本文針對組成測斜探管（定向傳感器）的石英撓性加速度計展開介紹。

石英撓性加速度計屬于單軸重力加速度計，其特點是結構簡單，體積小，精度和靈敏度高、可靠性高等。其內部構造圖如下。

石英撓性加速度計的工作原理是慣性質量受到外界加速度時，相對位置發生輕微偏移，引起差動電容極板距離的變化導致差動電容量的變化。伺服放大器檢測到這一變化并輸出相應的電流，送至位于磁場內部的線圈上，產生與輸入加速度力矩相平衡的反饋力矩，慣性質量再次回到平衡位置。通過測量這一電流信號，即可計算出輸入加速度。

石英撓性加速度計HQA系列

石英撓性加速度計由表頭和伺服電路組成，用于DS750測斜探管中的石英撓性加速度計針對表頭和伺服電路進行創新優化。

表頭包括檢測質量組建、上力矩器組件和上力矩器組件。其中影響高溫工作壽命的主要問題是接線柱與石英擺片鍍金膜的連接，一般廠家采取的方式是用錫焊的方式連接，因為存在金膜錫蝕問題，高溫工作壽命和抗振動能力都會受到影響。與普通石英表頭不同之處是采用金絲鍵合是IC芯片到封裝引腳的連接方式增強可靠性和壽命。

伺服電路包括差動電容檢測器、積分器、補償放大器組成，青島智騰微電子針對175°高溫工作環境下的長期可靠性進行性能提升。與普通塑封工藝芯片相比，采用多芯片模塊厚膜混合集成電路工藝，解決無法長期在175°高溫環境下無法長期工作的問題。