為了獲得高性能的MEMS磁傳感器，首先要根據(jù)器件的應用對象對器件進行設計，由此確定器件的結構、使用的材料、應用的工作原理和感應技術等。MEMS設計人員可以根據(jù)模擬和建模工具選擇制造傳感器的最佳工藝
2018-04-11 09:40:11
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平板電腦、智能電話、視頻游戲機、攝錄機和相機徹底改變了傳感器世界，其中包括MEMS加速度計和陀螺儀。它們能夠測量運動，導致很多使用這些傳感器的設備得以改善性能并增加功能。
2019-08-13 07:10:34
MEMS傳感器及其應用
2012-08-14 22:45:22
的剎車傳感器，側面氣囊，與日益嚴格的排放標準相關的引擎控制，大氣壓力與廢氣再循環(huán)壓力。這種傳感器用單晶硅作材料，以采用MEMS技術在材料中間制作成力敏膜片，然后在膜片上擴散雜質(zhì)形成四只應變電阻，再以惠斯頓
2018-11-07 10:56:09
預計在未來十年，傳感器的數(shù)量將達到萬億級，其價值是不可估量的。隨著汽車、消費電子和醫(yī)療電子的發(fā)展，國內(nèi)市場對傳感器的需求呈現(xiàn)直線上升趨勢。以MEMS傳感器為代表的傳感器技術達到了巔峰。
2020-08-25 07:56:50
和控制電路、直至接口、通信和電源等集成于一塊或多塊芯片上的微型器件或系統(tǒng)。而MEMS傳感器就是采用微電子和微機械加工技術制造出來的新型傳感器。MEMS是用傳統(tǒng)的半導體工藝和材料，以半導體制造技術為
2016-12-09 17:46:21
和線振動式加速度計等，常見的MEMS傳感器有壓力傳感器、加速度傳感器、微機械陀螺儀、慣性傳感器、MEMS硅麥克風等等;MEMS傳感器的品種多到可以以萬為單位，且不同MEMS之間參量較多，沒有完全標準的工藝。
2018-11-12 10:51:35
，；應用最多的屬于振動陀螺儀，通常，它與低加速度計一起構成主動控制系統(tǒng)。MEMS傳感器的廣泛應用，強烈需要研究出高精密汽車傳感器焊接工藝。 汽車MEMS傳感器芯片多以單晶硅或多晶硅或微硅質(zhì)量塊作為材料
2022-10-18 18:28:49
傳感器曾經(jīng)被局限在汽車市場和工業(yè)應用領域；今天，隨著MEMS傳感器越來越小，價格越來越低，能效越來越高，設計和應用空間不斷擴大，它在消費類應用市場的普及率正在不斷提高。 制造這些器件所采用的微加工
2018-10-31 16:56:44
MEMS傳感器是在微電子技術基礎上發(fā)展起來的多學科交叉的前沿研究領域。經(jīng)過四十多年的發(fā)展，已成為世界矚目的重大科技領域之一。它涉及電子、機械、材料、物理學、化學、生物學、醫(yī)學等多種學科與技術，具有廣闊的應用前景。
2020-08-13 07:06:09
MEMS傳感器，也就是我們常說的智能傳感器，是應用最廣泛的MEMS器件。它一般是把信號處理電路和敏感單元集成制作在一個芯片上，這樣能夠感知被測參數(shù)，并且還能對所得到的信號進行分析、處理和識別、判斷
2013-10-11 16:21:38
MEMS傳感器的主要分類MEMS傳感器的主要應用領域有哪些？
2020-12-03 07:28:39
MEMS(Micro-Electro-MechanicalSystems)是微機電系統(tǒng)的縮寫，MEMS技術建立在微米/納米基礎上，是對微米/納米材料進行設計、加工、制造、測量和控制的技術，完整的MEMS是由微傳感器、微執(zhí)行器、信號處理和控制電路、通訊接口和電源等部件組成的一體化的微型器件系統(tǒng)。
2019-09-29 09:34:52
MEMS傳感器普及將加速物聯(lián)網(wǎng)時代到來
2021-02-22 07:16:32
Mark Looney對于采用MEMS加速度計和陀螺儀的工業(yè)系統(tǒng)而言，優(yōu)化帶寬可能是關鍵考慮因素。這代表著精度(噪聲)與響應時間之間的一種經(jīng)典權衡。雖然多數(shù)MEMS傳感器制造商都會給出典型帶寬指標
2018-10-24 10:42:31
MEMS傳感器面臨哪些挑戰(zhàn)呢？MEMS傳感器面對這些挑戰(zhàn)該如何去解決呢？
2021-07-19 06:39:01
`預計2014年MEMS組件市場規(guī)模可達到80億美元，增長率約14%，而其中一項重要的增長動力來源就是汽車電子領域，具體主要應用在汽車安全性方面?！‰S著汽車技術的不斷進步，傳感器等電子產(chǎn)品不斷應用到
2014-08-08 11:08:12
電子技術蓬勃發(fā)展的今天倍受矚目。美國汽車傳感器權威弗萊明在2000年的汽車電子技術綜述就指出了MEMS技術在汽車傳感器領域的美好前景。設計了基于MEMS技術和智能化信號調(diào)理的擴散硅壓力傳感器應對汽車壓力
2011-09-20 15:53:04
使用熱氧化工藝來微調(diào)一維或二維硅結構而生產(chǎn)出來。熱氧化在硅納米線的制造中具有特殊價值，硅納米線被廣泛用作機械和電子組件的MEMS系統(tǒng)。高深寬比（HAR）硅微加工體硅和表面硅微加工都用于傳感器，噴墨噴嘴和其他
2021-01-05 10:33:12
的專業(yè)人士創(chuàng)立，技術核心團隊有在國外頂尖大學微納電子實驗室從事MEMS技術研究的寶貴經(jīng)驗，公司70%員工擁有研究生以上學歷，其中具有海外學習或工作背景的博士6名。公司在微機電(MEMS)慣性傳感器、超低
2012-08-03 15:38:31
MEMS(微機電系統(tǒng))是指集微型傳感器、執(zhí)行器以及信號處理和控制電路、接口電路、通信和電源于一體的微型機電系統(tǒng)。
2019-10-16 08:34:16
隨著微機電系統(tǒng)（MEMS）技術在微型化技術基礎上，結合了電子、機械、材料等多種學科交叉融合的前沿科研領域的不斷發(fā)展與成熟，從而出現(xiàn)了很多基于MEMS技術的傳感器，此類傳感器具有體積小、重量輕、低功耗、多功能等優(yōu)點，在電子產(chǎn)品、航空航天、機械化工等行業(yè)中得到了廣泛應用。
2020-08-27 06:09:30
MS-2163：利用集成式MEMS慣性傳感器改 善工業(yè)控制
2019-09-03 14:31:55
意法半導體公司推出一系列慣性傳感器，極具誘惑力的價格配合卓越的產(chǎn)品性能，讓意法半導體迅速擴大了在消費電子MEMS傳感器市場的份額。公司在MEMS技術特性上實現(xiàn)了兩全其美：更小尺寸、更低價格、更高
2019-11-05 06:19:06
MEMS（Micro-Electro-Mechanical System）是指集機械元素、微型傳感器以及信號處理和控制電路、接口電路、通信和電源于一體的完整微型機電系統(tǒng)。MEMS慣性傳感器可構成
2020-05-18 06:28:30
rms震動，100o/sec離軸旋轉(zhuǎn)。雖然只是短短幾年前，高性能慣性傳感器僅能通過光纖等方法來實現(xiàn)，現(xiàn)在工業(yè)MEMS工藝已明確證明它們完全可以勝任，關鍵導航指標比較見以下表5。表5. 高性價比工業(yè)
2018-10-30 14:52:39
什么是氣壓傳感器？壓力傳感器的工作原理是什么？主要有哪幾種？MEMS氣壓傳感器在IoT中的應用有哪些？
2021-07-08 07:27:39
車用MEMS的應用有哪些？車用MEMS有哪些具體應用體現(xiàn)？MEMS汽車傳感器在汽車電子控制系統(tǒng)的應用是什么？
2021-06-17 10:57:24
MEMS磁傳感器的時間?！ ?.2 MEMS磁傳感器制作 通常，MEMS磁場傳感器的制造可以采用體或表面微加工工藝來實現(xiàn)。由于硅具有很好的機械和電學性質(zhì)而被用來作為其主要加工材料，例如，硅具有最小
2018-11-09 10:38:15
具有MEMS麥克風傳感器參考設計的錄音機。該參考設計演示了基于SAMG53微控制器和兩個數(shù)字MEMS麥克風傳感器的錄音機。該設計使用戶能夠輕松體驗立體聲/單聲道音頻數(shù)據(jù)采集和存儲，以便通過I2S或PDM接口進行進一步處理
2020-05-20 14:45:44
MEMS黏度傳感器是另一款最新推出的產(chǎn)品。此類傳感器用于在汽車正常行駛時監(jiān)控發(fā)動機內(nèi)部液體的黏度，通過監(jiān)測汽油和傳動液的液體粘稠度，向司機提供反饋信息。此外，傳感器還能通過感應軸承和機械軸的磨損狀況
2019-07-25 06:45:45
今后幾十年內(nèi)，影響和改變著世界經(jīng)濟格局和人們生活方式的10大科技領域，傳感器名列10大領域之首。如今，新原理、新技術、新工藝、新材料不斷涌出，傳感器自身也在發(fā)生質(zhì)的變化。目前，傳感器使用的MEMS工藝和MCU制程
2018-04-19 14:48:18
目前MEMS （M icroelectromechanical System ）技術已經(jīng)朝著微型化、集成化及智能化的趨勢發(fā)展?；?b class="flag-6" style="color: red">MEMS工藝的硅壓阻式壓力傳感器已經(jīng)廣泛應用于航空、石油化工
2018-11-05 15:37:57
Apogee Technology公司推出Sensilica系列“全硅”壓力傳感器。與現(xiàn)有產(chǎn)品相比，該公司的第一款MEMS產(chǎn)品在尺寸、成本、性能和可靠性上均具有相當?shù)膬?yōu)勢。此外，Apogee公司
2018-11-20 15:46:23
本技術筆記為采用 HLGA 表面貼裝封裝的 MEMS 傳感器產(chǎn)品提供 PCB 設計和焊接工藝的通用指南。
2023-09-05 08:27:53
和溫度補償傳感器。校準為表壓傳感器，將壓力傳感器與信號調(diào)節(jié)ASIC封裝在一個單獨的封裝中，可簡化高級硅微加工壓力傳感器的使用。壓力傳感器可以直接安裝在標準印刷電路板上，并且可以從模擬輸出中獲取高水平
2020-07-07 09:19:45
節(jié)的多階壓力和溫度補償?shù)?b class="flag-6" style="color: red">傳感器。它有表壓配置。該器件將壓力傳感器與信號調(diào)節(jié)ASIC集成在單個封裝中，可以簡化高級硅微加工壓力傳感器的使用。壓力傳感器可以直接安裝在標準印刷電路板上，并且可以從數(shù)字接口獲取
2020-07-07 09:32:56
的數(shù)字全調(diào)節(jié)的多階壓力和溫度補償?shù)?b class="flag-6" style="color: red">傳感器。它可提供差壓配置。該器件將壓力傳感器與信號調(diào)節(jié)ASIC集成在單個封裝中，可以簡化先進硅微加工壓力傳感器的使用。壓力傳感器可以直接安裝在標準印刷電路板上，并且可以從
2020-07-07 09:48:37
制造工藝：深反應離子刻蝕(DRIE)工藝或IGP工藝;封裝工藝：如常溫鍵合倒裝焊接、無應力微薄結構封裝、多芯片組裝工藝;新型“元器件”傳感器：如用微硅電容“元器件”傳感器、微硅質(zhì)量流量“元器件”傳感器
2013-10-22 17:44:45
?！ ∽鳛橐夥ò雽w最新的MEMS產(chǎn)品，LIS3DH的設計和制造采用意法半導體銷售超過7億支的運動傳感器的制程技術?！ ?、博世 智能手環(huán)代表：ibody Rainbow、Jawbone UP、Smart
2018-11-12 16:11:06
、自判斷和自愈能力。MEMS加速度傳感器國產(chǎn)化替代正緊鑼密鼓?！跋嚓P科研院所已突破高精度SOI工藝加工、圓片級可調(diào)阻尼封裝、低功耗ASIC專用集成電路等關鍵技術?！眳侮栒f。SOI工藝，指在頂層硅和襯底硅
2018-12-03 16:33:20
：AWR1x和IWR1x。全新毫米波傳感器產(chǎn)品組合中的5款器件都具有小于4厘米的距離分辨率，距離精度低至小于50微米，范圍達到300米。同時，功耗和電路板面積相應減少了50%。且看單芯片毫米波傳感器如何拋棄鍺硅工藝，步入CMOS時代？
2019-07-30 07:03:34
至關重要。MEMS壓力傳感器在汽車中的一個新應用是傳動系統(tǒng)壓力感測，通常用于自動裝置之中，但也用于新型雙離合器傳動系統(tǒng)。德國廠商博世最近進入該市場，推出了一款MEMS解決方案，使用油來保護硅薄膜，使其可以
2016-12-14 17:25:11
材料和MEMS工藝制造的新型壓力傳感器，具有精度高、靈敏度高、動態(tài)特性好、體積小、耐腐蝕、成本低等優(yōu)點。純單晶硅的材料疲勞小，采用這種材料制造的微壓力傳感器的長期穩(wěn)定性好。同時，微壓力傳感器易于與微溫度
2018-11-07 11:01:49
商業(yè)硅霍爾傳感器與量子阱霍爾傳感器生成的區(qū)別在哪？
2022-02-22 08:03:43
硅微加速度傳感器是。MEMS器件中的一個重要分支，具有十分廣闊的應用前景。由于硅微加速度傳感器具有響應快、靈敏度高、精度高、易于小型化等優(yōu)點，而且該種傳感器在強輻射作用下能正常工作，使其近年來
2018-11-01 17:23:05
力、汽車胎壓壓力等。其中機油壓力傳感器是用于測量汽車發(fā)動機油壓力的重要傳感器，其可靠性直接關系到汽車和人的安全性。本文選用MEMS壓力芯片，成功開發(fā)出汽車發(fā)動機機油壓力傳感器，研究了機油壓力傳感器的封裝工藝
2019-07-16 08:00:59
當前MEMS技術在傳感器領域已得到廣泛應用并取得了巨大成功。使用硅基微機械加工方法制作的微傳感器不僅體積小，成本低，機械牲好，并且能方便地與IC集成。形成復雜的微系統(tǒng)。
2011-03-22 17:44:34
基于硅納米線的生物氣味傳感器是什么？硅納米線表面連接修飾OBP蛋白分子的方法有哪些？基于硅納米線的氣味識別生物傳感器的結構是如何構成的？
2021-07-11 07:43:02
檢測與待測物濃度相關的電流信號實現(xiàn)生物分子的檢測和識別，相對于傳統(tǒng)的光譜免疫檢測具有響應快、靈敏度高、成本低、體積小等特點?！ 』?b class="flag-6" style="color: red">MEMS工藝在硅襯底上制備微電極結構實現(xiàn)免疫檢測，能夠?qū)崿F(xiàn)免疫傳感器
2018-11-15 14:48:44
的技術組件： · 單晶硅傳感器 · 高性能ASIC · 兩個芯片外殼 圖3 產(chǎn)品參數(shù)表 傳感器的核心：單晶硅傳感器 硅傳感器（每個MEMS的核心）傳統(tǒng)上是批量生產(chǎn)或以表面微加工工藝制造
2020-07-07 09:36:40
的基礎上，在壓力傳感器的設計中借鑒系統(tǒng)級封裝的基本思想，將擴散硅壓力敏感芯片及其相應的驅(qū)動放大電路等附屬電路系統(tǒng)集成在一塊特殊設計的印刷電路板上，再運用專門設計的MEMS系統(tǒng)級封裝工藝將其封裝在一個金屬
2018-12-04 15:10:10
的線性度受傳感器系統(tǒng)鏈中每個模塊的線性度影響，而且C/V和A/D的動態(tài)范圍要求可能會更加嚴格。相反，將MEMS傳感器放在負反饋閉環(huán)中使用有許多好處，例如改進的帶寬、對MEMS器件的工藝和溫度變化具有
2018-11-06 16:07:28
尋求感應傳感器工藝。有這方面工藝的大俠請聯(lián)系微信：dgdzkj123.郵箱；gddgdz123@163.com。面談報酬。
2018-04-26 10:00:44
按照被測量的物理性質(zhì)，將微型傳感器分為化學微傳感器、生物微傳感器、物理微傳感器等，簡要介紹一下每種類型中典型的微傳感器。
2019-10-11 09:12:59
，通過將ACEINNA MDP200傳感器、MEMS傳感器和信號調(diào)解電路集成在單芯片上，來構建MEMS流量傳感器。CMOS工藝中，多晶硅和鋁屬于常用材料，通常用于互連。在熱式MEMS傳感器中，多晶硅可
2018-08-29 10:50:19
微機電系統(tǒng)(MEMS)感測器制造技術邁入新里程碑。意法半導體(ST)宣布成功結合面型微加工(Surface-micromachining)和體型微加工(Bulk-micromachining)制程
2020-05-05 06:36:14
與主動組件、相機穩(wěn)定與GPS的陀螺儀、小型燃料電池與生化芯片等，應用最多的傳感器是加速計、陀螺儀與MEMS硅麥克風，其中加速度計是該市場中第一大應用產(chǎn)品。而近期陀螺儀增長迅速，已經(jīng)成為繼加速度計后
2016-12-07 15:43:48
美國汽車傳感器權威弗萊明在2000年的汽車電子技術綜述就指出了MEMS技術在汽車傳感器領域的美好前景。設計了基于MEMS技術和智能化信號調(diào)理的擴散硅壓力傳感器應對汽車壓力系統(tǒng)的壓力檢測。
2020-03-18 07:40:15
繼推出硅基MEMS麥克風芯片后，蘇州敏芯微電子技術有限公司日前又推出了1.4mm×1.4mm×0.7mm外形尺寸MEMS絕對壓力傳感器芯片，主要針對量程為15PSI的高度表市場，并已開始提供樣品
2018-11-01 17:16:10
新型傳感器的特點是什么？什么是MEMS傳感器？什么是CMOS圖像傳感器？
2021-06-28 09:37:17
構成。使用此結構可實現(xiàn)將壓力、溫度、加速度這些物理量轉(zhuǎn)換成電氣信號的傳感器，還可實現(xiàn)提供電氣信號使可動結構體像機械一樣運動的所謂執(zhí)行器功能。MEMS產(chǎn)品早在1980年就已經(jīng)存在了，與使用了CMOS工藝
2019-07-04 06:06:12
基于MEMS的微型磁場傳感器具有體積小、價格低、功耗小、便攜等特點，是近幾年來磁場傳感器研究的熱點。目前主要有利用永磁體受力的磁場傳感器，利用洛倫茲力以及多晶硅壓阻檢測磁場的傳感器以及
2019-09-20 06:18:36
在汽車電子控制系統(tǒng)的快速增長的市場需求下，汽車傳感器技術不斷發(fā)展。未來汽車傳感器的發(fā)展總體趨勢是智能化、微型化、集成化、多功能化以及新材料和新工藝制成的新型傳感器。MEMS技術傳感器成為汽車傳感器的主要部件。
2020-05-20 07:50:30
穩(wěn)定控制系統(tǒng)中的剎車傳感器，側面氣囊，與日益嚴格的排放標準相關的引擎控制，大氣壓力與廢氣再循環(huán)壓力。這種傳感器用單晶硅作材料，以采用MEMS技術在材料中間制作成力敏膜片，然后在膜片上擴散雜質(zhì)形成四只
2016-12-07 15:42:36
`MEMS傳感器技術的突破也為醫(yī)療應用帶來前所未有的便利性和體驗。隨著人口的老齡化，人們的醫(yī)療保健問題變的空前重要。人們的醫(yī)療保健問題變的空前重要。體外診斷、藥物研究、病患監(jiān)測、給藥方式以及植入式
2016-12-07 15:46:48
械加工技術、深反應離子刻蝕、LIGA技術、分子裝配技術、體微加工、表面微加工、激光微加工和微型封裝技術等。硅微機械加工工藝是MEMS主流技術，它是一種精密三維加工技術，是研制傳感器、微執(zhí)行器、微作用
2021-09-07 09:50:07
MEMS傳感器應用在航空航天領域，要求適應在不同的空間環(huán)境，包括：真空、電磁輻射、高能粒子輻射、等離子體、微流星體、行星大氣、磁場和引力場等，以及航天器某些系統(tǒng)工作時或在空間環(huán)境作用下產(chǎn)生的誘導環(huán)境
2016-12-07 15:45:00
加工工藝成熟，與IC工藝兼容性好，可以在單個直徑為幾十毫米的單晶硅基片上批量生成數(shù)百個MEMS裝置。美國加州大學Berkeley分校的傳感器與執(zhí)行器研究中心（BSAC）首先完成了三層多晶硅表面MEMS
2018-11-05 15:42:42
電系統(tǒng)（MEMS）慣性傳感器的設計在本質(zhì)上對運動非常敏感，可有效檢測和處理線性加速、磁航向、海拔和角速率信息。為充分利用慣性傳感器的性能潛力，設計者必須熟悉總體機械系統(tǒng)，密切關注應用中的運動源和諧
2018-11-12 15:38:15
大家好，我想了解下ADXL001 MEMS傳感器 在電氣性能上與現(xiàn)在在工業(yè)領域常用的壓電式加速度傳感器有什么差別。目前幾乎大多數(shù)的工業(yè)振動加速度傳感器都是壓電式的傳感器。而ADXL001 看上去 要
2019-03-05 14:29:44
的數(shù)字信號處理ASIC芯片。具有掩膜可編程性，即可以利用客戶專用軟件進行配置。它是由MEMS傳感器和ASIC電路幾塊芯片，用集成電路工藝做在一個封裝里的（圖3）。在封裝的上方留有一個壓力/溫度導入孔
2010-04-01 08:40:49
械加工技術、深反應離子刻蝕、LIGA技術、分子裝配技術、體微加工、表面微加工、激光微加工和微型封裝技術等。硅微機械加工工藝是MEMS主流技術，它是一種精密三維加工技術，是研制傳感器、微執(zhí)行器、微作用
2021-09-07 09:40:25
`如圖所示，這種傳感器上面有水，電阻會變化?？瓷先ズ孟窬褪呛芏嗑€并排。這種傳感器的原理是什么？制作工藝是什么？`
2017-07-06 18:07:19
作為一枚實習僧，樓主被要求熟悉咱大ADI的產(chǎn)品，其中一張MEMS傳感器分類表嚇到寶寶了，MEMS傳感器分類居然如此復雜！不信請看：剛看見這張表，樓主內(nèi)心是崩潰的——怎么這么多！那么問題來了，挖掘機
2019-02-19 13:43:21
件相適應,于是制約了整個系統(tǒng)的集成化、批量化和性能的充分發(fā)揮。微型傳感器不是傳統(tǒng)傳感器簡單的物理縮小的產(chǎn)物,而是以新的工作機制和物化效應,使用標準半導體工藝兼容的材料,通過MEMS 加工技術制備的新一代
2019-07-24 07:13:29
本技術筆記為采用 HLGA 表面貼裝封裝的 MEMS 傳感器產(chǎn)品提供 PCB設計和焊接工藝的通用指南。
2023-09-13 08:03:50
了傳感器向微型化發(fā)展，盡管MEMS技術能夠?qū)?b class="flag-6" style="color: red">工藝精度控制在很小的范圍內(nèi)，但還是很難精確地控制擴散硅的摻雜濃度，這就直接導致了MEMS傳感器零位溫度漂移和靈敏度溫度漂移的存在。工作溫度范圍變化通過兩種
2022-09-22 15:58:43
微機電系統(tǒng)（MEMS）技術是通過使用先進的微制造技術將機械器件、傳感器和電子組件部署在單個硅基板上而實現(xiàn)。如今，這些技術已經(jīng)逐漸取代了汽車市場各種車型使用的大部分傳感裝置，并帶來系統(tǒng)在降低成本、持續(xù)可靠性（由于固有的穩(wěn)健性）、空間利用（由于其緊湊的尺寸）以及工作性能等方面相當大的設計優(yōu)勢。
2019-08-02 06:35:04
技術包括壓力、力、溫度、位置、加速度、濕度和液體特性等，以其先進的設計能力和專業(yè)的制造領域知識滿足用戶任何設計需求?！ E的傳感器產(chǎn)品種類繁多，能夠滿足您任何個性化設計要求，包括基于MEMS技術及硅
2020-07-07 16:31:22
北京大學微納電子學系高成臣教授課題組依托MEMS工藝平臺，經(jīng)過6年的持續(xù)研究，在國內(nèi)首次研制出了高性能的熱式聲粒子振速傳感器，并完成了聲粒子振速傳感器與聲壓傳感器的系統(tǒng)集成，制作出了高性能的MEMS空氣聲矢量傳感器，該傳感器能夠完成聲壓信號的全信息檢測。
2019-05-27 10:37:077235 MEMS制程各工藝相關設備的極限能力又是限定器件尺寸的關鍵要素，且其相互之間的配套方能實現(xiàn)設備成本的最低；下面先簡要介紹一下前段制程的特點及涉及的設備。
2021-01-11 10:35:422139 用MEMS技術制造的新型傳感器，就稱為MEMS傳感器。一般傳感器的主要構造有敏感元件、轉(zhuǎn)換元件、變換電路和輔助電源四部分組成。那么，MEMS傳感器的主要構造是怎樣的呢？
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