根據YOLE的數據顯示，ST是MEMS市場上較大的Foundry，2017年的生意有174個Million。來自第一名的聲音自然不能忽視，據ST表示，MEMS的第一次增長浪潮得益于智能手機的興起;而第二次增長浪潮的背后推力則主要來自工業自動化。

圖：2017年頂級MEMS晶圓廠排名(來源：YELO)

圖：ST認為MEMS的新一波增長浪潮將得益于工業自動化

不同的市場對于同一種MEMS都有著不同的應用需求，工業應用相比消費類應用在可靠性，耐用性和精度等方面都有著更高的要求。ST近日在北京專門召開了發布會，為記者介紹其MEMS在工業方面的應用。意法半導體MEMS傳感器產品部消費類MEMS事業部總監Simone Ferri先生進行了精彩的演講。

圖：意法半導體MEMS傳感器產品部消費類 MEMS事業部總監Simone Ferri

專為工業市場設計

據Simone先生介紹，ST針對不同市場均有量身打造的MEMS傳感器。主要從MEMS微機電設計、ASIC數據電路設計和封裝這三個方案來進行。消費市場是功耗、價格敏感的應用，因此ST會在ASIC內采用超低功耗前端;汽車市場對于安全性要求很高，因此傳感器產品采用陶瓷封裝。而針對工業類MEMS，ST在ASIC中加入了常用的工業通信協議，同時針對不同細分應用有陶瓷和LGA兩種封裝形態。

圖：不同市場對于MEMS有著不同的要求

從2000年開始，ST一直保持對消費類市場發力，不斷推出新品，而從2015年之后，開始對車用MEMS發力。而最近兩年，ST開始對工業MEMS市場發力。對于工業4.0而言，ST作為整個生態中的底層的半導體供應商，對于推動整個進程的發展起到重要的作用。對于ST而言，工業是其重要戰略之一，因此ST并不僅僅關于于某一個應用，而是努力做到從整個工業應用的場景中實現嵌入和優化。

圖：ST廣泛MEMS產品線適用于工業不同應用

而且在工業市場上另一個存在的問題是，如何在現有的傳統設備上實現智能制造。ST也針對客戶工廠的新增設備和現有設備提供兩種不同的安裝方案。據Simone先生介紹：“在既有的設備里，因為種種機器本身的限制，可能ST傳感器只能放在比較特定的位置，基于既有的系統架構，只能通過無線傳輸的方式把傳感器檢測到的數據上傳到系統。而對于新的設備來講，可以有更大的空間去更好地設計傳感器的位置。比如選擇更容易檢測到振動的位置，以及在工業領域比較流行的IO-Link工業通信協議，可以更好地讓傳感器數據通過系統總線上傳到系統。”

圖：ST 工業MEMS可以滿足各種不同安裝需求

新產品將帶來新的應用需求

在此次發布會上，Simone先生還給我們介紹了一些工業MEMS新品。這些新產品也會反向催生很多新應用。

圖：新產品催生新應用場景

重點介紹的一款新產品是IIS3DHHC，這是ST一款工業級的3軸MEMS測斜儀。它有見過改良的MEMS設計，因此可以提供良好的抗震性能，在震動情況下仍可以提供高精度的角度測量輸出。并且此款測斜儀采用的是CLGA陶瓷封裝，因此安全性和可靠性也是非常高。加速度計能夠通過SPI 4線數字接口為應用提供測量的加速度值。這款傳感元件采用ST開發的專用微加工工藝進行制造，可在硅晶圓上生產慣性傳感器和致動器。IC接口采用CMOS工藝制造，可實現高集成度，精確地調節接口電路，使其與傳感元件的特性匹配。所以這款測斜儀，本質上是一款3D加速度計，非常適用于精密傾角儀的應用。

圖：IIS3DHHC濾波鏈

據Semone先生介紹，這顆器件可以廣泛地應用在路橋、隧道以及建筑設計中。在隧道里，的傾角計可以用來監測某個管道的傾斜角度以及可以用來檢測某些設備的振動，有助于道路安全以及建筑安全。傾角計還用于重型叉車中，在叉車搬運比較重貨物時，傾角計可以用來監測叉車前面叉的角度，如果超過安全范圍，會及時給系統報警。

圖：IIS3DHHC介紹

除了IIS3DHHC之外，ST還介紹其在工業MEMS新產品方面的全計劃：在運動傳感器方面，有高精度6軸慣導、高精度的傾角計、低功耗的加速度計以及超低功耗和高準確度的低噪振動計。在環境傳感器方面，有超聲麥克風和抗腐蝕的氣壓計等等。

另外，ST的工業產品將提供10年供貨保證。