科學服務領域的世界領導者賽默飛世爾科技公司宣布推出可改進半導體制造的質量控制以及提高其產量的新產品。這些新產品將于 2018 年 3 月 14-16 日在上海舉辦的中國國際半導體工業技術展上進行展示（N5 展廳 5619 號展位）。

“賽默飛世爾根深深扎根于用于控制半導體和顯示屏制造領域的制造工藝以及診斷工藝和產品故障的根本原因的先進分析技術，”賽默飛世爾半導體事業部副總裁兼總經理 Rob Krueger 說。“本周，我們將推出新產品，幫助推動亞洲（特別是中國）半導體制造能力的快速創新和持續擴張。”

Verios G4 極高分辨率 SEM

Thermo Scientific Verios G4 極高分辨率 (XHR) 掃描電子顯微鏡 (SEM) 提供確定缺陷、成品率損失以及工藝和產品故障的根本原因所需的功能和靈活性。

“Verios G4 是從我們 DualBeam（聚焦離子束/SEM）儀器大獲成功的 Helios 系列衍生出來的純 SEM 解決方案，”Krueger 說。“該產品可在各種條件下提供行業領先的性能，尤其是在先進工藝中使用的電子束敏感材料所需的低電壓條件下。”

Hyperion II 快速高效的納米探針

納米探針可以對各個晶體管進行直接電氣測量。新型 Thermo Scientific Hyperion II 是唯一一款基于原子力顯微鏡 (AFM) 的商用納米探針，它消除了基于 SEM 的納米探針的真空要求和電子束/樣本相互作用。Hyperion II 的自動化操作和成像模式旨在提高速度和易用性。此外，其精確定位電氣故障的能力可提高后續 DualBeam 或 TEM 分析的速度和效率。

用于快速可靠的化學監測的 iCAP TQs ICP-MS

Thermo Scientific iCAP TQs 電感耦合等離子體質譜儀 (ICP-MS) 是成熟的 iCAP TQ ICP-MS 的專用半導體版本。它能夠快速、可靠且可重復地測量超高純度 (UHP) 化學品中的低濃度污染物，以支持先進的半導體制造工藝的自動化在線監測和統計過程控制。iCAP TQs ICP-MS 在單個高性能解決方案中將超低濃度檢測和簡便性提高到全新的水平。利用這個全新系統，現在可以將化學分析從實驗室遷移到制造廠，并實現在線控制化學浴，從而縮短響應時間。