10月26日,鄭州合晶硅材料有限公司年產240萬片200毫米硅單晶拋光片生產項目投產;10月19日,宜興正式對外發布集成電路材料產業規劃,也將集成電路硅片作為發展重點之一,此前總投資30億美元的中環領先集成電路用大直徑硅片項目已入駐宜興。業內人士表示,面對集成電路硅片產業的建設熱潮,國內企業要冷靜思考,切實控制好風險。
硅片業面臨前所未有機遇
硅片是半導體材料中價值最高、占市場比例最大的材料,約占半導體晶圓制造材料市場的30%。中國電子材料行業協會信息部副主任劉偉鑫在接受《中國電子報》記者采訪時表示,廣闊的市場空間、政策的支持、資本的集中,給國內集成電路硅片產業提供了前所未有的發展機遇。
他分析說,從市場看,目前,國內8英寸和12英寸硅片是市場的主流,特別是12英寸硅片是絕對的主力,國內集成電路用8英寸硅片國產化率僅為20%,12英寸集成電路用硅片則全部依賴進口,這無疑給國內硅片生產企業帶來巨大的市場空間。到2020年,又將有多座晶圓廠進入量產,下游產業的快速發展必將帶動上游硅片需求的擴張。
政策方面,近年來,國家制定了一系列產業政策,包括國家科技重大專項“極大規模集成電路制造設備及成套工藝”專項(“02 專項”)、工業強基工程、工業轉型升級資金(部門預算)等,來加速半導體材料供應的本土化進程。
資金方面,在2018年工業轉型升級資金(部門預算)——國家新材料生產應用示范平臺建設項目中,集成電路材料生產應用示范平臺被列為三大建設平臺之一。與此同時,國家集成電路產業投資基金正在進行第二期募集,業內人士預計,此次集成電路發展基金目標是募集1500億~2000億元,預計將有包括中央財政、一些國有企業和地方政府出資。國家集成電路產業投資基金有限公司負責人也曾多次在公開場合表示,他們將圍繞國家戰略和新興行業進行投資規劃,并盡量對裝備材料業給予支持,推動其快速發展。
8英寸、12英寸硅片項目相繼開建
中國是全球最大的半導體市場,5G、物聯網、人工智能為集成電路帶來更廣闊的應用前景,相應的,會帶來對集成電路關鍵材料——硅片持續旺盛的需求。
2017年以來,國內集成電路用8英寸硅片發展取得明顯進步。據中國電子材料行業協會統計,截至2017年年底,8英寸集成電路晶圓方面,中國大陸已有產線的月產能共計79萬片/月,興建中的產能為29萬片/月,2017年,我國8英寸集成電路晶圓產量達到877.2萬片。
劉偉鑫介紹說,目前,國內具備8英寸半導體硅片生產能力的企業有浙江金瑞泓、北京有研總院、河北普興、南京國盛、上海合晶、上海晶盟、天津中環等,按產量需求計算國產化率,8英寸集成電路用硅片國產化率已提高到20%,盡管比例仍然不高,但相比2016年已經顯著提高。“隨著國內各大8英寸半導體硅片廠產能的陸續釋放、新產線的投產,國產化率進一步提高前景可期。”劉偉鑫說。
近期發布的《宜興集成電路材料產業發展規劃》明確指出,宜興將利用全球集成電路向中國轉移的發展趨勢,貫徹無錫“一體兩翼”(設計制造在無錫、封裝在江陰、原材料在宜興)集成電路全產業鏈發展格局,以大硅片的投資項目為牽引,帶動關鍵材料和配套設備發展。2017年年底開工的中環領先集成電路用大直徑硅片項目,主要生產8~12英寸拋光硅晶片。
無錫中環資產管理有限公司總經理齊進青介紹說:“中環領先大直徑硅片項目,共分兩期實施:一期總投資15億美元,于去年年底開工,建設三條8英寸生產線,月產能75萬片;一條12英寸試驗線,月產能2萬片;一條12英寸生產線,月產能15萬片。二期投資15億美元,將建設兩條12英寸生產線,月產能30萬片。未來該項目,8英寸大硅片會進入世界第三、12英寸大硅片進入世界前五。”
鄭州合晶硅材料有限公司相關負責人告訴《中國電子報》記者,目前中國大陸興建中的8英寸晶圓廠有8座,但8英寸硅片供應商卻無大幅度擴廠,因此預測8英寸硅片供應仍吃緊。該負責人表示,合晶集團鄭州廠主要發展8英寸硅片,并以優先供應中國大陸客戶為主,就是因為看到國內8英寸硅片市場在未來幾年仍有強勁需求。
硅片企業一定要切實控制風險
面對國內集成電路硅片建設熱潮不斷涌現,浙江金瑞泓科技股份有限公司副總經理田達晰客觀地分析到,到2020年,國內8英寸硅片的需求約為100~120萬片/月,現在在建的8英寸硅片的產能已經遠遠超過了國內的需求。他表示,違背產業發展的客觀規律,勢必會造成產業碎片化,更加無法與國際大廠競爭。沒有技術能力和產業經驗的公司,想依賴自己的資金優勢,完全靠引進人才發展8英寸和12英寸硅片產業,夢想一夜之間趕上世界先進水平,實現跨越式發展,是不現實的。
田達晰告訴《中國電子報》記者,國內8英寸、12英寸硅片的制造設備和耗材基本依賴進口,中國遍地開花建設8英寸、12英寸硅片項目大幅度推高了設備的價格,造成設備供應緊張,使項目建設設備采購成本提高了50%~100%,甚至更高。“要知道我們的競爭對手8英寸硅片生產線2000年前已完成折舊,12英寸硅片生產線折舊在2010年前也已完成,照這種情況,我們拿什么與國外廠商競爭?”田達晰不無焦慮地說,“8~12英寸硅片產業目前的發展狀況,很可能造成資源極大的浪費。政府應該吸取LED產業發展的教訓,集中有限的資源扶持兩家有規模、有技術能力基礎的企業,并讓其發揮領頭羊的作用,帶動整個產業發展。”
田達晰認為,8英寸硅片生產其實可以認為是在為12英寸做技術儲備,做不好8英寸硅片的企業若想做好12英寸硅片難度非常大。從8英寸到12英寸,對硅材料性質的認識并沒有革命性的改變,兩者的不同在于12英寸硅片對晶體體內缺陷的數量與尺寸的控制要求更高,還要求更高的表面平整度、更少的表面顆粒和更小的表面缺陷,而隨著線寬的減小,12英寸將主要使用外延片。
他強調說,發展12英寸硅片恰逢其時,但有關企業一定要認識到其市場規模非常小,五家大硅片供應商(日本信越、日本SUMCO、我國***Global Wafer、德國Siltronic和韓國LG Siltron)擁有絕對的技術和成本優勢,國內硅片企業一定要切實控制風險,否則,提高的成本、很小的銷售額,對企業來說難以為繼。“我認為,到2020年,國內12英寸硅片的實際需求不會超過60萬片/月。”田達晰告訴記者說。
鄭州合晶相關負責人表示,不論是8英寸或12英寸硅片,拉單晶硅的工藝絕對是為客戶提供良好質量硅片的關鍵。同時,該負責人認為,由于國家的大力扶持,并提供相對充足的資金,因此國內硅片廠不需為資金煩惱,若能將8英寸硅片的生產模式獲得完整的學習曲線并穩扎穩打,就能期待國內12英寸硅片供貨商躋身世界頂級之列。
劉偉鑫告訴《中國電子報》記者,在制作大硅片過程中,由于對倒角、精密磨削等加工工藝要求很高,因此,良率是非常大的挑戰。目前,12英寸集成電路硅片方面,國內已有多家廠商在布局,但只實現了擋片、陪片、測試片等產品的銷售,正片還沒有通過客戶認證,皆因產品良率過低所導致。他建議,國內發展大尺寸硅片一定要加強上下游合作,引進相關高科技人才,并不斷加大研發投入。
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