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ADI高校講座系列:MEMS(5)

EE techvideo ? 來源:EE techvideo ? 2019-08-21 06:07 ? 次閱讀

MEMS側重于超精密機械加工,涉及微電子、材料、力學、化學、機械學諸多學科領域。它的學科面涵蓋微尺度下的力、電、光、磁、聲、表面等物理、化學、機械學的各分支。

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