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不只一臺刻蝕機 燕東微北京8英寸項目搬入多臺北方華創(chuàng)設(shè)備

mvj0_SEMI2025 ? 來源:yxw ? 2019-07-05 14:27 ? 次閱讀

近日,燕東微北京8英寸項目首批設(shè)備搬入,而北方華創(chuàng)制造的刻蝕機作為首臺設(shè)備搬入廠房。

據(jù)北方華創(chuàng)官方最新消息,除首臺搬入的等離子硅刻蝕機外,北方華創(chuàng)即將搬入的設(shè)備,還包含多晶硅刻蝕機、金屬刻蝕機、深硅刻蝕機、磁控濺射PVD、高溫擴散爐、中溫氧化爐、濕法清洗機、濕法去膠機等設(shè)備。

據(jù)悉,燕東微電子8英寸集成電路研發(fā)產(chǎn)業(yè)化及封測平臺項目是北京首條大規(guī)模量產(chǎn)8英寸的集成電路產(chǎn)線,總投資48億元,于2016年9月27日正式啟動。其芯片生產(chǎn)廠房包含一條月產(chǎn)5萬片(25次光刻)0.25um-0.09um(典型工藝為0.11um)、BCD兼容工藝的8英寸芯片生產(chǎn)線。未來擬生產(chǎn)產(chǎn)品包括顯示驅(qū)動電路、功率器件、封測產(chǎn)品等。同時,項目通過與國際頂尖驅(qū)動電路、功率器件廠商合作,將建成國內(nèi)技術(shù)最先進的特色工藝產(chǎn)線。

為推進該項目的建設(shè),燕東微電子還于2018年1月發(fā)布增資項目,2018年6月正式敲定增資方案,大基金聯(lián)合三家國企斥資28億實施入股,電子城等還通過非公開渠道再投資12億元。

燕東微電子隸屬北京電子控股有限責(zé)任公司旗下,后者由北京市電子工業(yè)辦公室轉(zhuǎn)制而來,目前是北京市國資委授權(quán)的以電子信息產(chǎn)業(yè)為主業(yè)的國有特大型高科技產(chǎn)業(yè)集團。

公開信息顯示,燕東微電子成立于1987年,是一家專業(yè)化的半導(dǎo)體器件芯片設(shè)計、制造、銷售的全資國有高科技企業(yè)。目前,燕東微電子的客戶涵蓋了包括蘋果、華為、小米等用戶在內(nèi)的客戶群體。

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