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MIM是由金屬、絕緣體、金屬三層薄膜組成的夾心結構。用于液晶顯示的MIM結構如圖1所示，主要有兩種： (1)圖1(a)是比較常見的“T”形結構。這種結構的工藝過程比較簡單，早期研制的MIM基本是這種形式。但這種結構的MIM面積比較大，具有較大的寄生電容，對提高對比度、改善其顯示質量等不利。如果要減小其面積，就要求有大面積、高分辯率的光刻設備。不僅增加了制作工藝的難度，成品率下降，還提高了成本，更不適合實現大型顯示。(2)圖1(b)示出研制的側向MIM結構，這種結構是在掃描線側向形成
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