備用石英管清洗

1.清洗石英管的整個過程應嚴格按照擴散工序相關工藝安全標準進行。

2.清洗槽內如果存有以前用過的氫氨酸溶液，溶液不臟的情況下可以再往里面加10瓶氫氟酸（由生產人員調配）;如果原有的氫氟酸溶液很臟，則應全部排空并洗凈槽體，然后通知生產人員配液；如果槽內無以往剩下的氫氟酸溶液，洗凈槽體后請生產人員配液。

3.清洗人員必須佩戴好防護眼鏡和防酸手套，然后將備用石英管放入石英管清洗機靠近里面的槽內，管口朝向制絨間，管尾指向擴散爐所在方向。拉下防護門，將酸槽清洗時間設定為30min,按下控制面板中'酸槽啟動'按鈕

4.酸槽清洗時間的設定：

新的石英管只需清洗30min左右。如果是用過的石英管，應以將管內壁上沾附的白色五氧化二磷全部脫落的時間為準。清洗用過的管子，有的要1到2天時間。在酸槽未啟動的情況下，應每隔2個小時將石英管旋轉180°。

5.清洗人員戴好防護眼鏡和手套，將石英管從酸槽取出，輕放入水槽。將水槽內的水排空后用水槍沖洗石英管內外壁約5分鐘。沖洗石英管內壁時不要按下'水槽啟動'按鈕，如果已經按下了應再按下'水槽結束'按鈕。然后把水槍拉到石英管管口，從管口向管尾方向沖洗管內壁。沖洗時應仔細認真，不要有殘留未沖到的區域。2分鐘后，將石英管旋轉180°,再用同樣方式沖洗2分鐘。

6.將純水注入水槽，水位以能沒過石英管尾部的中間通氣管為準。拉下防護門，然后將水槽清洗時間設定為30min,按下'水槽啟動'按鈕。

7.重復第6步，再清洗一遍。

8.水槽結束后，將水槽內的水排空。然后，參照上面第5步的方法用水槍沖洗石英管內/外壁。重點沖洗內壁。約5min后用水槍沖洗管尾的四個小通氣管，重點同樣是管內壁。沖洗2分鐘后再繼續從管口方向沖洗。此步清洗時間應不少于15min,以管內外壁無顆粒狀磷化物殘留為清洗干凈的標志。

9.清洗好后將石英管放到凈化間的指定位置，下面墊上專用的泡沫。

10.將管口和尾管用專用鋁滔密封。

注：1.搬運石英管或將石英管放入清洗槽/從清洗槽取出時應使用專門的塑料套管。

2.石英管應輕拿輕放，切勿與清洗槽或其他物品發生碰撞或接觸。

3.放入槽內的位置應以管口抵住槽體最右側底部的限位轉子為準。

4.清洗后如果超過1星期未使用，應重新進行清洗。

5.搬運過程中不能抓尾部的小管，清洗后也不能抓管口。

二、

備用碳化硅漿清洗

1.將硅漿放入生產人員配好的氫氟酸溶液中浸泡，時間以表面沉積的白色五氧化二磷能夠用水槍沖掉為標準。

2.將硅漿放入水槽，用水槍反復沖洗。要把沉積在硅漿上的五氧化二磷盡可能地沖掉，實在沖不掉的可以用潔凈的石英片刮去。

3.將水槽放水，沒過硅漿。然后將水反復灌入漿的空心槽內再倒出。3分鐘后將漿浸泡在水中30min。

4.排空水槽內的水，用氨氣槍吹干硅漿。

5.更換潔凈的手套，墊上潔凈無塵布將硅漿抬出，放在已經鋪好無塵布的桌面上。放置時應使硅漿扁平一端高于方截面的一端，這樣有利于空心槽內殘留的水流出。

6.待空心槽內已經干燥，硅漿便可以使用。

注：1.清洗碳化硅漿過程可結合石英管清洗過程進行，這樣可以大大節省清洗時間。

2.硅漿應輕拿輕放，不可猛烈撞擊

3.在硅漿被氨氣吹干后，應墊上潔凈無塵布，更換新pvc手套后方可觸動/搬運。

4.清洗后如果超過1星期未使用，應重新進行清洗。

卸下硅漿

卸下硅漿及上面的石英絕熱擋圈和石英擋板、石英爐門、不銹鋼爐門系統及硅漿承載舟、尾部氣體連接、尾氣管、源恒溫控制箱；拉出爐體上的三根測溫熱電偶。

1.卸下硅漿上的石英絕熱擋圈和石英擋板。

特殊情況的處理：

個別絕熱擋圈會粘在碳化硅漿上難以取下。這時應把絕熱擋圈和碳化硅漿一并取下，放入石英管清洗機內，注意絕熱擋圈和硅漿結合槽部位朝下放置。然后用石英片將硅漿兩端墊起，不要使絕熱擋圈和周圍物品接觸。這些都準備好后將槽內放水，水位沒過硅漿和擋圈結合槽1cm左右即可。每隔一段時間輕微搬動一下擋圈，直至擋圈能順利從硅漿上脫落為止。此過程應注意不要將水灌到擋圈側面的小圓孔內。

2.將硅漿、石英爐門、不銹鋼爐門系統及硅漿承載舟卸下。

1.可將上述部件一并卸下，然后再將硅漿和石英爐門拆下用氨氟酸浸泡清洗；不銹鋼爐門系統用濕抹布擦洗，長期積累下的綠色鐵的氯化物可用砂紙或者鐵絲團除去。

2.石英爐門清洗前要把橡膠密封圈取下，石英爐門浸泡時間以上面的黑色碳粘污能夠用水槍沖洗掉為準。

3.石英爐門從氫氟酸中取出后要用水槍反復沖洗15min左右。有些難以去除的黑色污染物可用小石英片刮去。

4.沖洗干凈后用氨氣槍將爐門吹干放入凈化櫥內備用。

3.拆下爐口的不銹鋼擋板，用自來水沖洗，長期積累下的綠色鐵的氯化物可用砂紙或者坐刀除去。

4.拆下爐管尾部的氣體連接，取出尾氣管和校準熱電偶（長沙管子沒有）。

注：1.尾氣管非常長，在取出和放入過程中要十分小心，要絕對保證石英尾氣管能夠輕松滑入/滑出。

2.石英尾氣管取下后應和螺旋尾氣管一并放入氫氟酸中浸泡，時間應不低于兩小時。取出后用純水清洗步驟同大石英管清洗步驟。

3.石英尾氣管在清洗潔凈后安裝時，不能用手直接觸摸，要戴上潔凈PVC手套，墊上新無塵布拿放。

5.拉出爐體管壁上的測溫熱電偶并標記位置。

注：測溫熱電偶是插在爐體側面的，很短，長度只有10厘米左右；而校準熱電偶是插在石英管尾部的長度大約150厘米的，外部有細石英管保護。目前長沙擴散爐沒有校準熱電偶。

6.抬下源溫控制箱，更換源溫控制箱內的冷卻水。

注：長沙源溫控制箱為冷卻水外接方式，在取下源溫控制箱之前要先將冷卻水入口與出口用接頭對接密閉，防止冷卻水噴出損壞電氣設備。

四、

拆卸石英管

抬出石英管。

注：1.抬石英管過程要十分小心，多人配合。千萬不要用蠻勁，不要使石英管觸碰倒周圍部件。

2.北京擴散爐爐腔內沒有石英棉保護，拉/放石英管過程中石英管會直接與爐絲摩擦。所以在拉石英管過程中應先將石英管拉出約20cm,然后將滑動墊片從管尾的底部插入，以避免管壁底部與爐絲摩擦。

清理爐口

六、

清洗從大石英管尾部

清洗從大石英管尾部拔出的校準熱電偶外部的石英保護管、絕熱擋圈和穩流板。注：1.清洗校準熱電偶外部的石英管時，應當注意不要損壞熱電偶，也不要把熱電偶及其接頭直接浸入水或氫氟酸溶液當中。可以把熱電偶的接頭一端架在溶液外面。在沒有把握完好恢復原樣的情況下，不要把熱電偶從石英管中抽出來。

2.穩流板清洗步驟和其他石英物品相同，只是在氫氟酸中浸泡時間為30min。

3.絕熱擋圓不能直接浸泡在氫氟酸中，可將擋圓開小孔的一面朝上，小孔用攝子將PVC手套塞入。然后用無塵布蘸氨氟酸溶液擦拭。待無污物后用水槍沖洗15min,用氣槍吹干后放入凈化柜內備用。

七、

安裝石英管

安裝石英管、石英爐門、硅漿、尾氣管、校準熱電偶、尾部氣體連接、源溫控制箱。并把爐體側面的三個測溫熱電偶插入到以接觸到石英管外壁，緊固。

1.將石英管放回爐膛。

注：此過程操作要點參考第四步。

2.安裝硅漿承載舟、不銹鋼爐門系統、石纏爐門和硅漿。

*注：1.此過程絕對不能用手直接觸碰硅漿，戴手套也不可以。應該勤換手套，將硅漿墊上潔凈無塵布才能觸碰、拿放。

2.石英爐門位置應調整到和石英管口正對，在上料過程結束后爐門和管口密封良好，爐門和管口之間不能有肉眼可見的縫隙或偏斜。和管口之間不能有肉眼可見的縫隙或偏斜。

3.插入尾氣管和校準熱電偶。

注：進行此步操作時應更換新PVC手套，墊上潔凈無塵布后取放石英管。

4.連接尾部氣體管路。

5.將爐體側面的測溫熱電偶輕輕插入，當接觸到石英管外壁時將固定螺絲旋緊。

八、

安裝其他石英配件

1.將洗凈的絕熱擋圈放在硅漿上，使其左端距石英爐門8cm。

2.將石英擋板放到硅漿上，第一塊擋板放在距擋圈15cm處；第二塊擋板和第一塊擋板之間距離為6cm;第三塊擋板的兩個槽大小不同，將其放在硅漿上使兩個槽和硅漿之間的橫向隆隙約為3mm;第四塊擋板放在距離硅漿末端（靠近爐口端）4cm處。

九、

將拆下的石英管

將拆下的石英管和碳化硅漿放入HF內浸泡、清洗。清洗過程同備用件清洗。注：1.石英管清洗后放到凈化間的空地上，下面墊上專用的泡沫。并將管口和尾管用專用鋁陷密封。

2.碳化硅漿放到備件柜中，下次使用前仍需進行清洗。如果在清洗后一兩天內使用，則將其保存在石英管清洗機內，注意不要被弄臟。升溫（200度，400600800各2小時）

1.放入潔凈石英舟后關閉爐門，將溫度設定為200°,持續時間為2小時。2.將溫度設定為400°,持續時間為2小時。3.將溫度設定為600°,持續時間為2小時。4.將溫度設定為800°,持續時間為2小時。5.將溫度設定為940℃。

十一、

TCA清洗、飽和

1.?清洗和飽和程序見下表：

2.北京擴散爐清洗和飽和程序另有詳細說明。

3.北京擴散爐由于氧氣流量最大只能到3slpm,所以將TCA清洗的小氨流量降為0.15slpm,時間延長至四個小時。

4.長沙擴散爐目前溫度設定不能超過950℃，所以在TCA清洗和飽和時把溫度設定在940℃。

5.TCA清洗之前要用TCA源瓶替換擴散源瓶，在清洗結束后將擴散源瓶換回。

十二、

清洗后首次擴散，注：首次擴散時工藝人員應當監控其方塊電阻、少子壽命和擴散爐工作是否正常，待確認一切正常之后可交付生產人員正常使用。注：1.石英管更換清洗過程中石英物品和碳化硅漿都是高值易碎品，所以操作過程中需格外小心，不要由于粗心大意而導致不必要的損失。

1.?擴散工藝是太陽電池制造過程中對潔凈度要求最高的環節。參與擴散爐清洗的人員務必嚴格按照標準操作。如果清洗過程中任一環節引入了額外污染，都會給電池效率帶來致命影響。

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