據(jù)麥姆斯咨詢報道，近日，KLA-Tencor（科天）在上海新國際博覽中心舉辦的中國國際半導(dǎo)體設(shè)備、材料、制造和服務(wù)展覽期間舉行了2018年中國半導(dǎo)體新聞發(fā)布會。KLA-Tencor資深客戶合作副總裁兼首席營銷官Oreste Donzella先生發(fā)表了題為“加速中國的成功（Accelerating China’s Success）”的主題演講。KLA-Tencor已經(jīng)充分準(zhǔn)備好以工藝控制及良率管理設(shè)備供應(yīng)商身份支持中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的蓬勃發(fā)展。

KLA-Tencor資深客戶合作副總裁兼首席營銷官Oreste Donzella

首先，Oreste Donzella介紹當(dāng)今半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)有兩個重要轉(zhuǎn)折點：第一，新的應(yīng)用驅(qū)動發(fā)展，例如物聯(lián)網(wǎng)、5G、人工智能和自動駕駛等；第二，中國半導(dǎo)體的快速崛起，對全球半導(dǎo)體的貢獻(xiàn)和影響與日俱增。

“我們很欣喜地看到中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，KLA-Tencor在工藝控制及良率管理方面，全方面幫助和加速中國的成長。”O(jiān)reste Donzella表示，“中國將會是第一個5G商用化的國家，并且也在大力發(fā)展人工智能，因此充滿了半導(dǎo)體機(jī)遇。”

隨著技術(shù)的進(jìn)步發(fā)展，半導(dǎo)體芯片的工藝步驟越來越多，也更加復(fù)雜化。如采用多重圖形技術(shù)的工藝則為達(dá)到1000多道，而工藝窗口的挑戰(zhàn)則要求幾乎是“零缺陷”，這就對工藝控制水平提出了更高的要求。制造過程中任何細(xì)小的錯誤都將導(dǎo)致重新流片，而其代價將會很大，因此在制造過程中，檢測和量測變得越來越重要，越早發(fā)現(xiàn)問題所在，可挽回的損失越大。Oreste Donzella指出：“晶圓廠的設(shè)備支出和過程控制需求達(dá)到歷史高位水平，未來有望實現(xiàn)進(jìn)一步增長！”

晶圓廠設(shè)備支出和過程控制需求處于歷史高位

Oreste Donzella繼續(xù)說道：“大家從下面一幅圖可以看出：為什么半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)第二個重要轉(zhuǎn)折點在中國？這是因為中國半導(dǎo)體制造線遍地開花：從東北到華南深圳，從華東上海到中西部重慶、成都和武漢。實際上，不僅僅是半導(dǎo)體制造線，還包括半導(dǎo)體芯片設(shè)計、封裝和測試、設(shè)備和材料，中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈全面布局與發(fā)展！”

中國半導(dǎo)體制造線迅速擴(kuò)張

隨著近幾年中國政府對發(fā)展半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的大力投資，中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)呈現(xiàn)蓬勃發(fā)展的局面。Oreste Donzella表示：“中國有很多對于我們很重要的客戶，KLA-Tencor與他們保持密切的合作關(guān)系，為他們提供所需的技術(shù)支持和服務(wù)。因此在2017年取得了很好的業(yè)績——中國訂單顯著增長（幾乎是2016年的3倍）。今后，KLA-Tencor會持續(xù)投入中國市場，加速中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展。”

中國訂單正在顯著增長

KLA-Tencor產(chǎn)品線涵蓋了半導(dǎo)體工藝的各個環(huán)節(jié)和技術(shù)節(jié)點，包括晶圓表面缺陷、光罩、薄膜等，也同時提供數(shù)據(jù)的分析和儲存。在其它領(lǐng)域，如高亮度LED、MEMS、功率器件等，KLA-Tencor也為客戶提供了大量的先進(jìn)技術(shù)和機(jī)臺。

對于先進(jìn)工藝，如7nm和5nm等設(shè)計節(jié)點，芯片制造商想要找到產(chǎn)品上的疊對誤差、線寬尺寸不均勻和易失效點的明確起因?qū)⒆兊迷絹碓嚼щy。KLA-Tencor推出了5款圖案成型控制系統(tǒng)，主要針對7nm以下的邏輯和尖端內(nèi)存設(shè)計節(jié)點設(shè)計，以幫助芯片制造商實現(xiàn)多重曝光技術(shù)和EUV光刻所需的嚴(yán)格工藝寬容度。

KLA-Tencor產(chǎn)能和能力

Oreste Donzella最后指出，“KLA-Tencor持續(xù)的研發(fā)投入確保了公司從硅片檢測到線寬量測，以及光罩領(lǐng)域，都在業(yè)界處于領(lǐng)先地位。除了半導(dǎo)體檢測和量測設(shè)備業(yè)務(wù)以外，KLA-Tencor還為客戶提供技術(shù)支持與服務(wù)，幫助客戶實現(xiàn)更大的生產(chǎn)價值。對于中國市場來說，200毫米晶圓制造線比300毫米晶圓制造線更為渴求。為此，KLA-Tencor在200毫米檢測和量測設(shè)備方面繼續(xù)投入研發(fā)力量，以滿足中國半導(dǎo)體市場的火熱需求。”

“加速中國的成功”演講總結(jié)

關(guān)于KLA-Tencor

KLA-Tencor是全球工藝控管與良率管理解決方案的業(yè)界領(lǐng)跑者，與世界各地的客戶合作開發(fā)尖端的檢測和量測技術(shù)， 并且將這些技術(shù)致力于半導(dǎo)體，LED及其他相關(guān)納米電子產(chǎn)業(yè)。憑借行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的產(chǎn)品組合和世界一流的工程師及科學(xué)家團(tuán)隊，近40年來公司持續(xù)為客戶打造卓越的解決方案。KLA-Tencor的總部位于加利福尼亞州米爾皮塔斯市，同時在全球各地設(shè)有運營和服務(wù)中心為客戶竭誠服務(wù)。

KLA-Tencor研發(fā)投資及收益（$M）