據中國機床行業報道,北京博魯斯潘精密機床有限公司與中國科學院長春光機所國望光學楊懷江博士團隊合作研發的光刻機物鏡系統超精密磨床ULTR-700VG,于2021年5月18日通過國家機床質量監督檢驗檢測中心檢測。該超精密機床工作臺直徑700mm,X軸行程:> 350mm、Z軸行程:>250mm、X軸定位精度:3μm/350mm(VDI 3441)、X軸重復定位精度:+/-1μm(VDI 3441)、X軸直線度:1μm/100mm,3μm/350mm、Z軸直線度:1μm/100mm,2μm/250mm、X軸與工作臺平行度:0.5μm/350mm、Z軸與工作臺垂直度:2μm/250mm、X,Z軸最小可執行位移為0.1μm。磨削500mm直徑的合金鋼零件的平面度以及雙面平行度達到0.2微米;該超精密數控機床是高剛度的工程化實用產品,可以廣泛應用于我國IC電路、光學工業、航空航天等精密超精密制造領域的批量化生產;該技術和產品處于世界領先水平,屬于我國機床工業領域的首臺套;公司擁有自主知識產權;這些技術和裝備,是制造光刻機物鏡系統、光刻機工作臺系統的關鍵;超精密納米光學零件首先要通過這類超精密裝備的高效批量加工后,再通過等離子體局部拋光,才能達到納米級的面形精度和亞納米級表面粗糙度,否則就很困難。項目組負責人北京博魯斯潘精密吳行飛博士表示,優化工作環境,避免干擾,下一步的目標是直徑2000mm的超大型光學超精密技術與數控裝備的研發,精度將突破0.02微米。

據筆者檢索,北京博魯斯潘精密是一家國資與民營混合制國家級高新技術企業,公司創始人吳行飛博士早年師從我國超精密機床和工藝研究泰斗、中科院院士徐性初先生,后在德國訪問學習,從事超精密共性基礎技術和工藝研究20多年。2006年回國后,創立了北京博魯斯潘精密,在中國寶安集團、凱泰資本、湖南航空航天基金、杭實集團、華盛一泓、紅馬資本的推動下,公司先后獲得了數億元的資金支持,已經陸續推出精密五軸聯動光學數控加工中心、超精密光學數控車床。將超精密共性基礎技術與工藝降維使用在高端數控機床領域,又推出了十七軸雙主軸五面體五軸聯動臥式加工中心、六軸五聯動飛機發動機渦輪蝸扇、葉片精密銑削和葉榫精密磨削加工中心。該類高精尖超精密數控機床對我國芯片、IC集成電路、光學、航空航天工業突破國外封鎖,實現高精尖技術與裝備的自主可控發展,具有重要的戰略意義和經濟意義,是解決“卡脖子”問題的關鍵裝備。公司以進口替代為目標,已經形成了商業化產品,在汽車零部件領域,已經交付用戶六條自動化生產線,是新中國成立以來,唯一在世界龍頭企業批量化全廠替代進口高端數控機床的公司。機器自2015以來,實現了每天24小時不停機生產,完成了穩態和可靠性的長期驗證;2019年10月,中國機械工業聯合、中國機床工具協會組織了國家級鑒定,與會專家認為,這一突破,對我國高端數控裝

光刻機物鏡系統零件超精密數控磨床 ULTRA 7600VG

備的技術進步,具有重要的推動作用。吳行飛博士個人、團隊各項成果先后獲得中國機械工業科技進步一等獎一次、二等獎兩次。