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電子發燒友網>今日頭條>通過臭氧微氣泡進行半導體晶圓的光刻膠去除實驗

通過臭氧微氣泡進行半導體晶圓的光刻膠去除實驗

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2022-01-26 11:43:22687

微泡對臭氧去除光刻膠的影響實驗

臭氧水中微氣泡的存在顯著提高了光刻膠去除率,這是由于溶解臭氧濃度的升高和微氣泡對自由基產生的直接影響。此外,臭氧氣泡溶液能夠有效地去除高劑量離子植入的光刻膠,由于其非定形碳狀層或“地殼”,它非常
2022-01-27 15:55:14448

微泡對臭氧去除光刻膠的影響報告

臭氧水中微氣泡的存在顯著提高了光刻膠去除率,這是由于溶解臭氧濃度的升高和微氣泡對自由基產生的直接影響。此外,臭氧氣泡溶液能夠有效地去除高劑量離子植入的光刻膠,由于其非定形碳狀層或“地殼”,它非常
2022-02-11 15:24:33419

光刻膠剝離工藝—《華林科納-半導體工藝》

摘要 新的全濕剝離工藝在去除高度注入的光刻膠時不需要干等離子體灰化工藝,同時保持低缺陷水平和至少相當于記錄工藝的高產量性能。灰化步驟的消除減少了不希望的基板損壞和材料損失,改善了周期時間,釋放
2022-03-01 14:39:431350

晶片光刻膠處理系統的詳細介紹

摘要 在這項工作中,研究了新一代相流體剝離溶液在各種半導體光刻膠中的應用。這些實驗中使用的獨特的水基智能流體配方均為超大規模集成電路級,與銅兼容且無毒。實驗的第一階段是確定是否在合理的時間內與光刻膠
2022-03-03 14:20:05451

通過臭氧氣泡進行半導體晶圓的光刻膠去除實驗

半導體的清洗在制造工序中也是非常重要的。特別是光刻膠去除是最困難的,一般使用硫酸和過氧化氫混合的溶液(SPM)等。但是,這些廢液的處理是極其困難的,與環境污染有很大的關系,因此希望引進環保的清洗技術。因此,作為環保的清洗技術之一,以蒸餾水、臭氧為基礎,利用微氣泡的清洗法受到關注。
2022-03-24 16:02:56733

使用濕化學物質去除光刻膠和殘留物

在未來幾代器件中,去除光刻膠和殘留物變得非常關鍵。在前端線后離子注入(源極/漏極、擴展),使用PR來阻斷部分電路導致PR基本上硬化并且難以去除。在后端線(BEOL)蝕刻中,除低k材料的情況下去除抗蝕劑和殘留物的選擇性非常具有挑戰性。
2022-03-24 16:03:24778

采用雙層抗蝕劑法去除光刻膠

本文提出了一種新型的雙層光阻劑方法來減少負光阻劑浮渣。選擇正光刻膠作為底層抗蝕劑,選擇負光刻膠作為頂層抗蝕膠。研究了底層抗蝕劑的粘度和厚度對浮渣平均數量的影響。實驗表明,低粘度正光刻膠AZ703
2022-03-24 16:04:23754

一種半導體制造用光刻膠去除方法

/O2氣體氣氛中進行干洗,在CF4等離子體條件下進行干燥,在O2等離子體的條件下進行干燥劑后, 通過執行濕式清潔工藝去除上述殘留光刻膠,可以徹底去除半導體裝置制造過程中使用的光刻膠,增進半導體裝置的可靠性,防止設備污染。
2022-04-13 13:56:42872

用于光刻膠去除的單晶片清洗技術

本文的目標是討論一種新技術,它可以在保持競爭力的首席運營官的同時改善權衡。 將開發濕化學抗蝕劑去除溶液的能力與對工藝和工具要求的理解相結合,導致了用于光刻膠去除的單晶片清洗技術的發展。 該技術針對
2022-05-07 15:11:11621

使用全濕法去除Cu BEOL中的光刻膠和BARC

上蝕刻后光刻膠和BARC層的去除,掃描電子顯微鏡(SEM)和X射線光電子能譜(XPS)用于評估清洗效率,使用平面電容器結構確定暴露于等離子體和濕化學對低k膜的介電常數的影響。 對圖案化結構的橫截面SEM檢查表明,在幾種實驗條件和化學條件下可以實現蝕刻后PR的完
2022-05-30 17:25:241114

光刻膠剝離用組合物及用其進行剝離的方法介紹

本文章介紹了我們華林科納一種光刻膠剝離用組合物,該組合物不僅對離子注入工藝后或離子注入工藝和高溫加熱工藝后硬化或變質為聚合物的光刻膠具有良好的去除力,而且使膜質腐蝕性最小化。半導體工藝中離子注入工藝
2022-07-01 15:16:081442

干法刻蝕去除光刻膠的技術

灰化,簡單的理解就是用氧氣把光刻膠燃燒掉,光刻膠的基本成分是碳氫有機物,在射頻或微波作用下,氧氣電離成氧原子并與光刻膠發生化學反應,生成一氧化碳,二氧化碳和水等,再通過泵被真空抽走,完成光刻膠去除
2022-07-21 11:20:174870

光刻膠為何要謀求國產替代

南大光電最新消息顯示,國產193nm(ArF)光刻膠研發成功,這家公司成為通過國家“02專項”驗收的ArF光刻膠項目實施主體;徐州博康宣布,該公司已開發出數十種高端光刻膠產品系列,包括
2022-08-31 09:47:141285

光刻膠的原理和正負光刻膠的主要組分是什么

光刻膠的組成:樹脂(resin/polymer),光刻膠中不同材料的粘合劑,給與光刻膠的機械與化學性質(如粘附性、膠膜厚度、熱穩定性等);感光劑,感光劑對光能發生光化學反應;溶劑(Solvent
2022-10-21 16:40:0415816

半導體光刻膠重要性凸出,國產替代加速推進

光刻膠是IC制造的核心耗材,技術壁壘極高。根據TECHCET數據,預計2022年全球半導體光刻膠市場規模達到23億美元,同比增長7.5%,2025年超過25億美元。
2023-03-21 14:00:492095

半導體制造領域光刻膠的作用和意義

光刻半導體加工中最重要的工藝之一,決定著芯片的性能。光刻占芯片制造時間的40%-50%,占其總成本的30%。光刻膠光刻環節關鍵耗材,其質量和性能與電子器件良品率、器件性能可靠性直接相關。
2023-10-26 15:10:24359

光刻膠黏度如何測量?光刻膠需要稀釋嗎?

光刻膠在未曝光之前是一種黏性流體,不同種類的光刻膠具有不同的黏度。黏度是光刻膠的一項重要指標。那么光刻膠的黏度為什么重要?黏度用什么表征?哪些光刻膠算高黏度,哪些算低黏度呢?
2023-11-13 18:14:11571

萬潤股份在半導體制造材料領域穩步推進,涉足光刻膠單體、PI等業務

近期,萬潤股份在接受機構調研時透露,其“年產65噸半導體用光刻膠樹脂系列”項目已經順利投入運營。該項目旨在為客戶提供專業的半導體用光刻膠樹脂類材料。
2023-12-12 14:02:58328

光刻膠價格上漲,韓國半導體公司壓力增大

光刻膠類別的多樣化,此次漲價案所涉KrF光刻膠屬于高階防護用品,也是未來各地廠家的競爭焦點。當前市場中,光刻膠主要由東京大賀工業、杜邦、JSR、信越化學、住友化學及東進半導體等大型制造商掌控。
2023-12-14 15:20:36408

光刻膠分類與市場結構

光刻膠主要下游應用包括:顯示屏制造、印刷電路板生產、半導體制造等,其中顯示屏是光刻膠最大的下游應用,占比30%。光刻膠半導體制造應用占比24%,是第三達應用場景。
2024-01-03 18:12:21346

光刻膠光刻機的區別

光刻膠是一種涂覆在半導體器件表面的特殊液體材料,可以通過光刻機上的模板或掩模來進行曝光。
2024-03-04 17:19:18399

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