這款基于MEMS技術(shù)的微型光束操縱器件有望實現(xiàn)更輕、更低成本的激光雷達(dá)

激光雷達(dá)（LiDAR）是自動駕駛汽車探測和識別周圍物體的關(guān)鍵技術(shù)之一。瑞典KTH皇家理工學(xué)院（KTHRoyalInstituteofTechnology）的一支研究團(tuán)隊長期致力于研究激光雷達(dá)系統(tǒng)核心的光束操縱技術(shù)，開發(fā)出了一種比以往各種技術(shù)方案更經(jīng)濟(jì)、更小巧、資源利用率更高效的光束操縱器件。

KTH微納米系統(tǒng)學(xué)院的博士后CarlosErrando-Herranz表示，憑借我們的技術(shù)方案，這種激光雷達(dá)大規(guī)模量產(chǎn)之后，成本可以大幅下降至約10美元，重量僅為幾克（包括外設(shè)組件），功耗可低至數(shù)百毫瓦。這項研究成果已發(fā)表于OpticsLetters雜志。

光束操縱技術(shù)的應(yīng)用需求很廣泛，例如高速光通信、激光雷達(dá)以及醫(yī)學(xué)成像。傳統(tǒng)的激光雷達(dá)光束操縱系統(tǒng)利用電動馬達(dá)來偏轉(zhuǎn)反射鏡，并在特定區(qū)域上掃描激光束，這種系統(tǒng)通常尺寸和重量都較大，功耗較高，成本高達(dá)數(shù)千美元。因而，這種傳統(tǒng)光束操縱系統(tǒng)無法應(yīng)用于電池供電的機(jī)器人、智能手機(jī)、無人機(jī)、體內(nèi)光學(xué)相干斷層掃描（OCT）探頭以及小型化、低成本的空分復(fù)用（SDM）系統(tǒng)。

近年來，通過利用MEMS微鏡和光柵縮小了光束操縱系統(tǒng)的尺寸，從而顯著降低了成本和重量。然而，這些激光雷達(dá)系統(tǒng)的組件（如激光器、掃描裝置、探測器及其它電子器件）仍然是獨立制造的，并且組裝成本較高。因此，進(jìn)一步的多組件集成小型化有潛力以低成本提供更小、更輕、功耗更低的激光雷達(dá)系統(tǒng)。

集成光子學(xué)，尤其是硅光子學(xué)，可以通過電氣處理和控制、光束操縱和光學(xué)信號處理器件、光源及探測器的高密度集成來應(yīng)對這些挑戰(zhàn)。這使得集成光子系統(tǒng)不僅在尺寸和重量方面優(yōu)于自由空間光學(xué)系統(tǒng)，而且在成本、集成密度和魯棒性方面也優(yōu)于自由空間光學(xué)系統(tǒng)。

集成光子學(xué)的光束操縱方案主要集中在光學(xué)相控陣。光學(xué)相控陣由發(fā)射器陣列（通常為光柵耦合器）組成，使遠(yuǎn)場衍射圖案高度依賴于發(fā)射波的相對相位。通過使用波導(dǎo)移相器調(diào)諧這些波的相對相位，調(diào)整輸出光束的角度。這種系統(tǒng)可以非常嚴(yán)格地控制光束的形狀和方向，之前的研究工作已經(jīng)展示了1D光束操縱、超高角度光束分辨率2D操縱和激光雷達(dá)測量。不過，常用的熱光移相器具有一個很重要的缺陷：功耗非常高。

據(jù)CarlosErrando-Herranz介紹，其研究團(tuán)隊首次利用MEMS可調(diào)諧波導(dǎo)光柵在實驗中成功演示了低功率光束操縱技術(shù)。研究結(jié)果顯示，在1550nm波長，驅(qū)動電壓低于20V，靜態(tài)功耗低于uW的條件下，光束轉(zhuǎn)向可達(dá)5.6°。

這款光束操縱器件基于利用MEMS執(zhí)行器改變波導(dǎo)光柵耦合器梳齒之間的間距。圖1（a）展示了該器件的示意圖。KTH的研究人員設(shè)計了一個形成折疊彈簧的懸浮光柵，一端連接到錐形波導(dǎo)，以進(jìn)行光耦合，另一端連接到MEMS梳狀驅(qū)動執(zhí)行器。梳狀驅(qū)動執(zhí)行器的水平致動拉伸了懸浮的光柵，改變了光柵梳齒之間的距離，從而導(dǎo)致光柵的面外角發(fā)射發(fā)生變化。圖1（b）為MEMS可調(diào)諧光柵的掃描電子顯微鏡（SEM）圖像。

圖1（a）展示了這款MEMS可調(diào)諧光柵驅(qū)動前后的工作原理。（b）這款MEMS器件的掃描電子顯微鏡（SEM）圖像。光柵作為軟彈簧的一部分，通過梳齒驅(qū)動執(zhí)行器拉伸，改變光柵齒之間的間距。（c）光柵齒間距增加對光束轉(zhuǎn)向影響的模擬結(jié)果（顏色：發(fā)射光強度）疊加分析估算（白線）。（d）梳齒驅(qū)動執(zhí)行器件的分析致動估算。

“我們采用了和智能手機(jī)加速度計、陀螺儀相同的MEMS制造工藝，”他說，“這意味著大規(guī)模量產(chǎn)的成本可能非常低。”

Errando-Herranz稱，該技術(shù)可以使更多的機(jī)器人或無人機(jī)能夠自主運行或自主飛行。

KTH副教授KristinnB.Gylfason說：“這項技術(shù)可以使無人機(jī)無需遠(yuǎn)程控制，例如運送除顫器等緊急醫(yī)療設(shè)備的無人機(jī)。”

“機(jī)器人和無人機(jī)是絕對可能的應(yīng)用領(lǐng)域，”Gylfason說，“目前的激光雷達(dá)系統(tǒng)對于自動駕駛汽車而言成本過于高昂，而汽車產(chǎn)業(yè)對成本非常敏感。其他可能的應(yīng)用，還包括智能手機(jī)的3D人臉識別，例如蘋果（Apple）的FaceID。”

KTH激光雷達(dá)方案的獨特之處在于它采用了新型MEMS光束操縱技術(shù)，但是又不同于MEMS微鏡。

“傳統(tǒng)的機(jī)械式激光雷達(dá)基于在旋轉(zhuǎn)塔上安裝一系列激光器，如激光雷達(dá)領(lǐng)先廠商Velodyne推出的‘全家桶’和‘超級冰球’，”Gylfason說，“我們激光雷達(dá)的研究方案基于集成的微光力學(xué)，我們在硅芯片表面構(gòu)建了一個可調(diào)諧光柵。通過改變光柵周期，可以決定光束的掃描方向。”

與自由空間光學(xué)技術(shù)相比，KTH的技術(shù)方案要更小、更輕幾個數(shù)量級，并且成本更低、更不易受機(jī)械噪聲影響，此外，需要的組裝要求也非常有限。集成熱光（thermo-optic）相控陣系統(tǒng)的功耗比KTH的這款器件至少高5個數(shù)量級（受測量限制，KTH研究人員估算約達(dá)7個數(shù)量級），并且會受到熱串?dāng)_問題的困擾，而KTH的技術(shù)方案本身就可以避免這個問題。

與電光調(diào)諧技術(shù)相比，KTH這款器件的功耗至少低1個數(shù)量級（更可能是3個數(shù)量級）。此外，KTH實現(xiàn)的光束操縱，比之前報道的熱光可調(diào)諧單光柵大兩倍，隨著未來MEMS器件的設(shè)計改進(jìn)，具有更大角度調(diào)諧的潛力。

KTH研究人員開發(fā)的這種光束操縱技術(shù)，可以提供產(chǎn)業(yè)長期以來一直尋求的低成本和低功耗，以將人工視覺擴(kuò)展到智能手機(jī)或無人機(jī)在內(nèi)的電池供電設(shè)備，還有用于體內(nèi)醫(yī)學(xué)成像的有源探頭，以及通過空分復(fù)用（SDM）提高光通信帶寬。