制造企業(yè)逐步走在智能制造的路上，對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量的要求也逐步在提高。從IQC到FQC，OQC，產(chǎn)品的外觀尺寸缺陷等品質(zhì)檢測(cè)也越發(fā)重要。這就不得不說(shuō)白光干涉測(cè)量技術(shù)，將其應(yīng)用到3D表面輪廓儀中，可進(jìn)行納米級(jí)的測(cè)量。
中圖儀器SuperViewW1白光干涉儀可測(cè)各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米的工件粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等，提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國(guó)內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)共計(jì)300余種2D、3D參數(shù)作為評(píng)價(jià)標(biāo)準(zhǔn)。
SuperViewW1白光干涉儀特點(diǎn)
1、復(fù)合型掃描算法
結(jié)合了PSI相移法高精度和VSI垂直法大范圍的雙重優(yōu)點(diǎn)的復(fù)合型掃描重建算法，能夠適配從超
光滑到粗糙、光滑弧面等所有類型樣品；
2、雙重防撞保護(hù)
1）軟件ZSTOP防撞保護(hù)，設(shè)置后即以當(dāng)前位置為位移下限位，不再下移且伴有報(bào)警聲；
2）Z向防撞傳感器，當(dāng)鏡頭碰到樣件表面，鏡頭即回縮，進(jìn)入緊急停止?fàn)顟B(tài)，不再下移；
3、地面振動(dòng)&聲波振動(dòng)隔振防護(hù)
氣浮隔振設(shè)計(jì)&吸音材質(zhì)隔離設(shè)計(jì)，確保儀器在嘈雜的車間中能夠有效濾除地面和聲波的振動(dòng)干擾，正常工作；
4、環(huán)境噪聲評(píng)價(jià)
提供環(huán)境噪聲評(píng)價(jià)模塊，能夠定量檢測(cè)出當(dāng)前環(huán)境噪聲對(duì)儀器的干擾，對(duì)儀器的調(diào)試和使用提供數(shù)據(jù)依據(jù)；
5、精密操縱手柄
集成X、Y、Z三個(gè)方向位移調(diào)整功能的操縱手柄，可快速完成載物臺(tái)平移、Z向聚焦、找條紋等測(cè)量前工作。
中圖儀器研發(fā)生產(chǎn)的光學(xué)3d輪廓儀檢測(cè)儀對(duì)產(chǎn)品進(jìn)行高品質(zhì)監(jiān)控時(shí)不需要取下產(chǎn)品或停止生產(chǎn)，而且采用的是非接觸式光學(xué)測(cè)量，在獲得實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)的同時(shí)，不會(huì)對(duì)產(chǎn)品造成任何損傷，從而有效節(jié)約了生產(chǎn)成本，提高了生產(chǎn)效率，并且在線檢測(cè)，沒(méi)有滯后性，從而減少不合格品，對(duì)表面缺陷檢測(cè)亦如此。
產(chǎn)品參數(shù)
產(chǎn)品型號(hào)：SuperView W1系列
產(chǎn)品名稱：光學(xué)3D表面輪廓儀
影像系統(tǒng)：1024×1024
光學(xué)ZOOM：0.5×，（0.75×，1×可選）
干涉物鏡：10×，（2.5×，5×，20×，50×，100×可選）
XY平臺(tái)：尺寸320×200mm，行程140×110mm，電動(dòng)、手動(dòng)同時(shí)具備，均為光柵閉環(huán)反饋
Z軸行程：100mm，電動(dòng)
Z向掃描范圍：10mm
Z向分辨率：0.1nm
水平調(diào)整：±5°手動(dòng)
粗糙度RMS重復(fù)性：0.005nm
臺(tái)階高測(cè)量：準(zhǔn)確度0.3%，重復(fù)性0.08% 1σ
主要特點(diǎn)：非接觸式無(wú)損檢測(cè)，一鍵分析、測(cè)量速度快、效率高
生產(chǎn)企業(yè)：深圳市中圖儀器股份有限公司
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