三坐標測量機 Coordinate Measuring Machining，簡稱 CMM）是近50年發展起來的一種高效率的新型精密測量儀器。它的出現，一方面是由于自動機床、數控機床高效率加工以及越來越多復雜形狀零件加工需要有快速可靠的測量設備與之配套；另一方面是由于電子技術、計算機技術、數字控制技術以及精密加工技術的發展為三坐標測量機的產生提供了技術基礎。

現代 CMM 不僅能在計算機控制下完成各種復雜測量，而且還可以通過與數控機床交換信息，實現對加工的控制，并且還能夠根據測量數據，實現逆向工程。目前，CMM 已廣泛用于機械制造業、汽車工業、電子工業、航空航天工業和國防工業等各部門，成為現代工業檢測和質量控制不可缺少的萬能測量設備。

由于它通用性強，測量范圍大，精度高，效率高，性能好，能與柔性制造系統相連接，已成為一類大型精密儀器，故有"測量中心”之稱。

在高精度測量領域，著名的廠商德國卡爾?蔡司(Carl Zeiss)公司的CONTURA G2 產品（如圖所示）以其在硬件和軟件配置上具有的優勢，使得連續掃描測量和逆向工程測量完全滿足精密測量的要求。

德國ZEISS蔡司CONTURA系列三坐標測量機

三坐標測量機的基本工作原理

幾何量測量是以點的坐標位置為基礎的，它分為一維、二維和三維測量。三坐標測量機的基本原理是將被測零件放入它容許的測量空間，精密地測出被測零件在 X、Y、Z 三個坐標位置的數值，根據這些點的數值經過計算機數據處理，擬合形成測量元素，如圓、球、圓柱、圓錐、曲面等，經過數學計算得出形狀、位置公差及其他幾何量數據。

CONTURA G2 RDS三坐標測量機的組成和特性

1）測頭系統：

測頭系統包括探頭、吸盤、探針、讀數頭、光柵尺。

2）硬件控制系統：

C99 控制柜，具備計算機輔助誤差修正功能，可對 CMM 和傳感器做實時的動態修正，確保得到精確的結果。

電氣驅動系統，包括電機、摩擦滾、鋼帶、皮帶、氣墊（氣浮軸承）、氣管、過濾器、氣壓表、調壓閥。

3) 其它機械部件

包括花崗巖臺面、三軸導軌、減震墊、支撐基架、Z 軸平衡氣缸、電磁閥等。

數據處理軟件系統（CALYPSO 測量軟件），利用該軟件，可把 CAD 數據轉變成測量程序，從而獲得準確無誤的檢測方案。

三坐標測量機在精密檢測中的應用

目前利用 CONTURA G2 RDS 三坐標測量機，對下圖所示工件的開有多條狹縫的表面進行了平面度的幾何測量。

測量程序的編制利用了Calypso測量軟件強大的開放式脫機編程功能，這種編程方法的好處一是只要將設計人員設計的CAD圖紙文件直接輸入到測量軟件中，就可以進行編程。不必等工件加工完成后才可以進行程序測量，可大大提高工作效率。第二是在程序編制完成之后，可以在CAD環境中直接調用程序進行模擬測量，對程序進行驗證，找出運行過程中出現的錯誤測量路徑和采點，同時對程序進行修正，將實際測量中可能出現的問題降到最低，最大程度的保證了測量過程中的安全性。

脫機編程時測量軟件應設置為脫機工作模式。首先將預先在CAD環境下建立的模型直接導入測量軟件中（如下圖）。該測量軟件采用了圖形化可視界面，簡明易用，包含了基本的CAD功能，如放大、縮小、平移、旋轉、著色（陰影）等功能，軟件的直接的CAD接口，適用于所有重要的CAD格式，不會導致公差問題及精度的損失。

第二步建立工件坐標系開始測量。坐標系的建立采用常用的面線點（3-2-1）方式，然后選擇平面(Plane)測量元素，雙擊該平面元素，對其中測量策略進行設置。由于待測平面比較特殊，上面并列有多條狹縫，而正因為如此才致使平面度超差存在可能性。為了得到全面精確可信的測量結果，根據廣度均分的原則將測量路徑選擇為多義線（Polyline），這樣使采集到的點盡可能的覆蓋到整個平面上。使用鼠標在工件模型上點擊所要采點的位置，此時工件模型上會顯示所采點的位置及其矢量方向。根據所測量的幾何要素的需要，可進行多次采點。當采夠所需要的點數后再在采點窗口中點確定，系統將會驅動虛擬測頭進行采點，并擬合出要測的幾何元素及其圖形。多義線測量界面如下圖所示。

下一步應對測量路徑多義線再進行詳細的設置，其中包括分別根據實際情況對探針速度以及采集的點的個數的設定，接著應修改平面元素的評價方法，設置為最小二乘法并選擇去除粗大誤差，確定即可。

元素測量完成后，應對測量幾何平面度進行評價。在菜單中選擇形狀和位置公差中的平面度，然后雙擊該平面度圖標，選擇測量完的平面元素，輸入設計公差數值確定完成。平面度評價界面如上圖所示。

在測量程序自動運行之前，為了防止在實際測量中發生探針與待測工件意外碰撞應設置安全平面，如下圖所示。

最后將編制完成的測量程序保存，通過聯機實際測量，得到如下圖的平面度測量的結果報告。從報告中可以直觀的得到相關的測量元素和坐標數值及所有測量數據。用戶可根據需要給出實際尺寸、公差值、與理論值的偏差、超差情況等詳細的信息，對報告頭自己定義，保存后可隨時調看。

通過利用三坐標測量機在對工件的測量應用中，高效率采集到了大量精確、詳細的測量數據，完成了以前用其它測量工件平面度量具（如刀口尺等）無法實現的功能，三坐標測量機具備了高精度高柔性以及優異的數字化能力。在高質量產品的制造中使用精密的三坐標測量機可減少測量誤差，保證產品的精度和質量，滿足設計與制造的需要， 加深理解并更好地掌握其工作原理和性能對完成并拓展裝備研制中精密零部件的質量檢驗必將發揮重大的作用。