激光器的性能指標(biāo)是衡量其性能和應(yīng)用范圍的關(guān)鍵參數(shù)，以下是一些主要的激光器性能指標(biāo)：

1. 輸出功率：指激光器在單位時(shí)間內(nèi)輸出的能量，通常以平均功率（W）或峰值功率（W/脈沖）來表示。連續(xù)波（CW）激光器的光功率輸出或脈沖激光器的平均功率以瓦特（W）為單位測量。而脈沖激光器的特征還在于其脈沖能量，脈沖能量是指單個(gè)脈沖所攜帶的能量，以焦耳（J）為單位，與平均功率成正比，與激光器的重復(fù)率成反比。

2. 波長：指激光的中心波長，是光譜中具有最高強(qiáng)度的波長，通常以納米（nm）為單位表示。激光的波長決定了其光子的能量，不同的應(yīng)用領(lǐng)域需要不同波長的激光。例如，氦氖激光器（He-Ne激光器）的中心波長通常為632.8納米，處于可見光譜的紅色區(qū)域；氬離子激光器（Ar-Ion激光器）的中心波長通常在488至514納米之間，包括藍(lán)色和綠色光；二極管激光器的中心波長取決于所使用的半導(dǎo)體材料，可以覆蓋從紅外到紫外等多個(gè)波長范圍；Nd:YAG激光器（采用釹摻雜的氧化釔鋁晶體）的中心波長通常為1064納米，在紅外光譜中；CO2激光器的中心波長為10.6微米，處于遠(yuǎn)紅外區(qū)域。

3. 脈沖寬度：指激光脈沖的時(shí)間長度，是描述脈沖激光器性能的重要參數(shù)之一。不同的激光器可以產(chǎn)生不同時(shí)間尺度的脈沖，通常用納秒（ns）、皮秒（ps）、飛秒（fs）和阿秒（as）等單位來描述。例如：

● 納秒激光器（Nanosecond Laser）：脈沖寬度在納秒級別，通常在幾納秒到幾十納秒之間。這種類型的激光器常用于需要中等能量的應(yīng)用，如材料加工、醫(yī)療治療、激光雷達(dá)等。

● 皮秒激光器（Picosecond Laser）：脈沖寬度在皮秒級別，通常在幾皮秒到幾十皮秒之間。皮秒激光器可以產(chǎn)生更短的脈沖，適用于需要更高精度和更少熱損傷的應(yīng)用，如超快光學(xué)、生物醫(yī)學(xué)、材料加工等。

● 飛秒激光器（Femtosecond Laser）：脈沖寬度在飛秒級別，通常在幾飛秒到幾十飛秒之間。飛秒激光器產(chǎn)生極短的光脈沖，可以實(shí)現(xiàn)超高精度的加工和研究，常用于超快光學(xué)、精密加工、眼科手術(shù)等領(lǐng)域。

● 阿秒激光器（Attosecond Laser）：脈沖寬度在阿秒級別，通常在幾阿秒到幾十阿秒之間。這是極端超快的激光器類型，用于研究原子和分子的超快動(dòng)力學(xué)過程，例如電子在原子中的運(yùn)動(dòng)。

4. 重復(fù)頻率：指單位時(shí)間內(nèi)激光器發(fā)射脈沖的次數(shù)或個(gè)數(shù)，通常以赫茲（Hz）為單位。重復(fù)頻率是衡量激光器工作速率和性能的重要參數(shù)之一，對于許多應(yīng)用而言至關(guān)重要。低重復(fù)頻率激光器適用于需要高能量單脈沖的應(yīng)用，如激光打孔、激光切割等；中等重復(fù)頻率激光器廣泛應(yīng)用于激光加工、激光標(biāo)記等領(lǐng)域，能夠平衡能量和速度；高重復(fù)頻率激光器適用于需要高速、高效加工的應(yīng)用，如激光打印、激光醫(yī)療等。此外，行頻也是激光器性能的重要指標(biāo)之一，它通常指激光器輸出的脈沖重復(fù)頻率，即單位時(shí)間內(nèi)脈沖的發(fā)射次數(shù)，在需要高頻率激光脈沖的應(yīng)用中（如激光雷達(dá)、激光通信等）尤為重要。

5. 光束質(zhì)量：通常用M2因子來衡量。M2的計(jì)算通過測量激光束在不同位置處的光斑直徑，然后利用相關(guān)的算法來確定。一般來說，激光器的M2值越接近1，表示其光學(xué)質(zhì)量越高，激光束的發(fā)散性越小，聚焦性越好。

6. 能量穩(wěn)定性：指激光器輸出能量在時(shí)間和空間上的波動(dòng)程度。時(shí)間穩(wěn)定性意味著激光器在連續(xù)工作時(shí)能夠保持穩(wěn)定的輸出能量，而不會(huì)出現(xiàn)劇烈波動(dòng)。空間穩(wěn)定性意味著激光束的能量分布在工件表面上是均勻的，沒有明顯的熱點(diǎn)或弱點(diǎn)。

7. 偏振比：是一個(gè)描述激光束偏振狀態(tài)的重要參數(shù)，它指的是激光光束中某一特定偏振方向上的電場強(qiáng)度與垂直于該方向上的電場強(qiáng)度的比值。在實(shí)際應(yīng)用中，激光的高偏振比通常是需要的，因?yàn)樗兄谔岣呒す庀到y(tǒng)的性能和精確性。例如，在激光加工中，特定偏振狀態(tài)的激光可以提高處理效率和質(zhì)量。測量激光偏振比通常涉及使用偏振片和光強(qiáng)計(jì)，通過旋轉(zhuǎn)偏振片并測量不同角度下的光強(qiáng)，可以計(jì)算出激光偏振比。

8. 光斑直徑：通常指的是激光束在某個(gè)特定距離上的橫截面直徑，也可以理解為激光束在目標(biāo)表面上形成的圓形或橢圓形斑點(diǎn)的直徑。光斑直徑的大小取決于多種因素，包括激光束的發(fā)散角度、聚焦系統(tǒng)的焦距和質(zhì)量以及目標(biāo)表面與激光束的距離等。在激光應(yīng)用中，光斑直徑的大小對于加工精度和效率至關(guān)重要。較小的光斑直徑意味著更高的空間分辨率和加工精度，但可能需要更復(fù)雜的光學(xué)系統(tǒng)來實(shí)現(xiàn)。

除了以上主要性能指標(biāo)外，激光器的相干長度、光束指向穩(wěn)定性、光束位置準(zhǔn)確性、長期穩(wěn)定性以及空間模式等也是衡量其性能的重要參數(shù)。這些參數(shù)共同決定了激光器的適用范圍和性能表現(xiàn)。

審核編輯 黃宇