微米級白光干涉儀

白光干涉儀

型號： SuperView W1

--- 產品參數 ---

影像系統 1024×1024
光學物鏡ZOOM 0.5×，（0.75×，1×可選）
干涉物鏡 10×，（2.5×，5×，20×，50×，100×可選）
XY平臺尺寸320×200mm，行程140×110mm，電動、手動同
Z軸行程 100mm，電動
Z向掃描范圍 10mm
Z向分辨率 0.1nm

--- 產品詳情 ---

中圖儀器SuperViewW1微米級白光干涉儀是一種用于精密檢測的儀器，采用了高精度掃描模塊和內部抗振設計，可實現至高0.05%的測量精度重復性和0.002nm的粗糙度RMS重復性，詮釋始終如一的測量品質；直觀的操作界面，讓您對操作流程一目了然，自動聚焦，助您一鍵實現測量過程；可視化的工作流程樹，一鍵激活的圖庫管理功能，所見即所得的同步分析功能，更有一鍵分析功能，批量測量不用愁。

SuperViewW1微米級白光干涉儀不僅可用于硅晶片、光學透鏡、窗口片、藍寶石表鏡、手機屏等表面粗糙度檢測儀，還可對LED襯底、紅外觀察窗口、超精密工件、微機電系統等進行超精密檢測，在民用領域也有著廣泛應用。

產品參數

產品型號：SuperView W1系列

產品名稱：光學3D表面輪廓儀

影像系統：1024×1024
光學ZOOM：0.5×，（0.75×，1×可選）
干涉物鏡：10×，（2.5×，5×，20×，50×，100×可選）
XY平臺：尺寸320×200mm，行程140×110mm，電動、手動同時具備，均為光柵閉環反饋
Z軸行程：100mm，電動
Z向掃描范圍：10mm
Z向分辨率：0.1nm
水平調整：±5°手動
粗糙度RMS重復性：0.005nm
臺階高測量：準確度0.3%，重復性0.08% 1σ
主要特點：非接觸式無損檢測，一鍵分析、測量速度快效率高
生產企業：深圳市中圖儀器股份有限公司
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原理相關1、白光干涉儀的基本原理是什么：白光干涉儀的基本原理是利用光學干涉原理。光源發出的光經過擴束準直后經分光棱鏡分成兩束，一束光經被測表面反射回來，另一束光經參考鏡反射，兩束反射光最終匯聚并發生干涉。由于兩束光相互干涉，在CCD相機感光面會觀察到明暗相間的干涉條紋，干涉條紋的亮度取決于兩束光的光程差，根據白光干涉條紋明暗度以及干涉條紋出現的位置解析出被測

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