LED芯片核心部位特寫(xiě)照
如上圖所示,用電子顯微鏡所拍攝的LED芯片核心部位特寫(xiě)照。類似用嵌入式工藝將電極和陰極連接起來(lái),其他一部分則與陽(yáng)極連接起來(lái)。
每個(gè)LED芯片核心部件雖然都很小,但是大部分都用于支撐材料。斜對(duì)角線的刻痕劃分隔開(kāi)了雙襯底,在天藍(lán)色的基板上,可以看到有一層很薄的氮化鎵(GaN),大約只有7μm薄。藍(lán)寶石襯底主要是注入了GaN生長(zhǎng)介質(zhì)。
在襯底隆起的圖樣,降低了GaN的位錯(cuò)密度,在襯底基質(zhì)起到機(jī)械性支持和散熱片的作用。在GaN底部6μm處通常不起作用。結(jié)晶體會(huì)逐漸干涉滲透到1μm處,這時(shí),光發(fā)射極區(qū)域便確定了。光發(fā)射區(qū)要小到一定的數(shù)量級(jí),達(dá)到納米(nm)級(jí)范圍內(nèi),最后植入在上表面下的約100nm處。
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