本文簡單介紹了連續波和脈沖波的概念、連續波電流與脈沖波電源的定義以及脈沖波電源相對于連續波的電源模式的優勢。

相對于連續波的電源模式，脈沖模式的優勢有哪些？什么是脈沖與連續波電源模式？

如上圖，

第一個為CW，Continuous Wave，連續波。連續波（CW）是指在時間上連續、恒定的波形，其功率和強度保持不變。它通常表現為單一頻率信號，頻譜窄且輸出穩定。CW 的平均功率與峰值功率相等，信號特性簡單且容易控制。CW 的主要優點是其高穩定性，非常適合對信號連續性要求高的應用場景。同時，CW 信號具有較低的噪聲水平，便于進行精確測量和分析。此外，CW 系統設計相對簡單，控制參數如功率和頻率可以很方便地調節。CW模式下，電源輸出是一個連續的波形，沒有斷斷續續的脈沖。

第二個為PW，Pulsed Power，脈沖波。脈沖波是一種在時間上間斷的波形，由一系列短時高強度的信號組成。脈沖的持續時間有限，間隔一定周期后再重復出現。脈沖波具有瞬時峰值功率遠高于平均功率的特點，輸出頻譜寬，包含更多頻率分量。脈沖波的最大優勢是其瞬時高峰值功率，在短時間內可以釋放極高的能量。此外，由于信號的間歇性輸出，脈沖波的平均功率較低，有效降低了設備的熱負載壓力。因此，它非常適合需要高時間分辨率或瞬時高功率的應用場景。PW模式下，電源的輸出功率部分時間內處于關閉狀態，部分時間屬于打開狀態。

脈沖電源的特點？

1，間隔性工作，可以及時將熱量等散出，能夠使反應物有時間運輸到晶圓表面。

2，輸出功率能夠加到很大，持續時間極短，能夠很精確地控制脈沖功率，頻率，時間等。

使用脈沖模式的好處？

1，消除微負載效應。在高深寬比的結構刻蝕中，如深孔或深槽。較小尺寸的孔或槽刻蝕速率小于較大尺寸的孔或槽。如果使用CW模式，通過減少壓力，增大偏壓可以改善微負載效應，但是改善的能力有限，而使用脈沖模式，可以大大改善微負載效應。

2，減少晶圓表面損傷。如果在偏置電源上使用脈沖，可以減少等離子體攻擊晶圓的時間，進而減少表面的損傷。