什么是集成電路新建項目機電二次配？ -江蘇泊蘇系統集成有限公司

集成電路新建項目機電二次配是在集成電路工廠建設過程中的一個重要環節，主要涉及到在一次機電安裝完成后，針對生產設備的具體需求進行的二次機電系統配置與調整。以下是其詳細介紹：

一：主要內容

1，電氣系統二次配

（1）設備配電：從一次配電系統的配電箱或配電柜引出分支線路，為每一臺生產設備提供精準的電力供應，確保設備能獲得穩定、符合要求的電壓和電流。

（2)特殊電力需求配置：集成電路生產設備中有部分設備對電力質量要求極高，如光刻機等，二次配會針對這類設備進行特殊的電力配置，包括安裝高精度的穩壓器、濾波器等，以消除電力波動和干擾。

(3)接地與防雷系統完善：除了滿足設備正常運行的接地需求外，還需針對集成電路生產的高精度要求，進一步優化靜電釋放接地系統，確保生產環境中的靜電能夠快速、安全地導入大地，防止靜電對芯片等敏感部件造成損害。

(4)通風與空調系統（HVAC）二次配

(5)潔凈室氣流優化：根據生產工藝對潔凈度的要求，通過調整風口位置、數量和形狀，以及安裝空氣導流板等措施，優化潔凈室內的氣流組織，確保空氣均勻流動，減少渦流和死角，提高潔凈室的潔凈度和溫濕度均勻性。

(6)局部環境控制：對于一些對環境條件要求極為苛刻的生產工序，如光刻、刻蝕等，需要在設備附近設置局部的微環境控制系統，通過安裝小型的空調機組、空氣凈化設備等，為這些關鍵設備營造出最適宜的生產環境。

2,純水與工藝氣體系統二次配

(1)純水分配系統：將一次配提供的純水通過二次配管道輸送到各個生產設備的用水點，并且根據不同設備對水質的具體要求，在用水點附近設置水質監測和調節裝置，確保供應的純水質量穩定且符合設備運行需要。

(2)工藝氣體輸送：從氣體站輸送來的各種工藝氣體，如氮氣、氧氣、硅烷等，需要通過二次配的管道系統精確地分配到每一臺需要的設備處。在二次配過程中，要確保氣體管道的材質符合氣體性質要求，防止氣體泄漏和污染。

二：重要性

1，滿足生產工藝需求：集成電路生產工藝復雜且精度要求極高，不同的生產環節對機電環境的要求各不相同。機電二次配能夠根據具體設備和工藝的需求，精確調整和優化機電系統，為生產提供穩定、適宜的環境。

2，提高生產效率和產品質量：通過合理的機電二次配，可以減少設備故障和停機時間，提高生產效率。同時，精準的環境控制有助于降低產品的次品率，提高產品質量和一致性。

3，保障生產安全：集成電路生產過程中涉及到許多危險化學品和高精密設備，機電二次配在完善接地、防雷、通風等系統方面發揮著重要作用，能夠有效預防安全事故的發生，保障生產人員和設備的安全。

集成電路新建項目機電二次配的施工流程是怎樣的？

集成電路新建項目機電二次配的施工流程一般可分為施工準備、管道與橋架安裝、設備安裝與連接、系統調試與測試、竣工驗收等多個階段，以下是詳細介紹：

三：施工準備階段

1，圖紙會審與技術交底：施工團隊仔細審查機電二次配的施工圖紙，與設計單位溝通，理解設計意圖，明確施工要求和技術標準，同時對施工人員進行技術交底。

2，施工方案制定：根據項目特點和要求，制定詳細的施工方案，包括施工進度計劃、施工方法、質量控制措施、安全保障措施等。

3，材料與設備采購：根據施工圖紙和預算，采購所需的各種材料、設備和構配件，并確保其質量符合要求，具備相關的質量證明文件。

4，場地準備：清理施工現場，確保施工區域干凈、整潔，具備良好的施工條件。同時，根據施工需要，搭建臨時設施，如倉庫、辦公室、加工區等。

5，管道與橋架安裝階段

（1）管道預制：根據施工圖紙和現場實際測量尺寸，在加工區對管道進行預制加工，包括切割、坡口加工、焊接、彎曲等操作。

（2）管道安裝：按照先主管后支管的順序，將預制好的管道運至施工現場進行安裝。管道安裝應遵循相關規范和標準，確保管道的坡度、垂直度、水平度等符合要求。

（3）橋架安裝：根據設計要求，確定橋架的安裝位置和走向，進行橋架的安裝。橋架安裝應牢固、平整，連接可靠，接地良好。

（4）支吊架安裝：根據管道和橋架的重量和尺寸，安裝相應的支吊架。支吊架的安裝應位置準確、間距合理、牢固可靠，確保能夠承受管道和橋架的重量。

6，設備安裝與連接階段

（1)設備就位：根據設備安裝圖紙和設備到貨清單，將設備運輸到指定的安裝位置，采用合適的吊裝設備和方法，將設備準確就位。

(2)設備連接：將各類機電設備與已安裝好的管道、橋架等進行連接，包括管道與設備的法蘭連接、螺紋連接，電氣設備與橋架內電纜的接線等。

(3)設備調試：在設備連接完成后，對設備進行單機調試，檢查設備的運行狀況，如電機的轉向、轉速、溫度等是否正常，設備的各項性能指標是否符合要求。

7,系統調試與測試階段

(1)電氣系統調試：對整個電氣系統進行調試，包括配電柜、配電箱的送電調試，檢查電氣設備的運行參數，如電壓、電流、功率等是否正常，測試電氣系統的保護裝置是否靈敏可靠。

(2)通風與空調系統調試：啟動通風與空調系統，調整風機的風量、風壓，檢查空調機組的制冷、制熱效果，測試潔凈室的溫濕度、潔凈度等參數是否符合設計要求。

(3)純水與工藝氣體系統調試：對純水系統進行沖洗、消毒，檢測水質是否符合生產要求。對工藝氣體系統進行壓力測試、泄漏測試，確保氣體輸送系統的安全可靠。

(4)系統聯動調試：在各子系統調試完成的基礎上，進行系統聯動調試，模擬生產過程中的實際工況，檢查各系統之間的協同工作能力，確保整個機電系統能夠穩定、高效運行。

8,竣工驗收階段

(1)施工自查：施工單位完成施工任務后，首先進行自查，對施工質量進行全面檢查，整理施工資料，包括施工圖紙、施工記錄、檢驗報告、調試報告等。

(2)預驗收：在施工單位自查合格的基礎上，建設單位組織相關人員進行預驗收，對機電二次配工程的施工質量、設備運行情況、系統調試效果等進行全面檢查，提出整改意見。

(3)正式驗收：預驗收合格后，由建設單位組織設計單位、施工單位、監理單位等相關部門進行正式驗收。驗收合格后，各方簽署竣工驗收報告，機電二次配工程正式交付使用。