鑒定：EBSD可以對七大晶系任意對稱性的樣品進行自動取向測量和標定，結合EDS的成分分析進行未知相的鑒定。

4. 真實晶粒尺寸測量：EBSD技術可以精確勾畫出晶界和李晶界，同時進行晶粒尺寸統計分析。金鑒實驗室結合EDS的成分分析，能夠為客戶提供全面的未知相鑒定服務，確保材料的正確應用。

5. 應變評定：從菊池衍射花樣的質量可以直觀地定性分析超合金鋁合金中的應變，識別無應變晶粒等。

No.5

EBSD的優勢

金鑒實驗室在這一領域擁有先進的設備和專業的技術團隊，能夠快速高效地為客戶提供全面的EBSD分析服務，確保每一項測試結果的可靠性。

1. 提供高精度的晶體結構分析；

2. 獨特的晶體取向分析能力；

3. 樣品制備相對簡單；

4. 分析速度快，效率高；

5. 可在樣品上進行自動線、面分布數據點采集。

No.6

EBSD樣品的制備要求

EBSD樣品的制備要求嚴格，金鑒實驗室在樣品制備方面具備豐富的經驗，能夠確保樣品達到最佳檢測條件，滿足各種實驗需求。

1. 試樣尺寸約為10mm×10mm×10mm；

2. 檢測面要新鮮、清潔、平整、無制樣引入的應力，且導電性能良好；

3. 需要絕對取向時外觀坐標要準確；

4. 用電解法拋光樣品，研究晶界時可以不浸蝕；

5. 保持檢測面法線和入射電子束之間的夾角約為70°。

No.7

EBSD常見問題解答

金鑒實驗室針對常見問題提供專業解答，確保客戶在使用EBSD技術時能夠獲得最佳體驗。無論是陶瓷樣品的制備還是數據提取，金鑒實驗室都能提供切實可行的解決方案，助力客戶在材料科學研究中取得成功。

1. 陶瓷樣品導電性不好，如何制EBSD樣？

答：采用機械拋光或離子束拋光的方式制樣。

2. EBSD主要用來干什么？

答：織構和取向差分析；晶粒尺寸及形狀分布分析；晶界、亞晶及孿晶界性質分析；應變和再結晶的分析；相簽定及相比計算等。

3. 陶瓷不導電也可以電解拋？

答：不能電解拋光。

4. 如何提取數據？

答：使用廠家提供的分析軟件或開發者編寫的專用軟件來分析數據。

5. EBSD還能看物相分布？

答：EBSD能進行物相鑒別，可以分析物相分布。EBSD技術以其獨特的優勢，已成為材料科學研究中不可或缺的工具，尤其在晶體學、微觀結構分析和織構研究領域展現出廣泛的應用潛力。金鑒作為國內領先的光電半導體檢測實驗室，金鑒實驗室的EBSD技術，以其高效的速度和精準的分辨率，在材料表征領域中展現出卓越的性能，為材料科學研究提供了強有力的工具。