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探訪世界頂尖德國20nm晶圓工廠:匪夷所思的IC制造 - 全文

春波綠影 發(fā)表于 2012-06-20 17:26 | 分類標簽:前沿技術晶圓工廠集成電路

  電子發(fā)燒友網(wǎng)訊:星期五的早晨,一群記者從德累斯頓城市中心酒店步出,打算前往位于市郊的格羅方德的fab1 complex工廠。沿著一條狹窄的街道我們可以找到一個著名的教堂(圣母大教堂)。

 探訪世界頂尖德國20nm晶圓工廠:匪夷所思的IC制造

  德累斯頓Salzgasse大街的圣母大教堂

  這個漂亮的教堂教育19世紀,在二戰(zhàn)中被被戰(zhàn)火毀滅。之后被重建,直到2005年才完工,它被看做是和諧的象征。

  經(jīng)過二十分鐘的長途跋涉,我們到達了格羅方德的FAB 1 complex工廠。

經(jīng)過二十分鐘的長途跋涉,我們到達了格羅方德的FAB 1 complex工廠

  近距離接觸格羅方德的復雜的Fab 1。

  這片區(qū)域是在1996年開辟出來的,第一條200mm的晶圓制造潔凈室與1999年在這里揭幕。這條潔凈室在不久以后就被清空了設備,并重新配置了300mm的半導體設備。這個目前只處理300mm直徑的晶圓。

  因此它將來是否做450毫米的晶圓?這固然使這個地方避免成為一個被遺棄的晶圓廠,同時避免將所有的精力轉(zhuǎn)移到格羅方德在紐約的FAB 8。


  歡迎來到格羅方德的 fab 1

  今天的主持人,第一個發(fā)言者是Fab 1的副總裁和總經(jīng)理Rutger Wijburg。他曾經(jīng)在NXP工作過,在2011年10月1日加入了格羅方德,Wijburg整理出2011年間影響格羅方德28nm生產(chǎn)的幾個因素。他給記者們作了一個熱情的演講,在江湖中,他提及到在歐洲保留制造業(yè)的重要性。

  格羅方德FAB 1的副總裁和總經(jīng)理 Rutger Wijburg

格羅方德FAB 1的副總裁和總經(jīng)理 Rutger Wijburg

  Winburg同樣提到20nm硅晶圓生產(chǎn)fab和一個超過三十億美元擴張計劃去建立12000平方英尺的潔凈室以提高其制造能力,這就是為我們所知的Annex。

Fab1 complex的更多細節(jié),之前的fab30和fab36屬于超威半導體公司

  Fab1 complex的更多細節(jié),之前的fab30和fab36屬于超威半導體公司。

  黃光之下的世界

  很少機會你可以進入正在運行的晶圓工廠。工程部經(jīng)理通常都會非常保護他們的領域,同時會關注到在這樣一次到訪之后,故障率會大幅攀升。但允許進入的記者已經(jīng)準備好了“全副裝備”,使用防脫落的潔凈室紙質(zhì)筆記本和不接觸里面的任何東西。需要留意的是前端晶圓盒運送車在機器之間運送一箱一箱的晶片。FOUP是前端開啟時警員運送盒的簡稱,每個盒子里面的空氣都是額外干凈的,且每個盒子可以運送25個300mm直徑的晶圓。然而,這個簡稱在我們的詞匯里一般認作foup,一個現(xiàn)在已經(jīng)有著其特定意思的詞。


德國的記者團,聆聽和記錄集成電路制作的復雜性

  德國的記者團,聆聽和記錄集成電路制作的復雜性。

  黃色燈光是用來降低能量輸入到抵制和進程中。然而晶圓是在級旗艦運輸?shù)摹R粋€芯片制造商允許在其工廠拍照,而不顧忌泄露機密,這種做法實際上也是很罕有的。這個和接下來的照片都格羅方德里面的照片,在發(fā)布之前經(jīng)過了仔細審查。

薄鋼板在適當?shù)奈恢萌p小負載,而更多的設備是帶來負載的

  薄鋼板在適當?shù)奈恢萌p小負載,而更多的設備是帶來負載的。

  擴張的模件仍然相當空,然而一些設備已經(jīng)適合用,同時其他的已經(jīng)合格了。

  格羅方德的向?qū)дf更多有版港版制造的設備已經(jīng)在運送過來,用來減弱負載,同時減小對地板的傷害。



  把他帶到橋上

一個芯片生產(chǎn)所需的直徑為30mm的晶圓

  一個芯片生產(chǎn)所需的直徑為30mm的晶圓

格羅方德的fab 1的五個潔凈室都是通過高架橋連接的,這樣的話潔凈室的清潔度得到保證

  格羅方德的fab 1的五個潔凈室都是通過高架橋連接的,這樣的話潔凈室的清潔度得到保證。



  獵奇者的獎勵

在餐館德累斯頓的潔凈室的過程穿這個帶有服裝

  在餐館德累斯頓的潔凈室的過程穿這個帶有服裝。手套、頭套和口罩的清潔服最后終于得到了回報,我們瞥見了在高處的foup-運輸工具,編號001.

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