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硅片制作在工藝上存在哪些挑戰

牽手一起夢 ? 來源:郭婷 ? 2019-06-24 14:35 ? 次閱讀

在米粒大的硅片上,已能集成16萬個晶體管,由于硅元素是地殼中儲量最豐富的元素之一,對太陽能電池這樣注定要進入大規模市場(mass market)的產品而言,儲量的優勢也是硅成為光伏主要材料的原因之一。

在硅片上制造微電路是成批地制造,在微小的面積上制出晶體管、電阻電容而且按要求連成電路已屬不易,而在一定面積的硅片上制造出性能一致的芯片則更加困難。集成電路的生產,大多是從硅片制備開始的,硅片的制備需要專門的設備和嚴格的生產條件。

工藝挑戰:

1、切割線直徑:更細的切割線意味著更低的截口損失,也就是說同一個硅塊可以生產更多的硅片。然而,切割線更細更容易斷裂。

2、荷載:每次切割的總面積,等于硅片面積X每次切割的硅塊數量X每個硅塊所切割成的硅片數量 。

3、切割速度:切割臺通過切割線切割網的速度,這在很大程度上取決于切割線運動速度,馬達功率和切割線拉力。

4、易于維護性:線鋸在切割之間需要更換切割線和研磨漿,維護的速度越快,總體的生產力就越高。

半導體器件生產中硅片須經嚴格清洗。微量污染也會導致器件失效。清洗的目的在于清除表面污染雜質,包括有機物和無機物。這些雜質有的以原子狀態或離子狀態,有的以薄膜形式或顆粒形式存在于硅片表面。有機污染包括光刻膠、有機溶劑殘留物、合成蠟和人接觸器件、工具、器皿帶來的油脂或纖維。無機污染包括重金屬金、銅、鐵、鉻等,嚴重影響少數載流子壽命和表面電導;堿金屬如鈉等,引起嚴重漏電;顆粒污染包括硅渣、塵埃、細菌、微生物、有機膠體纖維等,會導致各種缺陷。清除污染的方法有物理清洗和化學清洗兩種。

推薦閱讀:http://m.elecfans.com/article/643856.html

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